JPS6276040A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技ｉｆｊ分野〕 本発明１よ光ｒａ気記録媒体のｉ′１造方法に係り、特
に右）復旧脂基板を使用した媒体とガラス基板を使用し
た媒体の特徴を兼備えた光ｆ１気記録媒体の牛゛ｌ造方
法に関する。

〔発明の技’＋ｊｉ的背円とその問題点］高密度、大容
吊で、しかも記録、再生および消去が可能な記録媒体と
して、光磁気記録媒体が注目されている。光磁気記録媒
体は膜面に垂直方向に磁化容易軸を有するＩａ性体ＩＩ
Ｑを記録層とし、レーザビーム等による熱エネルギーを
利用してＥ−１化反転の形で記録を行ない、再生はカー
効果のような磁気光学効果を利用して行なうものである
。このような光磁気記録媒体にあける記録層（Ａ料とし
て１．ｔ、ＴｂＣｏ、ＧｄＣｏ、’ｒｂＦｅ、ＧｄＴｂ
Ｆｅ、ＴｂＤｙＦ”ｅ等の弄土項−Ｊコ移金属非晶買合
金薄模が特に有望視されでいる。

一方、光（６気記録媒体における基板材ｆｌとして１よ
、アクリル、ポリカーボネイ１〜等の有興）開局基板と
、無典材１１であるガラス基（、々が検問されている。

光［０気記録媒体における基板は、通常の光記録媒体の
それと同様に１〜ラツキング、）Ａ−カシングサーボ等
を確実に（ｊなうための案内溝が不可欠である。その点
、有Ｉ樹脂基板（よ案内溝のパク−ンが形成された金属
スタンパを使用して注形。

射出成形等を行なうことにより、容易に案内溝を形成す
ることができる。

しかしながら、有機樹脂基板上に記録層等を形成した光
磁気記録媒体は、通常の雰囲気中でも基板の吸湿による
膨張のため反り等の変形が大きく、記録再生特性上問題
となる。また、長期の信頼性（寿命）を調べるために高
温高湿下（７０℃、ＲＨ９０％）に晒した場合、基板の
熱膨張が大きいためと吸湿膨張により、記録層等が基板
から剥離するという問題があった。

これに対し、無機材料であるガラス基板は温度膨張係数
が小さく、吸湿の問題もないが、案内溝を形成すること
が非常に困難というのが大きな欠点である。また、研磨
による基板製作は、コスト高を招く。即ち、ガラス基板
を用いる場合には、少なくとも片面に光学研磨を施し、
レジストを１デ布して案内溝付のマスクで露光するか、
あるいは精密送り機構とレーザビーム発生源を備えた露
光装置によりレジストによる案内溝を形成した接、ＲＩ
Ｅ（リアクティブイオンエツチング装置）によりガラス
基板をエツチングして一枚一枚案内溝を形成しなければ
ならず、著しく量産性に欠ける。

〔発明の目的〕

本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもの
で、基板の吸湿、熱膨張による変形や記録層等の剥離の
おそれがなく、しかも所産性に浸れた光磁気記録媒体の
製造方法を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明はこの目的を達成するため、第１に案内溝が形成
された有機樹脂基板上に、少なくとも膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有する磁性体膜からなる記録層を形成した
後、両面にガラス板を接着することを特徴とする。

また、本発明は第２に案内溝が形成された有機樹脂基板
上に光反Ｄｉ　Ｉを形成した後、ガラス板を接着し、次
いで有機樹脂基板を剥離した後、光反ｆＭＲ上に少なく
とも膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性体膜から
なる記録層を形成することを特徴とする。

〔発明の効果〕

本発明によれば、案内溝が形成された有機樹脂基板上に
記録層等を形成したものを両面からガラス板で挟むこと
によって、有機樹脂基板の吸湿およびそれによる膨張の
問題がなくなり、さらに媒体全体の熱膨張係数はガラス
のそれに支配される。

