JPS62790Y2

JPS62790Y2 -

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Publication number: JPS62790Y2
Application number: JP11814680U
Authority: JP
Priority date: 1980-08-22
Filing date: 1980-08-22
Publication date: 1987-01-09
Also published as: JPS5743887U

Description

【考案の詳細な説明】

本考案は工業用原材料又は工業製品などを洗浄
するための処理槽に係り、高速で自動的に給排水
を行う設備を備えた洗浄処理槽に関するものであ
る。従来、洗浄処理槽用の自動給水設備としては、
高所に設けた洗浄用水の貯蔵槽と低所に設けた洗
浄処理槽との間を接続する管路中に電磁弁を設け
て洗浄用水の流下流量を制御する装置が用いられ
たが、電磁弁は一般に流路面積が狭いので充分の
流量が得られず、従つて給水に長時間を必要とし
た。また、従来、上記洗浄処理槽内の廃水を排水す
るため、その底面に電磁弁又は空気シリンダによ
つて開閉作動される弁が設けられていたが、前記
いずれの型式の弁を用いても、それぞれ次のよう
な不具合があつた。即ち、電磁弁を用いた場合、電磁弁は一般に流
路面積が狭いので充分の流量が得られず、排水に
長時間を要する。特に洗浄処理槽の排水は槽内の
静水圧によつて行うため、排水が進行して槽内の
水深が減小すると排水速度が遅くなる。空気シリンダによつて開閉作動される弁として
は第１図又は第２図に示すような弁が実用化され
ている。第１図の弁装置は洗浄処理槽の底板１に
排水孔２を穿ち、空気シリンダ３によつて動かさ
れる平面形の弁４で前記排水孔２を覆う構造のも
ので、５は水密を保つため弁４に接着されたゴム
パツキングである。第２図の弁装置は、底板１に
上方に広がる円錐弁シート６を削成し、これに適
合する円錐弁７が空気シリンダ３に取につけられ
て動かされるようになつている。８は水密を保つ
ため円錐弁７に接着されたゴムパツキングであ
る。上記いずれの空気シリンダ作動の弁装置にお
いても、弁４又は弁７は弁シートに対して下方に
向けて押しつけられて水密を保つ構造になつてい
る。このようになつていると、弁の頂面に掛かる
水圧がこの弁を弁シートに押しつける方向に働く
ので、閉弁した状態を保ち易いという長所が有る
が、弁を上方に動かして開弁しようとするときは
水圧に抗して弁を上昇させねばならない。このた
め開弁作動が迅速に行われ難いという欠点があ
る。また、弁を開閉するためにこの弁を空気力で
上昇させたり下降させたりしなければならないの
で、空気シリンダ３は複動型のものを用いねばな
らない。このため空気シリンダの構造が複雑であ
り、これに附属する操作弁（図示せず）や配管も
複雑となる。また、これらの弁４もしくは同７に
はいずれもそれぞれゴムパツキング５もしくは同
８が接着されているが、このようにゴム等の弾性
材を用いたパツキングを接着するには特殊設備及
び特殊技術を要するので、製造コストが割高とな
る。本考案の目的は、高価な電磁弁や、ゴムパツキ
ングを接着した弁を用いないで、迅速に給、排水
を行い得る洗浄処理槽を提供するにある。本考案は上記目的を達成するため、１基の洗浄
処理槽と２基の洗浄水貯蔵槽とを１組とし、両者
の間をそれぞれサイホン管で接続すると共に、上
記サイホン管の頂部を偏平に形成して、該部にお
ける管内壁の頂面と底面との間隔を該サイホン管
の他の部分の内径よりも小さくし、かつ、前記洗
浄処理槽の底面に排水用の開口部を設けて、この
開口部にパツキンを介して、下方に向けて開いた
形の円錐弁シートを取りつけ、この弁シートに対
して円錐弁を下方から対向密接させることによ
り、水圧を利用して開弁作動が行われるようにし
たことを特徴とする。次に、本考案の一実施例として、蒸溜水による
半導体材料の洗浄処理装置を第３図乃至第８図に
ついて説明する。第３図は洗浄装置全体の正面図で、１基の洗浄
処理槽９に対して２基の洗浄水貯蔵槽１０，１
０′が設けられている。第４図は側面図である。
洗浄水貯蔵槽１０，１０′それぞれの底面に急速
給水用サイホン管１１，１１′の一端が連通固着
され、他端は接ぎ配管１２，１２′によつて洗浄
処理槽９の頂部に接続されている。前記サイホン
管１１，１１′の詳細については第６図について
後述する。洗浄水貯蔵槽１０と同１０′とは同様の構成で
あるから、共通事項については第４図に表わされ
ている洗浄水貯蔵槽１０について説明する。この
洗浄水貯蔵槽内へ給水管１３から洗浄液である蒸
溜水が注入されるようになつており、槽内の水面
を検知するため水面検出管１４が連通固着されて
いる。１５は水面検出管１４内に挿入されている
フロート、１６はこのフロートの位置を電気的に
検出する水面検出器である。第４図に示されるごとく、洗浄処理槽９内には
被洗浄物１７を乗せる多孔板１８が仕切板１９に
よつて水平に支えられている。接ぎ配管１２を通
つて流下した洗浄水は、そのまま矢印Ａの如く洗
浄処理槽９内に流入させることもでき、又はシヤ
ワー管２０に導かれて被洗浄物１７の上に注ぐこ
ともでき、適宜に切り替え操作できるようになつ
ている。また洗浄処理槽９の底部にはバブリング
管２１が設けられていて、空気を吹き込んで撹拌
し得るようになつている。２２は脚である。洗浄処理槽９の底面には弁装置２３が設けられ
