JPS6276247A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6276247A JPS6276247A JP60218772A JP21877285A JPS6276247A JP S6276247 A JPS6276247 A JP S6276247A JP 60218772 A JP60218772 A JP 60218772A JP 21877285 A JP21877285 A JP 21877285A JP S6276247 A JPS6276247 A JP S6276247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- observation
- scanning
- magnification
- electron microscope
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、走査型電子顕微鏡における電子像の位置１倍
率設定方法に関する。
率設定方法に関する。
口、従来の技術
走査型電子顕微鏡で試料を観察する場合、低倍率で試料
面の広い範囲を観察して、観察点を選定し、その選定点
を拡大して見るようにしている。
面の広い範囲を観察して、観察点を選定し、その選定点
を拡大して見るようにしている。
この時、観察用ＣＲＴの画面が一定なので、見たい場所
を観察用ＣＲＴの中心になるように試料を移動させて倍
率を上げないと、見たい場所が観察用ＣＲＴの画面から
はずれる。又、見たい場所を観察用ＣＲＴの中心になる
ように位置させても、次に倍率を上げた時、観察用ＣＲ
Ｔの画面において見たい範囲の端の部分が、画面外に出
てしまったり、見たい場所の一部しか映らなかったりし
て、再度倍率を設定し直さなければならない事が多かっ
た。
を観察用ＣＲＴの中心になるように試料を移動させて倍
率を上げないと、見たい場所が観察用ＣＲＴの画面から
はずれる。又、見たい場所を観察用ＣＲＴの中心になる
ように位置させても、次に倍率を上げた時、観察用ＣＲ
Ｔの画面において見たい範囲の端の部分が、画面外に出
てしまったり、見たい場所の一部しか映らなかったりし
て、再度倍率を設定し直さなければならない事が多かっ
た。
ハ０発明が解決しようとする問題点
走査型電子顕微鏡で試料を観察する場合、見たい場所が
観察用ＣＲＴの画面の中心に来るように試料をセットし
てから、拡大しなければならないし、倍率も観察したい
領域の広さとは関係なく指定されるために、倍率を上げ
たとき見たい領域が画面一杯になるように倍率を設定す
る操作は面倒であった。本発明はこの操作性の改善を目
的とする。
観察用ＣＲＴの画面の中心に来るように試料をセットし
てから、拡大しなければならないし、倍率も観察したい
領域の広さとは関係なく指定されるために、倍率を上げ
たとき見たい領域が画面一杯になるように倍率を設定す
る操作は面倒であった。本発明はこの操作性の改善を目
的とする。
二１問題点解決のための手段
本発明は、観察用ＣＲＴ表示画面に試料の観察域を指定
するウィンドフレームを映出させ、このウィンドフレー
ムの中心位置、観察域の設定と連動させて走査型電子顕
微鏡の試料側の走査ビームの走査範囲の中心位置、振れ
幅を自由に設定する電気的制御部を設定した。
するウィンドフレームを映出させ、このウィンドフレー
ムの中心位置、観察域の設定と連動させて走査型電子顕
微鏡の試料側の走査ビームの走査範囲の中心位置、振れ
幅を自由に設定する電気的制御部を設定した。
ホ１作用
本発明は、観察用ＣＲＴ表示画面にウィンドフレームを
映出させ、このウィンドフレームの中心位置、観察域の
設定と連動させて、走査型電子顕微鏡の試料側の走査ビ
ームの中心位置、振れ幅を自由に設定する電気的制御部
を設置したので目視により走査型電子顕微鏡における観
察位置２倍率の設定ができ、走査型電子顕微鏡の操作性
が向上する。
映出させ、このウィンドフレームの中心位置、観察域の
設定と連動させて、走査型電子顕微鏡の試料側の走査ビ
ームの中心位置、振れ幅を自由に設定する電気的制御部
を設置したので目視により走査型電子顕微鏡における観
察位置２倍率の設定ができ、走査型電子顕微鏡の操作性
が向上する。
へ、実施例
第１図は本発明のブロック図である。
１は観察用ＣＲＴ９と試料側の操作ビームのＸ軸、Ｙ軸
方向の走査を制御する信号を送り出す操作信号発生器、
６はウィンドフレーム信号発生器で、高倍率に切替えた
時拡大して映出される映像の範囲を指定する枠形の映像
を観察用ＣＲＴに映出する信号を発生させ、スイッチＳ
３を閉じたとき、検出部１１から送られる映像信号を同
信号とビデオアンプｌＯで合成して、観察用ＣＲＴ９の
試料昭映像に白い枠として映出する。
方向の走査を制御する信号を送り出す操作信号発生器、
６はウィンドフレーム信号発生器で、高倍率に切替えた
時拡大して映出される映像の範囲を指定する枠形の映像