従って、媒体が反り等の変形を生じたり、記録層等が基
板から剥離することがなく、長期にわたり信頼性の高い
光磁気記録媒体が得られる。また、案内溝は有機樹脂基
板に注形、　ＤＡ出成形等により形成されるので、ガラ
ス基板に案内溝を形成する場合と比較して量産性が著し
く向上する。また、両面に接着されるガラス板は従来の
光磁気記録媒体における案内溝付ガラス基板のように案
内満面を研磨する必要がないので、この点力日らもコス
トダウンが期待できる。

さらに、本発明によれば案内溝が形成された有機樹脂基
板上に光反射層を介してガラス板を接着し、有機樹脂基
板を剥離した後、光反射層上に記録層等を形成すること
によって、媒体としての基板はガラス基板となるから、
有様樹脂基板に見られる問題が本質的に解決される。ま
た、ガラスの熱膨張係数が低いことで光反ｒＡ筈の伸縮
はガラス板により制約され、光反射層の実質的な熱膨張
係数はガラスのそれと同じになるので、その上に形成さ
れる記録層さらには誘電体１等の熱膨張係数とも極めて
接近したものとなり、実用上十分な寿命特性が得られる
。また、媒体の基板としてガラス板を使用しながらも、
案内溝は有機樹脂基板に形成したものを光反射層に転写
することができることから、案内溝付ガラス基板を使用
する場合に比べて製造工程が非常に単純化され、所産性
が大きく向上する。

このように本発明によれば、光磁気記録媒体の長期信頼
性および量産性の著しい向上を図ることができる。

（発明の実施例） 本発明に係る光磁気記録媒体の製造方法の第１の実施例
を第１図を参照して説明する。まず、第１図（ａ）に示
すような案内溝１２を有する有償樹脂基板１１を用意す
る。この基板１１の材料は例えばアクリル、ポリカーボ
ネイト等であり、案内溝１２は通常の注形、あるいは割
出成形等により容易に形成される。なお、基板１１は我
緘的強度が大きいことと、後に接着されるガラス板の熱
膨張係数に対する抵抗力か小ざいものであることが望ま
しく、その観点から厚さは０．３〜１Ｍ稈度が適当であ
る。但し、あまり薄いと洗浄、取扱いが不便なので、０
．５１Ｍ＋程度が望ましい。

次に、第１図（ｂ）に示すように有機樹脂基板１１の案
内溝１２が形成された面上に、第１の誘電体層１３．膜
面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性体膜からなる記
録層１４．第２の誘電体層１５および光反ｆｌｌ＝Ｉ牌
１６を、例えば多元スパッタリング装置内で連続的に形
成する。ここで、第１の誘電体層１３は記録用１４のカ
ー回転角を等価的に大きくするための干渉層として作用
するもので、例えばＢＮ、Ｓ　ｉ　Ｎ、ＡｇＮ、Ｔ　ｉ
　Ｎ。

ＳｉＯ，Ａり２０３等の厚さ１０００人程度０簿喚が使
用される。

記録層１４の…性体膜としては、前述したように丁ｂＣ
ｏ、ＧｄＣｏ、ＴｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ。

ＴｂＤｙＦｅ等の希土類−ｉ！！移金屈非晶買合金簿膜
が使用される。例えばＴｂＣ０の場合を例にとると、Ｔ
ｂターゲットとＣｏターゲットを用い、２元同時スパッ
タリングにより記録層１４を形成できる。Ｔｂ、！：Ｃ
ｏの組成比はそれぞれのターゲラ［−の投入電力によっ
てチり陣することができる。

記録層１４の膜厚は５００人とした。

第２の誘電体層１５は記録層１４を保護するためのもの
で、第１の誘電体層１３と同様のものか使用される。光
反射層１６は光磁気記録媒体において通常設けられるも
ので、アルミニウム膜のような光反射率の高いものが使
用され、そのｌａｇ　Ｊ＄は１０００人程度０簿当であ
る。

