JPS6281080A - イオンレ−ザ用ガス放電管とその製法 - Google Patents
イオンレ−ザ用ガス放電管とその製法Info
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- JPS6281080A JPS6281080A JP61227933A JP22793386A JPS6281080A JP S6281080 A JPS6281080 A JP S6281080A JP 61227933 A JP61227933 A JP 61227933A JP 22793386 A JP22793386 A JP 22793386A JP S6281080 A JPS6281080 A JP S6281080A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、セラミック管を取囲む熱伝達部材と、この熱
伝達部材に熱伝導的に結合された熱排出装置と、少なく
とも１つのレーザガス用還流路とを備え、放電路が前記
セラミック管内に形成されるイオンレーザ用ガス放電管
とその製造方法に関する。
伝達部材に熱伝導的に結合された熱排出装置と、少なく
とも１つのレーザガス用還流路とを備え、放電路が前記
セラミック管内に形成されるイオンレーザ用ガス放電管
とその製造方法に関する。
この種のガス放電管は米国特許第３７５３１４４号明細
書によって公知である。この米国特許においては、セラ
ミック管は旋体内に浸漬されてお番ハこの旋体は熱伝達
部材として使用されて熱を熱排出装置へ伝達する。この
熱排出装置は円筒体の形状を有し、冷却板によってＩｔ
ｌｌ！囲まれている。
書によって公知である。この米国特許においては、セラ
ミック管は旋体内に浸漬されてお番ハこの旋体は熱伝達
部材として使用されて熱を熱排出装置へ伝達する。この
熱排出装置は円筒体の形状を有し、冷却板によってＩｔ
ｌｌ！囲まれている。
このような実施形態は圧力容器の使用を余儀なくしてい
る。というのは、熱伝達のためには旋体が蒸発して壁に
沈暑しなければならず、旋体が過負荷の場合には多量に
蒸発して、セラミック管が少なくとも一部分旋体上に位
置して露出するようになり、この廁出部分が旋体によっ
てぬらされている部分（液浸部分）よりも強く暖められ
、その結果セラミック管が曲がったり破壊したりするお
それがあるからである。
る。というのは、熱伝達のためには旋体が蒸発して壁に
沈暑しなければならず、旋体が過負荷の場合には多量に
蒸発して、セラミック管が少なくとも一部分旋体上に位
置して露出するようになり、この廁出部分が旋体によっ
てぬらされている部分（液浸部分）よりも強く暖められ
、その結果セラミック管が曲がったり破壊したりするお
それがあるからである。
本発明は、このような点Ｉ：＠みて数百１ワツトのアル
ゴン・イオンレーザ用にＡするガス放電管を簡単かつ信
頼できるように構成することを目的とする。
ゴン・イオンレーザ用にＡするガス放電管を簡単かつ信
頼できるように構成することを目的とする。
この目的を達成するために、Ｘ発明は、熱伝達部材が延
性のある熱良導性材料から成るら旋体であり、このら旋
体がセラミック管熱排出装置の孔の円筒壁とに機械的に
強固にかつ熱良導的に結合され、ら旋体の個々のターン
間には固形物質が充填されない中間室が形成され、熱排
出装置が少なくとも１つのガスｍｆｉ孔を有Ｔることを
特徴とする特 〔作用〕 延性のある熱良導性材料から成るら飾体は、−万ではセ
ラミック管と熱排出装置との間の良好な熱伝達を保証し
、他方では変形可能であるので、セラミック管と熱排出
装置との間に温度変化の際の昇なった熱膨張Ｃ二よって
生ぜしめられるずれを補償する。
性のある熱良導性材料から成るら旋体であり、このら旋
体がセラミック管熱排出装置の孔の円筒壁とに機械的に
強固にかつ熱良導的に結合され、ら旋体の個々のターン
間には固形物質が充填されない中間室が形成され、熱排
出装置が少なくとも１つのガスｍｆｉ孔を有Ｔることを
特徴とする特 〔作用〕 延性のある熱良導性材料から成るら飾体は、−万ではセ
ラミック管と熱排出装置との間の良好な熱伝達を保証し
、他方では変形可能であるので、セラミック管と熱排出
装置との間に温度変化の際の昇なった熱膨張Ｃ二よって
生ぜしめられるずれを補償する。