を観察用ＣＲＴに映出する信号を発生させ、スイッチＳ
３を閉じたとき、検出部１１から送られる映像信号を同
信号とビデオアンプｌＯで合成して、観察用ＣＲＴ９の
試料昭映像に白い枠として映出する。
７は、フレームサイズ設定用可変抵抗器で、観察用ＣＲ
Ｔ上のウィンドフレームの大きさくＣＲＴ画面サイズの
１／１〜１／２０）を設定する。
Ｔ上のウィンドフレームの大きさくＣＲＴ画面サイズの
１／１〜１／２０）を設定する。
２は倍率制御器で走査信号を増幅する可変利得アンプで
あり、スイッチＳ１を閉じたとき、上記の可変抵抗器の
抵抗値よりウィンドフレームの大きさを電気的信号とし
て読取り、その電気的信号に相関させて、ウィンドフレ
ームに囲まれた試料の範囲と、試料側の走査ビームの走
査範囲が一致するように偏向コイル１２の入力信号の振
幅を変換する。８は中心位置設定用可変抵抗器でウィン
ドフレームの中心位置を設定する。５はバイアス発生装
置で、スイッチＳ２を閉じたとき、上記の可変抵抗器８
の抵抗値を電気的信号として読取り、その電気的信号に
応じて直流バイアス電圧を発生させる。加算回路３によ
り走査信号に上記直流バイアスを加算して、偏向コイル
１２に印加する。
あり、スイッチＳ１を閉じたとき、上記の可変抵抗器の
抵抗値よりウィンドフレームの大きさを電気的信号とし
て読取り、その電気的信号に相関させて、ウィンドフレ
ームに囲まれた試料の範囲と、試料側の走査ビームの走
査範囲が一致するように偏向コイル１２の入力信号の振
幅を変換する。８は中心位置設定用可変抵抗器でウィン
ドフレームの中心位置を設定する。５はバイアス発生装
置で、スイッチＳ２を閉じたとき、上記の可変抵抗器８
の抵抗値を電気的信号として読取り、その電気的信号に
応じて直流バイアス電圧を発生させる。加算回路３によ
り走査信号に上記直流バイアスを加算して、偏向コイル
１２に印加する。
偏向コイル１２に印加さ２ｄ箪査信号には、直流バイア
スが印加されるので、試料側の走査ビームの中心位置は
電子光学系の光軸から外れ、ウィンドフレームの中心位
置に合わされる。このようにして、倍率制御器２による
走査ビームの走査範囲の調整、加算回路３による走査ビ
ームの走査範囲の中心位置の調整がなされ、試料側の走
査ビームが、偏向コイル１２により偏向され、試料の指
定された範囲を走査する。試料から放射された二次放射
線が検出器１１によって検出され、映像信号としてビデ
オアンプ１０に送られる。同信号は、ビデオアンプ１０
で増幅されて観察用ＣＲＴ９の走査ビームの強弱の変調
信号となり、観察用ＣＲＴに濃淡の映像を映す。その映
像は走査信号発生器より送られる走査信号により、試料
と観察用ＣＲＴの走査と同期して走査が行われる。
スが印加されるので、試料側の走査ビームの中心位置は
電子光学系の光軸から外れ、ウィンドフレームの中心位
置に合わされる。このようにして、倍率制御器２による
走査ビームの走査範囲の調整、加算回路３による走査ビ
ームの走査範囲の中心位置の調整がなされ、試料側の走
査ビームが、偏向コイル１２により偏向され、試料の指
定された範囲を走査する。試料から放射された二次放射
線が検出器１１によって検出され、映像信号としてビデ
オアンプ１０に送られる。同信号は、ビデオアンプ１０
で増幅されて観察用ＣＲＴ９の走査ビームの強弱の変調
信号となり、観察用ＣＲＴに濃淡の映像を映す。その映
像は走査信号発生器より送られる走査信号により、試料
と観察用ＣＲＴの走査と同期して走査が行われる。
以上の構成で、当初まず倍率制御器に低倍率、例えば１
００倍を設定し、スイッチＳＬ、Ｓ２開、Ｓ３閉七して
観察用ＣＲＴ上に試料像を映出させ、フレームサイズ設
定用可変抵抗器７、中心位置設定用可変抵抗器８を操作
して、観察用ＣＲＴ画面上に希望する位置、範囲を表示
するウィンドフレームを映出し、次にスイッチＳ３を開
、Ｓｌ、Ｓ２を閉じると観察用ＣＲＴからウィンドフレ
ームが消えて、今までウィンドフレーム内に映出された
試料映像が観察用ＣＲＴ一杯に拡大されて映出される。
００倍を設定し、スイッチＳＬ、Ｓ２開、Ｓ３閉七して
観察用ＣＲＴ上に試料像を映出させ、フレームサイズ設
定用可変抵抗器７、中心位置設定用可変抵抗器８を操作
して、観察用ＣＲＴ画面上に希望する位置、範囲を表示
するウィンドフレームを映出し、次にスイッチＳ３を開
、Ｓｌ、Ｓ２を閉じると観察用ＣＲＴからウィンドフレ
ームが消えて、今までウィンドフレーム内に映出された
試料映像が観察用ＣＲＴ一杯に拡大されて映出される。
このようにして、指定されたウィンドフレーム内の映像
が、試料を動かさずに観察用ＣＲＴの中央入力回路のラ
スタ一杯の映像に拡大されて映出される。なおそのとき
の倍率は、初期倍率を１００倍とするとウィンドフレー
ムの大きさを１／ＮとしたときＮＸ １００となり、ウ
ィンドフレームは１／１〜１／２０の間で設定できるの
で、画面倍率は１００〜２０００倍となル。又、ＳＬ、
Ｓ２を開にし再度、ウィンドフレームで指定し、再度環
８１．Ｓ２を閉にすれば、上記と同様にして再度の拡大