そして、第１図（ｂ）の構造の積層体両面に第１図（Ｃ
）に示すように、接着層１７８．１７ｂをそれぞれ介し
てガラス板１８ａ、１８ｂを接着する。接Ｗ＠１７ａ、
１７ｂは有機接着剤、例えば紫外線硬化樹脂（サンライ
ズメイセイ社製ｐｈｏｔｏ　ｂｏｎｄ　＃　１００等）
が使用される。ガラス板１８ａ、１８ｂは熱膨張係数が
誘電体層１３゜１５のそれに近いものほど好ましいが、
光磁気記録媒体の使用される温度が高々５０℃であり、
また高温高湿試験下でも７０〜８０’Ｃ程度であること
を考えると、通常のガラス材であれば熱膨張係数が１０
０Ｘ　１０−　’　ｃｍ／℃以下なので、はとんどのも
のを使用できる。但し、レーザビームが入射される側の
ガラス板１８ｂは、Ｃ、、／　Ｎの低下等を防ぐために
復屈折率の小さいガラス材料が望ましい。

ここで、ガラス板１８ａ、１８ｂは光学研磨は不要であ
り、通常の板厚が０．５〜１ｍＭ程度の板ガラスをディ
スク状に加工するだけでよいので、数１０枚を低融点の
ワックス等で貼り合せて外周加工および中心孔加工を実
施でき、安価に製作できる。

なお、このようにして得られた第１図（Ｃ）に示す光［
ａ気記録媒体は、ガラス板１８ａ側からレーザビームを
照射することにより情報の記録再生が行なわれる。

次に、ガラス１１８ａ、１８ｂを第１図（ｃ）のごとく
貼り合せる具体的な方法について、第２図を用いて説明
する。第２図に示すように真空槽２１を透明シリコーン
ゴムあるいは薄いテフロンシートからなる可撓性を有す
る隔壁２２で２つの至Ａ、Ｂに仕切り、Ｂ室に而した紫
外線入射窓２３ｂ上にガラス板１８ｂを設置し、所定量
の液状紫外線硬化樹脂２４ｂを滴下する。第１図（ｂ）
の槓苦体２５を変形可能なテフロン製等の冶具２６によ
って、位置出しができるように支持する。

この積層体２５−Ｆにも所定量の液状紫外線硬化樹脂２
４ａを滴下した後、もう一つのガラス数１８ａを治具２
６の頂部に設置する。そして、Ａ至に面して設けられた
紫外、線入ｑ４窓２３ａからも紫外線を導入する。冶具
２７はガラス板１８ａ。

１８ｂおよび積層体２５の中心孔のガイドであり、中心
出しのためのものである。

このよう４１装置を用いて、次の手順でガラス数１８ａ
、１８ｂを積層体２５に貼り合せる。

（１）　　真空１ｆ１２１のＡ、Ｂ両￥を同時に排気し
、液状紫外線硬化樹脂の脱泡を完全に行なう。

（２）Δ室を徐々に大気圧に戻し、ガラス板１８８゜１
８ｂおよび積層体２５を隔壁２２を介して大気圧で加圧
する。

（３）　　この加圧した状態で数分間放置し、紫外線硬
化樹脂２４ａ、２４ｂ　（第１図の接着層１７ａ。

１７ｂ）を十分に薄く、均一化する。

（４）紫外線入ｌ１）１窓２３ａ、２３ｂから紫外線を
照射し、紫外線硬化樹脂２４ａ、２４ｂを硬化させる。

（５）　　室内に取出し、必要があれば再度紫外線を照
射して追硬化を行なう。

以上の工程により、有は樹脂基板１１上に記録層１４を
はじめとする各層が形成され、且つ全体が両面からガラ
ス板１８ａ、１８ｂにより挟まれ堅固に一体化された光
磁気記録媒体が得られる。

次に、第３図を参照して本発明に係る光磁気記録媒体の
製造方法の第２の実施例を説明する。まず、第３図（ａ
）に示すような案内溝３２を有する有は樹脂基板３１を
用意する。この基板３１の材料は例えばアクリル、ポリ
カーボネイト等であり、案内溝３２は通常の注形、ある
いは射出成形等により容易に形成される。