それゆえ、熱排出装置としては必要な孔を有する銅棒な
使用することができる。空気冷却方式を採用するために
は、この銅棒には銅製冷却板がろう付けまたは溶接され
ることは有利である。この熱排出装置内には好適にはセ
ラミック管が挿入され、このセラミック管の内径は放電
路の直径に一致し、そしてそのセラミック管は朝立の際
の取扱いに対しては充分である強度を保証する肉厚を有
する。つまり、セラミック管が熱排出装置の孔内に組み
込まれると、このセラミック管は半径方向においてこの
熱排出装置内二よって直ちに保持され、従って曲げ応力
等に対する強度を有することを必要としない。
使用することができる。空気冷却方式を採用するために
は、この銅棒には銅製冷却板がろう付けまたは溶接され
ることは有利である。この熱排出装置内には好適にはセ
ラミック管が挿入され、このセラミック管の内径は放電
路の直径に一致し、そしてそのセラミック管は朝立の際
の取扱いに対しては充分である強度を保証する肉厚を有
する。つまり、セラミック管が熱排出装置の孔内に組み
込まれると、このセラミック管は半径方向においてこの
熱排出装置内二よって直ちに保持され、従って曲げ応力
等に対する強度を有することを必要としない。
セラミック管を非常に薄い肉厚で製作することができる
ので、比較的安価なＡｔ、０．セラミックスを使用する
ことは有利である。但し、人ｌ、０１セラミックスは上
記米国特許第３７５３３４４号明細書において述べられ
ているＢｅＯに比べて熱伝導率が非常に小さい。
ので、比較的安価なＡｔ、０．セラミックスを使用する
ことは有利である。但し、人ｌ、０１セラミックスは上
記米国特許第３７５３３４４号明細書において述べられ
ているＢｅＯに比べて熱伝導率が非常に小さい。
一つの有利な実施態様；二よれば、セラミック管は約１
ｍｍの内径と約３鰭の外径とを有し、その場合セラミッ
ク管は銅線によって包囲され、この銅線は約０．７５Ｍ
の直径を頁して、通常の硬ろう、たとえばニッケル含有
銀ろうの層によって被覆され、シかもセラミック管はら
飾体と熱排出装置とに他のろう添Ｗ材を用いることなく
ろう付けされる。このようなろう付けの様式によって、
ら飾体の個々のターン間（：形成された中間室はろうで
充填されることがなく、セラミック管の軸方向への可動
性が維持され続けられる。
ｍｍの内径と約３鰭の外径とを有し、その場合セラミッ
ク管は銅線によって包囲され、この銅線は約０．７５Ｍ
の直径を頁して、通常の硬ろう、たとえばニッケル含有
銀ろうの層によって被覆され、シかもセラミック管はら
飾体と熱排出装置とに他のろう添Ｗ材を用いることなく
ろう付けされる。このようなろう付けの様式によって、
ら飾体の個々のターン間（：形成された中間室はろうで
充填されることがなく、セラミック管の軸方向への可動
性が維持され続けられる。
精密度と熱伝達の質とに関する要求が高い場合には、ら
飾体がセラミック管上に必要な外径をめざした切削加工
によって作り出され、その後ろうによって被覆され、熱
排出装置の孔内へろう付けされることは有利である。
飾体がセラミック管上に必要な外径をめざした切削加工
によって作り出され、その後ろうによって被覆され、熱
排出装置の孔内へろう付けされることは有利である。
ら飾体として使用されるワイヤの直径が０．７５−の場
合、ろう付けされた状態にら飾体の個々のターン組の中
間室を保証するためには、ら飾体のターンのピッチは約
１ｗで充分である。
合、ろう付けされた状態にら飾体の個々のターン組の中
間室を保証するためには、ら飾体のターンのピッチは約
１ｗで充分である。
堅牢な熱排出装置の強度が高くかつ形状変化が非常に僅
かであるので、放電管にはレーザの電極と共４器ミラー
を固定することは有利である。
かであるので、放電管にはレーザの電極と共４器ミラー
を固定することは有利である。
本発明に基づく放電管の有利な製造方法によれば、ら飾
体は、先ずセラミック管上にろう付けされ、次に外径を
修正するために切削されるかまたは研磨されて、必要に
応じてニッケルを含有する約２０μ亀の厚さの銀ろう層
が設けられ、最後に熱排出装置の孔内へ挿入され、１熱
によって他のろう添加材を用いることなく熱排出装置に
ろう付けされる。
体は、先ずセラミック管上にろう付けされ、次に外径を
修正するために切削されるかまたは研磨されて、必要に
