JPS6263180A - Ｒｆ型イオン源 - Google Patents
Ｒｆ型イオン源Info
- Publication number
- JPS6263180A JPS6263180A JP60201589A JP20158985A JPS6263180A JP S6263180 A JPS6263180 A JP S6263180A JP 60201589 A JP60201589 A JP 60201589A JP 20158985 A JP20158985 A JP 20158985A JP S6263180 A JPS6263180 A JP S6263180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- induction coil
- plasma
- spiral
- type ion
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、人工衛星の姿勢制御を行なうＲＦ型イオン
・エンジンに関する。
・エンジンに関する。
従来のＲＦ （Ｒａｄｉｏｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）型イオ
ン・エンジンの構成を第６図に示す、放電容器２に導入
されたＨｇガスにインダラシ１ンコイル６によって加速
された電子が衝突して電離プラズマを放電室８内に生成
し、 Ｈｇ÷イオンが電極３，４．５で構成される加速
電極によって運転エネルギを与えられ。
ン・エンジンの構成を第６図に示す、放電容器２に導入
されたＨｇガスにインダラシ１ンコイル６によって加速
された電子が衝突して電離プラズマを放電室８内に生成
し、 Ｈｇ÷イオンが電極３，４．５で構成される加速
電極によって運転エネルギを与えられ。
中和器７から放出される電子によって中和化された後、
放出されてイオン・エンジンの推力となる。
放出されてイオン・エンジンの推力となる。
効率の良い推力を得るためには、電極３の表面でのプラ
ズマの一様性が満足される必要がある。プラズマの一様
性を満たすためには、放電室８内のガス圧としてＩ Ｘ
１０−”Ｔｏｒｒ以上必要である。ところが、５ Ｘ
１Ｇ−’Ｔｏｒｒ程度にしかガス圧を上げることが出
来ず、電極中心部でのイオン電流密度が周辺部より低く
なり、推進効率を下げるという問題がある。
ズマの一様性が満足される必要がある。プラズマの一様
性を満たすためには、放電室８内のガス圧としてＩ Ｘ
１０−”Ｔｏｒｒ以上必要である。ところが、５ Ｘ
１Ｇ−’Ｔｏｒｒ程度にしかガス圧を上げることが出
来ず、電極中心部でのイオン電流密度が周辺部より低く
なり、推進効率を下げるという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされきもので、推
進効率の良い、しかも放電容器上蓋のインダクションコ
イルの寿命を短くすることなく。
進効率の良い、しかも放電容器上蓋のインダクションコ
イルの寿命を短くすることなく。
電極孔のある領域でのプラズマの一様性を改善したＲＦ
型イオン源を提供することを目的とする。
型イオン源を提供することを目的とする。
本発明は、放電容器２の上蓋内側に螺旋状インダクショ
ンコイルを設け、螺旋状又は円状に磁石列を配して蝋旋
状インダクションコイルを磁気カスプでプラズマからガ
ードしたことを特徴とするＲＦ型イオン源である。
ンコイルを設け、螺旋状又は円状に磁石列を配して蝋旋
状インダクションコイルを磁気カスプでプラズマからガ
ードしたことを特徴とするＲＦ型イオン源である。
本発明によれば、インダクションコイルの寿命を問題に
せずに、簡単な構成でプラズマの一様性を改善でき推進
効率の良いＲＦ型イオン源を構成できる。
せずに、簡単な構成でプラズマの一様性を改善でき推進
効率の良いＲＦ型イオン源を構成できる。
以下本発明の実施例を詳細に説明する。なお従来装置と
その構成が同一の部分については同一符号を附けてその
説明を省略する。第１図に示すような位置にコイル６を
ＳＡＳ製の容器の内周に設け、これとは別に放電容器中
心部の誘導電界を強めるために上蓋内側２０に、螺旋状
インダクションコイル１０を設け、第２図および第３図
に示すように螺旋状インダクションコイル１０の両側に
極性の異なる磁石列９を配する。螺旋状インダクション
コイルｌＯの全体が磁場で覆われているため、プラズマ
の螺旋状インダクションコイル１０への直接接触を防げ
る。螺旋状インダクションコイル１０へのプラズマの接
触がなくなったので、スパタリングによる寿命の問題は
発生しないことになる。
その構成が同一の部分については同一符号を附けてその
説明を省略する。第１図に示すような位置にコイル６を
ＳＡＳ製の容器の内周に設け、これとは別に放電容器中
心部の誘導電界を強めるために上蓋内側２０に、螺旋状
インダクションコイル１０を設け、第２図および第３図
に示すように螺旋状インダクションコイル１０の両側に
極性の異なる磁石列９を配する。螺旋状インダクション
コイルｌＯの全体が磁場で覆われているため、プラズマ
の螺旋状インダクションコイル１０への直接接触を防げ
る。螺旋状インダクションコイル１０へのプラズマの接
触がなくなったので、スパタリングによる寿命の問題は
発生しないことになる。
第４図および第５図に磁石列の別の配置例を示す、これ
は螺旋状インダクションコイル１ｏ複数回おきに円状の
磁石列を極性をかえて配している。
は螺旋状インダクションコイル１ｏ複数回おきに円状の
磁石列を極性をかえて配している。
この磁石列配置だと螺旋状インダクションコイル１０へ
のプラズマの直接接触部分は磁石列を横切る部分１１の
みとなり、この部分１１以外のスパッタリングによる寿
命の問題が発生しない、又、磁石列を横切る部分１１は
寿命によって決まる肉厚にすることになるが、この部分
は少なく大きな重量増加にはならない、要は磁石列９と
螺旋状インダクションコイル１０との交差部分が少なく
なるように磁石列９を配置すればよく、前述した磁石列
配置に限定するものではない、又、放電容器１の側面に
配置しているインダクションコイル６はなくても良い、
導入ガスとしてＨｇを用いているが、 Ｈｇガスに限定
するものではない。
のプラズマの直接接触部分は磁石列を横切る部分１１の
みとなり、この部分１１以外のスパッタリングによる寿
命の問題が発生しない、又、磁石列を横切る部分１１は