次に、第３図（ｂ）に示すように有償樹脂基板３１の案
内溝３２が形成された面上に、剥離層３３を介して光反
ｔＪＩ層３４を形成する。剥離層３３はに機樹脂基板３
１を後述する工程で剥離する際に有用なものであり、有
機樹脂基板３１と熱膨張係数が大きく異なる金属酸化物
、金属窒化物。

半導体酸化物、半導体窒化物等の材料からなり、スパッ
タリング法等により５０〜５００人程度の膜厚に形成さ
れる。光反剣騎３４は光反射率の高い金属材料が使用さ
れる。一実施例では剥離１響３３としてＳｉＮ膜をスパ
ッタリング法により２００人の厚さに形成し、光反［Ｊ
３４としてはアルミニウム膜をやはりスパッタリング法
により１０００人の厚さに形成した。

次に、第３図（Ｃ）に示すように光反射層３４上に接着
層３５を介してガラス板３６を接着する。

接着層３５は有機接着剤、〃１えば紫外線硬化樹脂（サ
ンライズメイセイ社製ｐｈｏｔｏ　ｂｏｎｄ　＃　１０
０等）が使用される。ガラス板３６は熱膨張係数が後述
する誘電体層のそれに近いものほど好ましいが、光…気
記録媒体の使用される温度が高々５０℃であり、また高
温高湿試験下でも７０〜８０°Ｃ程度であることを考え
ると、通常のガラス材であれば熱膨張係数が１００ｘ　
１０−　’　ｃｔｔｒ／　’Ｃ以下なので、はとんどの
ものを使用できる。ここで、ガラス板３６は光学研磨は
不要であり、通常の板厚が０．５〜１　ｍｍ程度の板ガ
ラスをディスク状に加工するだけでよいので、数１０枚
を低融点のワックス等で貼り合せて外周加工および中心
孔加工を実施でき、安価に製作できる。

次に、石層樹脂基板３１と剥離層３３との熱膨張係数の
差を利用し、第３図（Ｃ）の積層体を例えば７０〜８０
℃Ｐ１．度に加熱することにより剥ｌｌＦｍ３３を境に
して石層樹脂基板３１を剥餌する。この工程により第３
図（ｄ）に示すような、カラス板３６上に接着層３５を
介して光反射筈３４が形成きれたものが取出される。

次に、第３図（ｅ）に示すように光反射時３４上に、第
１の誘電体層３７．膜面に垂直方向に磁化容易軸を有す
る磁性体膜からなる記録層３８゜第２の誘電体層３９を
、例えば多元スパッタリング装置内で連続的に形成する
。ここで、第２の誘電体層３９は記録層３８のカー回転
角を等価的に大きくするための干渉層として作用するも
ので、例えばＢＮ、ＳｉＮ、ＡβＮ、　Ｔ　ｉ　Ｎ、　
Ｓ　Ｉ　Ｏ。

Ａｇ２’０３等の厚さ１０００人程度０薄膜が使用され
る。

記録層３８の磁性体膜としては前ｊホしたように、Ｔｂ
Ｃｏ、ＧｄＣｏ、丁ｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ。

ＴｂＤｙＦｅ等の希土類−１ｆｆ移金属非晶質合金薄膜
が使用される。例えばＴｂＣｏの場合を例にとると、Ｔ
ｂターゲットとＣ○ツタ−ットを用い、２元同時スパッ
タリングにより記録層３８を形成できる。ＴｂとＣＯの
組成比はそれぞれのターゲットの１９人電力によって制
ｔｔｐすることができる。

記録層３８の膜厚は５００人とした。

第１の誘電体層３７は記録層３８を保護し記録層３８の
性能を高めるためのもので、第２の誘電体層３つと同様
のものが使用される。実施例では第１および第２の誘電
体図３７．３９とも、６ｕ厚１０００人の３ｉ３Ｎ＜摸
を形成した。