応じてニッケルを含有する約２０μ亀の厚さの銀ろう層
が設けられ、最後に熱排出装置の孔内へ挿入され、１熱
によって他のろう添加材を用いることなく熱排出装置に
ろう付けされる。
熱排出に関する要求があまり高くない場合、本発明に基
づく放電管を製造するために、セラミック管はろう付け
可能に作ら几で、ら飾体と一緒Ｃ二熱排出装置内へ導入
され、１つの作業工Ｐｉ！においてセラミック管とら飾
体と熱排出装置との三部材が相互Ｃ：ろう付けされる。
づく放電管を製造するために、セラミック管はろう付け
可能に作ら几で、ら飾体と一緒Ｃ二熱排出装置内へ導入
され、１つの作業工Ｐｉ！においてセラミック管とら飾
体と熱排出装置との三部材が相互Ｃ：ろう付けされる。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明は図面に示された実施例シー限定されない。
第１図は電極とミラーとを備えた本発明による放電管の
一実施例の断面図、第２図は第１図に示した実施例の部
分的断面図である。
一実施例の断面図、第２図は第１図に示した実施例の部
分的断面図である。
！１８１図および第２図Ｃ：おいて、レーザの放電路１
はセラミック管２内に形成されている。このセラミック
管２は熱排出装置７の孔１０内に挿入され、少なくとも
孔五〇の領域ではら飾体３．４が巻回されている。ら飾
体３，４はセラミック管２と孔１０の円筒Ｎ９とにろう
付けされている。ら旋律３．４の個々のターン間にはら
旋形状の中度室６が形成されており、この中間室には固
形材料が充填されていない。ら脚体ターンのピッチを１
曙とした場合、ら旋律３．４の断面の直径つまり最大寸
法は０．７５１１１１１ニすると有利である。このよう
な設定Ｃ二より、延性材料特に銅または鍋合金で有利に
構成されるら旋律は、組立作業時および運転時に温度変
動のために生じる長さ変化を吸収する変形が可能鑑；な
る。
はセラミック管２内に形成されている。このセラミック
管２は熱排出装置７の孔１０内に挿入され、少なくとも
孔五〇の領域ではら飾体３．４が巻回されている。ら飾
体３，４はセラミック管２と孔１０の円筒Ｎ９とにろう
付けされている。ら旋律３．４の個々のターン間にはら
旋形状の中度室６が形成されており、この中間室には固
形材料が充填されていない。ら脚体ターンのピッチを１
曙とした場合、ら旋律３．４の断面の直径つまり最大寸
法は０．７５１１１１１ニすると有利である。このよう
な設定Ｃ二より、延性材料特に銅または鍋合金で有利に
構成されるら旋律は、組立作業時および運転時に温度変
動のために生じる長さ変化を吸収する変形が可能鑑；な
る。
多くの場合、必要な熱接触はセラミック管２および円形
断面を有するら旋律３によって得られる製造精度で充分
である。しかしながら特に高い要求の場合には、ら旋律
が孔１０内へ挿入さする前に必要な直径をめざした切削
加工によって作られてろう層５を設けられて成るら旋律
４の実施形態？使用することは有利である。
断面を有するら旋律３によって得られる製造精度で充分
である。しかしながら特に高い要求の場合には、ら旋律
が孔１０内へ挿入さする前に必要な直径をめざした切削
加工によって作られてろう層５を設けられて成るら旋律
４の実施形態？使用することは有利である。
２０μ鶴の厚さのろう層５によって、セラミック管２お
よび円ｍ壁９とら旋律３，４との確実な結合がなされる
。ろう層のこの厚さの場合には。
よび円ｍ壁９とら旋律３，４との確実な結合がなされる
。ろう層のこの厚さの場合には。
同様に中間室６の領域にはろう層による中間室６の閉基
または橋絡は生じない。ろうとしては、ニッケルを含む
ことができる銀ろう、特に共融ろうが適する。
または橋絡は生じない。ろうとしては、ニッケルを含む
ことができる銀ろう、特に共融ろうが適する。
熱排出装置７は冷却板２５に一体的に結合されている。
冷却板２５は第１図の例では１つのブロック（ニスリッ
ト２６を切断形成もしくは切削形成することにより製作
されている。このような実施形態は特に放電管の寸法が
小さい場合、たとえば冷却板の外径が３０ｗ程度の小さ
い場合に適する。
ト２６を切断形成もしくは切削形成することにより製作
されている。このような実施形態は特に放電管の寸法が
小さい場合、たとえば冷却板の外径が３０ｗ程度の小さ
い場合に適する。