寿命によって決まる肉厚にすることになるが、この部分
は少なく大きな重量増加にはならない、要は磁石列９と
螺旋状インダクションコイル１０との交差部分が少なく
なるように磁石列９を配置すればよく、前述した磁石列
配置に限定するものではない、又、放電容器１の側面に
配置しているインダクションコイル６はなくても良い、
導入ガスとしてＨｇを用いているが、 Ｈｇガスに限定
するものではない。
本発明は、ＲＦ型イオン・エンジンについて説明したが
、ＲＦタイプの放電室を使用している全ての装置に適用
できる０例えば、該融合で使用されているプラズマ加熱
用中性粒子入射装置のＲＦ型イオン源についても全く同
じように適用できる。
、ＲＦタイプの放電室を使用している全ての装置に適用
できる０例えば、該融合で使用されているプラズマ加熱
用中性粒子入射装置のＲＦ型イオン源についても全く同
じように適用できる。
第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は本発明
実施例の磁石列配置図、第３図は第２図のＡ−Ａ’力方
向ら見た断面図、第４図は別の磁石列配置図、第５図は
第４図のＢ−Ｂ’力方向ら見た断面図、第６図は従来の
ＲＦ型イオン・エンジンの断面図である。 １・・・ガス導入系 ２・・・放電容器３．４．５・
・・電極 ６・・・インダクションコイル７・・
・中和器 ８・・・放電室９・・・磁石 １０・・・螺旋状インダクションコイル・代理人 弁理
士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第２図 第４図 第５図 第６図
実施例の磁石列配置図、第３図は第２図のＡ−Ａ’力方
向ら見た断面図、第４図は別の磁石列配置図、第５図は
第４図のＢ−Ｂ’力方向ら見た断面図、第６図は従来の
ＲＦ型イオン・エンジンの断面図である。 １・・・ガス導入系 ２・・・放電容器３．４．５・
・・電極 ６・・・インダクションコイル７・・
・中和器 ８・・・放電室９・・・磁石 １０・・・螺旋状インダクションコイル・代理人 弁理
士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第２図 第４図 第５図 第６図
Claims (3)
- （１）ガス導入系と放電容器と電極と放電室内に設けた
インダクションコイルと中和器と電源等で構成されるイ
オン・エンジンに於いて、螺旋状のインダクションコイ
ルを放電容器上蓋内側に設け、磁気カスプ環状線が形成
されるように磁石を放電容器上蓋の壁に配し、かつ該磁
石列間に螺旋状インダクションコイルを設けたことを特
徴と するＲＦ型イオン・エンジン。 - （２）前記放電容器上蓋磁石列を螺旋状インダクション
コイルに沿って螺旋状に配したことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のＲＦ型イオン・エンジン。 - （３）前記放電容器上蓋磁石列を螺旋状インダクション
コイル複数回おきに円状に配したことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のＲＦ型イオン・エンジン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60201589A JPS6263180A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Ｒｆ型イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60201589A JPS6263180A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Ｒｆ型イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263180A true JPS6263180A (ja) | 1987-03-19 |
Family
ID=16443559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60201589A Pending JPS6263180A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | Ｒｆ型イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263180A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015097209A (ja) * | 2008-05-05 | 2015-05-21 | アストリウム・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | イオンエンジン |
| CN114135457A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-03-04 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种离子推进器 |
-
1985
- 1985-09-13 JP JP60201589A patent/JPS6263180A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015097209A (ja) * | 2008-05-05 | 2015-05-21 | アストリウム・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | イオンエンジン |
| CN114135457A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-03-04 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种离子推进器 |
| CN114135457B (zh) * | 2021-11-30 | 2023-03-14 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种离子推进器 |
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