なお、このようにして得られた第３図（ｅ）に示す光磁
気記録媒体は、第２の誘電体層３９側からレーザビーム
を照則することにより情報の記録再生が（牙なねれる。

次に、第３図（Ｃ）の工程において光反射層３４とガラ
ス板３６とを貼り合せる置体的な方法について、第４図
を用いて説明する。第４図に示すように真空槽４１を透
明シリコーンゴムあるいは薄いテフロンシートからなる
可換性を有する隔壁４２で２つの室Ａ、Ｂに仕切り、Ｂ
至に而した紫外線入射窓４３上にガラス板３６を設置し
、所定量の液状紫外Ｉ！硬化樹脂４４を滴下する。第３
図１＞の積層体４５を変形可能なテフロン製等の治具４
６によって、位置出しができろように支持する。

このような装置を用いて、次の手頃でガラス板３６を！
、！！層体４５に貼り合せる。

（１）　　真空槽４１のＡ、Ｂ雨空を同時に排気し、液
状紫外線硬化樹脂の抑泡を完全に行なう。

（２）Ａ室を徐々に大気圧に房し、ガラス板３６および
積層体４５を隔壁４２を介して大気圧で加圧する。

（３）　　この加圧した状態で数分間放置し、紫外線硬
化樹脂４４（第３図の接着層３５）を十分に薄く、均一
化する。

（４）　　紫外線入射窓４３から紫外線を照則し、紫外
線硬化樹脂４４を硬化させる。

（５）　　室内に取出し、前述のように熱膨張係数の差
を利用して有Ｉｊ３１樹脂基板３１を剥＠層３３を介し
て剥離する。

以上のようにして、本実施例によれば案内溝のない平坦
なガラス板３６を基板とし、その上に案内溝を有する光
反射層３４や記録層３８をはじめとする各層が形成され
た光磁気記録媒体がｉｑられる。

第５図は第３図の実施例を変形した実施例であり、第３
図（ｅ）の工程の後、ガラス板３６と反対側の面、すな
わち第２の誘電体層３９　、、ｔ：に接着層５１な介し
てガラス板５２を接着したものであため、さらに高信頼
性、長寿命の光磁気記録媒体が得られる。なお、第５図
の媒体では記録再生時にガラス板５２をレーザビームが
通過するが、ガラス板５２は記録層３８とは誘電体層３
９および接肴苦５１を介して離れているため、表面の若
干の凹凸は記録再生に影響を与えず、従ってガラス板５
２の光学研磨がエサであることはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光Ｒ１気記録媒体の製造方を大の
第１の実施例を説明するｊ：めの工程図、第２図は同実
施（り１で使用する装置の断面図、第３図１ま本発明に
係る光り社気証録媒体の）り造方法の第２の実施例を説
明するための工程図、第４図は同実施例で使用する装置
の断面図、第ｂＦＦ’ｗは第３図の実施例を変形した実
施例の最終工程を示す図である。 １１．３１・・・有機樹脂基板、１２．３２・・・案内
溝、１３．１５．３７．３９・・・誘電体、苦、１４゜
３８・・・記録層、１６．３４・・・光反射層、１７８
゜１７ｂ、３５．５１＝・・接着層、１８ａ、１８ｂ。 ３６．５２・・・ガラス板、２１．４１・・・真空層、
２２．４２・・・隔壁、２３ａ、２３ｂ、４３−・・紫
外線入射窓、２４ａ、２４ｂ、４４・・・液状紫外線硬
化樹脂、２５．４５・・・積層体、２６，２７．−４６
・・・冶具。 出願人代理人　弁理士　鈴汀武ら ｌ１ｌＩＵｖ 第３図 第４図 第５図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）案内溝が形成された有機樹脂基板上に、少なくと
   も膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性体膜からな
   る記録層を形成した後、両面にガラス板を接着すること
   を特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
2. （２）案内溝が形成された有機樹脂基板上に光反射層を
   形成した後、ガラス板を接着し、次いで前記有機樹脂基
   板を剥離した後、前記光反射層上に少なくとも膜面に垂
   直方向に磁化容易軸を有する磁性体膜からなる記録層を
   形成することを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。