JPS6263829A - 微圧測定用圧力センサ - Google Patents
微圧測定用圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6263829A JPS6263829A JP21717586A JP21717586A JPS6263829A JP S6263829 A JPS6263829 A JP S6263829A JP 21717586 A JP21717586 A JP 21717586A JP 21717586 A JP21717586 A JP 21717586A JP S6263829 A JPS6263829 A JP S6263829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin
- pressure sensor
- pressure
- strain gauge
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、微圧測定用の圧力センサに関するものである
。
。
従来の微圧測定用圧力センサは、第４図、第５図に示す
ように裏面が台などに固定されるリング状の固定部１と
、中央にある厚肉部２と、これらをつなぐ薄肉部３から
なっており、薄肉部３の表面にはひずみゲージ４が設け
られている。
ように裏面が台などに固定されるリング状の固定部１と
、中央にある厚肉部２と、これらをつなぐ薄肉部３から
なっており、薄肉部３の表面にはひずみゲージ４が設け
られている。
前記素子の表面に圧力が加わると、第６図に示すように
、薄肉部３が変形し、応力が発生する。
、薄肉部３が変形し、応力が発生する。
この応力をひずみゲージ４により検出するようになって
いる。
いる。
なお、この種の圧力センサとしては、米国特許第４５７
０４９８号などがある。
０４９８号などがある。
非常に低い圧力を測定するための圧力センサの場合、必
要な出力を出すためには、薄肉部３を非常に薄くして、
低い圧力で高い応力を発生させる必要がある。しかし、
薄肉部３を非常に薄くすると、たわみが大きくなり、大
たわみの影響で、圧力に対する発生応力の関係が非線形
となり、センサとしての精度がわるくなるという問題が
あった。
要な出力を出すためには、薄肉部３を非常に薄くして、
低い圧力で高い応力を発生させる必要がある。しかし、
薄肉部３を非常に薄くすると、たわみが大きくなり、大
たわみの影響で、圧力に対する発生応力の関係が非線形
となり、センサとしての精度がわるくなるという問題が
あった。
本発明は、非常に低い圧力を高い精度で測定できるよう
にした微圧測定用圧力センサを得ることを目的とする。
にした微圧測定用圧力センサを得ることを目的とする。
本発明は、リング状の固定部とその中心側に設けた厚肉
部とを連結する薄肉部にひずみゲージを設けた構成の圧
力センサにおいて、この薄肉部の固定部寄りおよび厚肉
部寄りの夫々にひずみゲージを設置すると共に、この薄
゛肉部の設置されたひずみゲージ間の部分に突起部を形
成したことを特徴とする。
部とを連結する薄肉部にひずみゲージを設けた構成の圧
力センサにおいて、この薄肉部の固定部寄りおよび厚肉
部寄りの夫々にひずみゲージを設置すると共に、この薄
゛肉部の設置されたひずみゲージ間の部分に突起部を形
成したことを特徴とする。
薄肉部のひずみゲージ設置位置間に、さらに突起部を形
成した構造では、応力が、突起の両側の薄肉部に集中す
るため、この表面にひずみゲージを形成しておけば、小
さなたわみで、大きな出力が得られる。したがって、必
要な出力を確保しながら、大たわみによる非線形性を小
さくできる。
成した構造では、応力が、突起の両側の薄肉部に集中す
るため、この表面にひずみゲージを形成しておけば、小
さなたわみで、大きな出力が得られる。したがって、必
要な出力を確保しながら、大たわみによる非線形性を小
さくできる。
以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図と第２図は本発明の一実施例を示す平面図と側面
断面図である。第３図は、圧力が加わった場合の薄肉部
の変形と応力分布を示す図である。
断面図である。第３図は、圧力が加わった場合の薄肉部
の変形と応力分布を示す図である。
第１図〜第３図において、第４図〜第６図と同一符号の
ものは同一部分を示す。
ものは同一部分を示す。
本発明の一実施例は、第１−図、第２図に示すように、
裏面がダイなどに固定されるリング状の固定部１と、中
央にある厚肉部２と、これらをつなぐ薄肉部３からなっ
ており、さらに薄肉部３の中には、突起５と５′が形成
されている。突起５の両側の薄肉部の部分６と６′には
、前記ひずみゲージ４が形成されている。
裏面がダイなどに固定されるリング状の固定部１と、中
央にある厚肉部２と、これらをつなぐ薄肉部３からなっ
ており、さらに薄肉部３の中には、突起５と５′が形成
されている。突起５の両側の薄肉部の部分６と６′には
、前記ひずみゲージ４が形成されている。
この素子の表面に圧力が加わると、第３図に示すように
、薄肉部６，６′が変形し、応力が発生する。この応力
はひずみゲージ４で検出する７第３図の本発明の場合の
変形を、第６図の従来技術の場合の変形と比較すると、
本発明の場合、突起５．５′の剛性が大きいため、ここ
では、はとんど曲げが生じず、薄肉部の部分６と６′に
曲げが集中することがわかる。
、薄肉部６，６′が変形し、応力が発生する。この応力
はひずみゲージ４で検出する７第３図の本発明の場合の
変形を、第６図の従来技術の場合の変形と比較すると、
本発明の場合、突起５．５′の剛性が大きいため、ここ
では、はとんど曲げが生じず、薄肉部の部分６と６′に
曲げが集中することがわかる。