ている。その詳細を第５図について説明する。洗浄処理槽９の底板１に開口部２４が穿たれて
いる。そしてこの部の下面にパツキング２５を介
して弁シート板２６がボルトで取りつけられてい
る。この弁シート板２６には下開き方向の円錐弁
シート２６ａが形成されている。前記のパツキン
グ２５は弾性材料で作られた比較的厚手のものを
用い、若干の弾性変形の余裕を残してボルトで締
めつけられている。底板１の下方に、シリンダ取付板２７が支柱２
８を介して取りつけられている。このシリンダ取
付板２７は空気シリンダ２９のシリンダヘツド
と、空気シリンダ２９の取付ブラケツトとを兼ね
た部材である。このシリンダ取付板２７にピスト
ンロツドを兼ねた弁棒３０が挿通され、この弁棒
３０にピストン３１が固着されている。そして前
記シリンダ取付板２７に蓋状のシリンダ３２が取
りつけられて空気シリンダ２９が形成されてい
る。前記弁棒３０に固着された円錐弁３３が前記弁
シート板２６に形成された円錐弁シート２６ａに
対向、密接するようになつている。前述のサイホン管１１の詳細を第６図、第７図
及び第８図について説明する。第６図は従来一般
に用いられているサイホン管の頂部付近を示し、
１本の管をＵ字形に曲げたもので、各部等径であ
る。第７図は本実施例に用いられたサイホン管１
１の正面図、第８図は同じく側面図で、頂部が偏
平に加工されている。線Ａ−Ｂは、頂部における
管の内壁の底面のレベルを示しており、管内水面
がこのＡ−Ｂレベル以下であれば、このサイホン
管１１がサイホン作動をしない限界の水位を意味
している。H₂はサイホン管の頂部における管内
壁の底面から頂面までの高さを示している。サイホン管１１の頂部が偏平に加工されている
ので、第６図に示すものに比して、管内面の断面
積を変えないで、同部の高さ寸法H₁よりも前記
の高さ寸法H₂が小さくなつている。次に第３図について給水作動の説明をする。２
基の洗浄水貯蔵槽１０，１０′は交互に使用する
ように設けられているものであつて、常にいずれ
か一方の洗浄水貯蔵槽はＡ−Ｂレベル、即ちサイ
ホン管１１の頂部における管内壁下面のレベルま
で洗浄水を入れておく。洗浄処理槽９に給水するには、洗浄水貯蔵槽１
０又は１０′いずれか一方の、既にＡ−Ｂレベル
まで洗浄水が溜まつている貯蔵槽に洗浄水を注加
する。水面がH₂だけ上昇して、サイホン管１１
の頂部の、内壁面の最高レベルに達すると、サイ
ホン作用によつて槽内の洗浄水はサイホン管１１
および接ぎ配管１２を通つて洗浄処理槽９内に流
下する。流下し始めると洗浄水貯蔵槽１０内の洗
浄水は全量洗浄処理槽９内に流入する。この流入
管路は、その途中に弁類が介装されていないので
流動抵抗が少なく、速やかに全量の流下が進行す
る。本実施例においては、前記サイホン管１１の
最頂部は既述の如く偏平に形成され、頂部におけ
る内壁の上下面間距離がH₂となつているので、
上述の注入操作において洗浄水貯蔵槽１０内水位
がH₂だけ上昇すると流下が開始される。このH₂
寸法が従来形のサイホンにおけるH₁寸法よりも
小さいので、従来形に比して流下開始までの所要
時間が短かい。洗浄水が洗浄処理槽９内に流下すると、同槽内
で洗浄処理を行う。この間空気シリンダ２９内に
圧縮空気を供給させておく。圧縮空気によつてピストン３１が上向きの空気
圧力を受けると、これに取りつけられた円錐弁３
３が円錐弁シート２６ａに押しつけられる。ゴム等弾性物体のパツキングを介しないで、固
体の弁を固体の弁シートに密着させることによつ
て水密を保つことは、周知のごとく技術的に容易
でない。それは、弁および弁シートが正確に作ら
れていても両者の心と平行とを合わせることが困
難だからである。この為従来は弁とシートとの当
たり面にゴム等を接着していたのであるが、本考
案に於ては円錐弁３３にも弁シート２６ａにもゴ
ム等を接着せず、その代りに、弁シート板２６
を、弾性材料製のパツキング２５を介して底板１
に対して弾性的に取付けている。上記パツキング
２５が弾性を有しているので、円錐弁３３と弁シ
ート板２６ａに形成された弁シート２６ａとの間
の微小の心狂いや平行度狂いは、このパツキング
２５によつて吸収され、円錐弁と弁シートとが実
用上充分な程度に密接する。排水する際、空気シリンダ２９に供給していた
圧縮空気を遮断して、シリンダ内を大気圧にする
と、円錐弁３３は主として水圧によつて押し下げ
られて開弁する。従来の弁装置（第１図、第２
図）においては、開弁作動が水圧に抗して行われ
る構造であるため、開弁スピードを上げ難かつ
た。しかし、円錐弁３３は上方に向けて弁シート
に押しつけられて水密を保つようになつているた
め、この円錐弁に掛かる水圧、並びに該円錐弁、
弁棒３０、及びピストン３１の自重が開弁力とし
て働き、このため開弁作動が迅速に行われる。その上、上述のように水圧が開弁力として働く
ので空気シリンダ２９は複動型にする必要が無
く、単動型で充分な機能を発揮し得る。このため
空気圧関係機器が簡略化され、製造コストが安
い。また前記空気シリンダ２９が支柱２８を介して
底板１に取りつけられているため、排水の流路面
積を充分に取り易く、かつ空気シリンダ２９の取
り外し取りつけが容易で整備性が良い。以上のように、給水、排水が迅速に行われるの
で、洗浄処理槽の実動効率が良く、しかも１基の
洗浄処理槽に対して２基の洗浄水貯蔵槽を設けて
交互に使用するようにし、給水を終つた洗浄水貯
蔵槽には洗浄水を注入して次回給水の準備をとと
のえておくように運転管理することにより、洗浄

