JPS6262945U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6262945U JPS6262945U JP15559585U JP15559585U JPS6262945U JP S6262945 U JPS6262945 U JP S6262945U JP 15559585 U JP15559585 U JP 15559585U JP 15559585 U JP15559585 U JP 15559585U JP S6262945 U JPS6262945 U JP S6262945U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unimorph type
- vacuum sensor
- unimorph
- introducing
- extracting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009795 derivation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案の真空センサの断面図、
側面図を示す。第２図ａ，ｂはユニモルフ振動子
の構造図を示す平面図、正面図である。第３図ａ
，ｂはそれぞれの大気圧における真空センサの出
力波形図である。 符号、１：ユニモルフ振動子、４，５：リード
線（導出手段）、４ａ，５ａ：リード線（導入手
段）。
側面図を示す。第２図ａ，ｂはユニモルフ振動子
の構造図を示す平面図、正面図である。第３図ａ
，ｂはそれぞれの大気圧における真空センサの出
力波形図である。 符号、１：ユニモルフ振動子、４，５：リード
線（導出手段）、４ａ，５ａ：リード線（導入手
段）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 間隙を介して対峙したユニモルフ型振動子と、
上記一方のユニモルフ型振動子に高周波の電圧を
導入する導入手段と、他方のユニモルフ型振動子
の共振周波数を電気信号として取り出す導出手段
と、 から成る真空センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15559585U JPS6262945U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15559585U JPS6262945U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262945U true JPS6262945U (ja) | 1987-04-18 |
Family
ID=31076435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15559585U Pending JPS6262945U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6262945U (ja) |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP15559585U patent/JPS6262945U/ja active Pending