したがって、発生応力を同じにすれば、従来技術と比較
して、たわみは小さくてすむ。
して、たわみは小さくてすむ。
このため、大たわみによる非線形性を小さくすることが
できる。
できる。
本発明の別の実施例を、第７図、第８図と、第９図、第
１０図に示す。これは、加工の容易さを考慮して、突起
をリング状としたものと、矩形としたものである。
１０図に示す。これは、加工の容易さを考慮して、突起
をリング状としたものと、矩形としたものである。
本発明によれば、非常に小さな圧力を測定する場合にも
、出力の非線形性を小さくすることができる。したがっ
て、正確な圧力測定を実現できる。
、出力の非線形性を小さくすることができる。したがっ
て、正確な圧力測定を実現できる。
第１図と第２図は夫々本発明の一実施例における平面図
と側面断面図、第３図は圧力が加わった場合の薄肉部の
変形と応力分布の関係を示す図、第４図と第５図は夫々
従来の圧力センサの平面図と側面断面図、第６図は圧力
が加′ゎった場合の薄肉部の変形と応力分布の関係を示
す図、第７図と第８図は夫々本発明の他の実施例におけ
る平面図と側面断面図、第９図と第１０図は夫々本発明
の更に他の実施例における平面図と側面断面図である。 １・・・固定部、２・・・厚肉部、３・・・薄肉部、４
・・・ひずみゲージ、５．５′・・・突起、６．６′・
・・突起の両わきの薄肉部の部分。
１′）′・ｊ 代理人 弁理士 小川勝馬、−、ジ゛ 早 ７ 口 ＊ ７ 口
と側面断面図、第３図は圧力が加わった場合の薄肉部の
変形と応力分布の関係を示す図、第４図と第５図は夫々
従来の圧力センサの平面図と側面断面図、第６図は圧力
が加′ゎった場合の薄肉部の変形と応力分布の関係を示
す図、第７図と第８図は夫々本発明の他の実施例におけ
る平面図と側面断面図、第９図と第１０図は夫々本発明
の更に他の実施例における平面図と側面断面図である。 １・・・固定部、２・・・厚肉部、３・・・薄肉部、４
・・・ひずみゲージ、５．５′・・・突起、６．６′・
・・突起の両わきの薄肉部の部分。
１′）′・ｊ 代理人 弁理士 小川勝馬、−、ジ゛ 早 ７ 口 ＊ ７ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、リング状の突起部からなる固定部と、該固定部の中
央にある厚肉部と、該固定部と該厚肉部間をつなぐ薄肉
部と、該薄肉部に設けられるひずみゲージとを備えた微
圧測定用圧力センサにおいて、 前記ひずみゲージは、前記薄肉部の前記固定部寄りと前
記厚肉部寄りとに夫々設置すると共に、 前記薄肉部の前記固定部寄りに設置した該ひずみゲージ
と前記厚肉部寄りに設置した該ひずみゲージ間に突起部
を形成したことを特徴とする微圧測定用圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21717586A JPS6263829A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 微圧測定用圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21717586A JPS6263829A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 微圧測定用圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263829A true JPS6263829A (ja) | 1987-03-20 |
| JPH0377452B2 JPH0377452B2 (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=16700036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21717586A Granted JPS6263829A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 微圧測定用圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263829A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0359431A (ja) * | 1989-07-22 | 1991-03-14 | Hottinger Baldwin Messtech Gmbh | 圧力センサ及び圧力センサの校正方法 |
| US5156052A (en) * | 1990-12-20 | 1992-10-20 | Honeywell Inc. | Ribbed and bossed pressure transducer |
-
1986
- 1986-09-17 JP JP21717586A patent/JPS6263829A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0359431A (ja) * | 1989-07-22 | 1991-03-14 | Hottinger Baldwin Messtech Gmbh | 圧力センサ及び圧力センサの校正方法 |
| US5156052A (en) * | 1990-12-20 | 1992-10-20 | Honeywell Inc. | Ribbed and bossed pressure transducer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0377452B2 (ja) | 1991-12-10 |
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