【表】本考案によれば、簡単な構成で迅速に給水、排
水を行なうことができるので、洗浄処理槽のアイ
ドルタイムが減小し、その能率を顕著に向上させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来一般に用いられてい
る排水弁の断面図、第３図は本考案の一実施例の
正面図、第４図は同じく一部を断面した側面図、
第５図は本考案の一実施例の排水弁部分の断面図
第６図は従来用いられていたサイホン管の頂部付
近の外観正面図、第７図は本考案の一実施例のサ
イホン管の頂部付近の外観正面図、第８図は同じ
く側面図である。１……洗浄処理槽の底板、９……洗浄処理槽、
１０，１０′……洗浄水貯蔵槽、１１，１１′……
サイホン管、１７……被洗浄物、１８……多孔
板、２０……シヤワー管、２１……バブリング
管、２３……弁装置、２４……開口部、２５……
パツキング、２６……弁シート板、２６ａ……円
錐弁シート、２７……シリンダ取付板、２８……
支柱、２９……空気シリンダ、３０……弁棒、３
１……ピストン、３２……蓋状のシリンダ、３３
……円錐弁。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

基の洗浄処理槽と２基の洗浄水貯蔵槽との間を
それぞれサイホン管を介して連通するとともに、
上記サイホン管の頂部を偏平に形成して、該部に
おける管内壁の頂面と底面との間隔を該サイホン
管の他の部分の内径よりも小さくし、かつ、前記
洗浄処理槽の底板に開口部を設け、この開口部に
パツキングを介して下方に向けて開いた形の円錐
弁のシートを取りつけ、この円錐弁のシートに適
合する円錐弁を有する空気シリンダ装置を前記洗
浄処理槽の底面に対し支柱を介して取りつけたこ
とを特徴とする自動急速給水排水装置を備えた洗
浄処理槽。