固定フランジ２４．２４は、−万では冷却空気を供給す
る図示されていない空気通路内に７ｉ！亀管の位置を固
定するために使用され、かつ他方では電極およびミラー
を固定するために使用される。
る図示されていない空気通路内に７ｉ！亀管の位置を固
定するために使用され、かつ他方では電極およびミラー
を固定するために使用される。
陽極１９はセラミック管２２を介して接続フランジ２４
に機械的に強固にかつ気密に結合され、充分な冷却を可
能にするため口半径方向へセラミック管２２よりも突出
している。陽極１９は放電路ｌに対して同軸となるよう
に形成された孔２７を吾しており、この孔２７によって
ミラー１）へのレーザ光線の通過が可能になる。ミラー
１７は陽極１９に機械的に強固に結合されている。ミラ
ー１７は公知の方法にてレーデ光線側に平面を有しかつ
レーデ光線と反対側Ｃ二湾曲鏡面３Ｇを有し、従ってフ
ォー力ツシング機能を持っている。
に機械的に強固にかつ気密に結合され、充分な冷却を可
能にするため口半径方向へセラミック管２２よりも突出
している。陽極１９は放電路ｌに対して同軸となるよう
に形成された孔２７を吾しており、この孔２７によって
ミラー１）へのレーザ光線の通過が可能になる。ミラー
１７は陽極１９に機械的に強固に結合されている。ミラ
ー１７は公知の方法にてレーデ光線側に平面を有しかつ
レーデ光線と反対側Ｃ二湾曲鏡面３Ｇを有し、従ってフ
ォー力ツシング機能を持っている。
陰極としては放電路ｌと同軸に配設されたタングステン
スパイラル２０が使用されており、レーデ光線はこのタ
ングステンスパイラル２０を貫通することができる。レ
ーザ光線は同様に放電路１１対して同軸に配設された閉
鎖板２９の孔２８乞貫通してミラー１Ｂを透過する。ミ
ラー１８はミラー１７と同じようＣニレーザ光線側に平
面な頁しかつレーデ光線と反対側Ｃ二凸面状鏡面３０ま
たは部分的鏡面を有している。
スパイラル２０が使用されており、レーデ光線はこのタ
ングステンスパイラル２０を貫通することができる。レ
ーザ光線は同様に放電路１１対して同軸に配設された閉
鎖板２９の孔２８乞貫通してミラー１Ｂを透過する。ミ
ラー１８はミラー１７と同じようＣニレーザ光線側に平
面な頁しかつレーデ光線と反対側Ｃ二凸面状鏡面３０ま
たは部分的鏡面を有している。
閉鎖板２９はセラミック管２２′に介して熱排出装置ｉ
７の接続フランジ２４暑＝ろう付けされている。
７の接続フランジ２４暑＝ろう付けされている。
金属とセラミックスとのすべてのろう付けは。
当該金属部材１９，２４．２９のセラミック管２２に結
合されない側の面上にセラミックス製リング２３が取付
けられ、同時にセラミック管２２にろう付けされること
によって、公知の方法で特に安定して実施される。この
ようにして、熱応力のためにろう接合個所が破壊される
のが阻止される。
合されない側の面上にセラミックス製リング２３が取付
けられ、同時にセラミック管２２にろう付けされること
によって、公知の方法で特に安定して実施される。この
ようにして、熱応力のためにろう接合個所が破壊される
のが阻止される。
タングステンスパイラル２０は遮蔽管２１によって包囲
されており、スパイラル２０から飛散した金属がセラミ
ック管２２に付着するのがこの遮蔽管２目＝より阻止さ
れる。
されており、スパイラル２０から飛散した金属がセラミ
ック管２２に付着するのがこの遮蔽管２目＝より阻止さ
れる。
第３図および第４図はそれぞれ本発明の他の実施例を示
す。第３図の実施例は銅棒１１と冷却板１２とで構成さ
ｎた熱排出装Ｒ７を示し、−万第４図の実施例は銅棒１
１と冷却板１３とで構成された熱排出装置を示している
。これらの実施例は特に放電管の寸法が大きい場合１：
適する。冷却空気の流速ζ二応じて、小さな直径を有し
かつ狭い相互間隔を持つ冷却板１２（３図）を使用する
か、または大きな直径を有しかつ広い相互間隔を持つ冷
却板１３（￥ＩＪ４図）を使用することができる。
す。第３図の実施例は銅棒１１と冷却板１２とで構成さ
ｎた熱排出装Ｒ７を示し、−万第４図の実施例は銅棒１
１と冷却板１３とで構成された熱排出装置を示している
。これらの実施例は特に放電管の寸法が大きい場合１：
適する。冷却空気の流速ζ二応じて、小さな直径を有し
かつ狭い相互間隔を持つ冷却板１２（３図）を使用する
か、または大きな直径を有しかつ広い相互間隔を持つ冷
