JPS6274329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6274329U JPS6274329U JP16680085U JP16680085U JPS6274329U JP S6274329 U JPS6274329 U JP S6274329U JP 16680085 U JP16680085 U JP 16680085U JP 16680085 U JP16680085 U JP 16680085U JP S6274329 U JPS6274329 U JP S6274329U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- density
- beam source
- target
- relatively
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、この考案に係る分子線エピタキシー
装置の一例を示す概略図である。第２図は、補正
板の一例を示す正面図である。第３図は、補正板
上の分子線密度分布の一例を示す図である。第４
図は、従来の分子線エピタキシー装置の一例を示
す概略図である。 ２……基板、４……分子線源、６……分子線、
１８……補正板、２０……貫通孔。
装置の一例を示す概略図である。第２図は、補正
板の一例を示す正面図である。第３図は、補正板
上の分子線密度分布の一例を示す図である。第４
図は、従来の分子線エピタキシー装置の一例を示
す概略図である。 ２……基板、４……分子線源、６……分子線、
１８……補正板、２０……貫通孔。
Claims (1)
- 粒子ビーム源からのある密度分布を持つ粒子ビ
ームをターゲツトに照射するものにおいて、粒子
ビーム源とターゲツトとの間の粒子ビームの経路
上に複数の貫通孔を有する補正板を配置し、当該
補正板の開口密度を、粒子ビーム源からの粒子ビ
ームの密度が相対的に大きい所は相対的に小さく
、粒子ビームの密度が相対的に小さい所は相対的
に大きくしていることを特徴とする粒子ビーム密
度分布の補正構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16680085U JPS6274329U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16680085U JPS6274329U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6274329U true JPS6274329U (ja) | 1987-05-13 |
Family
ID=31098120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16680085U Pending JPS6274329U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6274329U (ja) |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP16680085U patent/JPS6274329U/ja active Pending
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