表示が可能である。このよのうにして多段階拡大が可能
であり、順次画面を拡大しなしから次第に詳細に試料上
の観察点を指定して行（ことができる。
が、試料を動かさずに観察用ＣＲＴの中央入力回路のラ
スタ一杯の映像に拡大されて映出される。なおそのとき
の倍率は、初期倍率を１００倍とするとウィンドフレー
ムの大きさを１／ＮとしたときＮＸ １００となり、ウ
ィンドフレームは１／１〜１／２０の間で設定できるの
で、画面倍率は１００〜２０００倍となル。又、ＳＬ、
Ｓ２を開にし再度、ウィンドフレームで指定し、再度環
８１．Ｓ２を閉にすれば、上記と同様にして再度の拡大
表示が可能である。このよのうにして多段階拡大が可能
であり、順次画面を拡大しなしから次第に詳細に試料上
の観察点を指定して行（ことができる。
第２図において４４図は初期の低倍率の画面である。ウ
ィンドフレームＦを、図イのように指定すれば、Ｆの範
囲が倍率制御器２と加算回路３により開口のようにラス
タ一杯に拡大される。又、開口においてウィンドフレー
ムＦ を同様に指定すると、図ハのように拡大される。
ィンドフレームＦを、図イのように指定すれば、Ｆの範
囲が倍率制御器２と加算回路３により開口のようにラス
タ一杯に拡大される。又、開口においてウィンドフレー
ムＦ を同様に指定すると、図ハのように拡大される。
このようにして試料を動かさずに、走査型電子顕微鏡本
体の走査ビームを設定通りに偏向させることにより、見
たい所を見たい大きさで見ることができる。
体の走査ビームを設定通りに偏向させることにより、見
たい所を見たい大きさで見ることができる。
ト、効果
本発明は上述した方法で、従来の走査型電子顕微鏡にお
ける観察位置及び倍率の設定における煩わしさを解消し
、走査型電子顕微鏡の操作性が向上する。
ける観察位置及び倍率の設定における煩わしさを解消し
、走査型電子顕微鏡の操作性が向上する。
第１図は本発明の一ブロック図、第２図は操作説明図で
ある。 代理人 弁理士 縣 浩 介 第１図 第２図
ある。 代理人 弁理士 縣 浩 介 第１図 第２図
Claims (1)
- 観察用ＣＲＴの試料映像上にウインドフレームを映出し
、そのウインドフレームの中心位置、観察域の設定が、
試料側の走査ビームの走査範囲の中心位置、振れ幅に連
動する電子的制御機構を備えた走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218772A JPS6276247A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218772A JPS6276247A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6276247A true JPS6276247A (ja) | 1987-04-08 |
Family
ID=16725146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60218772A Pending JPS6276247A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6276247A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63285854A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | 試料像の視野移動装置 |
| JP2003086645A (ja) * | 2001-09-13 | 2003-03-20 | Hitachi Ltd | 検査装置および検査システム並びに半導体デバイスの製造方法 |
| JP2008226508A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 撮像倍率調整方法及び荷電粒子線装置 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60218772A patent/JPS6276247A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63285854A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | 試料像の視野移動装置 |
| JP2003086645A (ja) * | 2001-09-13 | 2003-03-20 | Hitachi Ltd | 検査装置および検査システム並びに半導体デバイスの製造方法 |
| JP2008226508A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 撮像倍率調整方法及び荷電粒子線装置 |
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