却板１３（￥ＩＪ４図）を使用することができる。
切欠き１５．１６は放電管とレーザの図示されていない
他の部材との機械的に強固な結合を可能にする。
他の部材との機械的に強固な結合を可能にする。
セラミック管２はＡＩ、 ０．セラミックスで構成する
と有利である。というのは、この材料は比較的安価であ
りしかもここで実現可能な非常に薄い肉厚を考慮すると
充分な熱伝導率を有するからである。熱伝導率が権めて
艮いＢ。０とは反対に、人１，０．は毒性がない。この
ことは別の非常に良い利点である。
と有利である。というのは、この材料は比較的安価であ
りしかもここで実現可能な非常に薄い肉厚を考慮すると
充分な熱伝導率を有するからである。熱伝導率が権めて
艮いＢ。０とは反対に、人１，０．は毒性がない。この
ことは別の非常に良い利点である。
管の寸法が小さくかつ機械的安定性Ｃ；関する要求があ
まり大きくない場合には、保持フランジ２４、陽極１９
および保持キャップ２９は銅で作成してもよい。機械的
要求が大きい場合には、セラミックスに整合する温度係
数を持つニッケルー鉄合金を使用すると有利である。
まり大きくない場合には、保持フランジ２４、陽極１９
および保持キャップ２９は銅で作成してもよい。機械的
要求が大きい場合には、セラミックスに整合する温度係
数を持つニッケルー鉄合金を使用すると有利である。
なお、第１図において、８は熱排出装置７に形成された
レーザガス用のガス還流孔である。
レーザガス用のガス還流孔である。
以上に説明したように、本発明においては、熱伝達部材
は延性のある熱良導性材料から成るら脚体で構成し、こ
のら脚体がセラミック管と熱排出装置の孔の円筒壁とに
機械的に強固にかつ熱良導的に結合され、ら脚体の個々
のターン間には固形物質が充填されない中間室が形成さ
れ、熱排出装置は少なくとも１つのガス還流孔ｙＬ−頁
する。
は延性のある熱良導性材料から成るら脚体で構成し、こ
のら脚体がセラミック管と熱排出装置の孔の円筒壁とに
機械的に強固にかつ熱良導的に結合され、ら脚体の個々
のターン間には固形物質が充填されない中間室が形成さ
れ、熱排出装置は少なくとも１つのガス還流孔ｙＬ−頁
する。
従って、このような本発明によ肚ば、セラミック管が旋
体内に浸漬されている従来技術に比較して、ガス放電管
を簡単かつ信頼できるように構成することができる。
体内に浸漬されている従来技術に比較して、ガス放電管
を簡単かつ信頼できるように構成することができる。
゛第１図はＸＱ明の一実施例の断面図、第２図は第１図
１＝おける丸印田部分の拡大断面図、第３図は本発明の
他の実施例の要部断面図、第４図は本発明のさらに異な
る実施例の要部断面図である。 １・・・１！１ＩＩＬ路、 ２・・・ セラミック管
、 ３．４・・・ ら脚体、 ６・・・中間室、
７・・・熱排出装置、 ８・・・ ガス還流孔、
９・・・円筒壁、１０・・・孔。 ＩＧ １
１＝おける丸印田部分の拡大断面図、第３図は本発明の
他の実施例の要部断面図、第４図は本発明のさらに異な
る実施例の要部断面図である。 １・・・１！１ＩＩＬ路、 ２・・・ セラミック管
、 ３．４・・・ ら脚体、 ６・・・中間室、
７・・・熱排出装置、 ８・・・ ガス還流孔、
９・・・円筒壁、１０・・・孔。 ＩＧ １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）セラミック管を取囲む熱伝達部材と、この熱伝達部
材に熱伝導的に結合された熱排出装置と、少なくとも１
つのレーザガス用還流路とを備え、放電路が前記セラミ
ック管内に形成されるイオンレーザ用ガス放電路におい
て、熱伝達部材は延性のある熱良導性材料から成るら旋
体（３、４）であり、このら旋体はセラミック管（２）
と熱排出装置（７）の孔（１０）の円筒壁（９）とに機
械的に強固にかつ熱良導的に結合され、前記ら旋体（３
、４）の個々のターン間には固形物質が充填されない中
間室（６）が形成され、前記熱排出装置（７）は少なく
とも１つのガス還流孔（８）を有することを特徴とする
イオンレーザ用ガス放電管。 ２）熱排出装置（７）は必要な孔を有する銅棒（１１）
とこの銅棒にろう付けされた銅製冷却板（１２、１３）
とから構成され、セラミック管（２）は放電路（１）の
直径に整合する内径を有し、かつ組立の際の取扱いに対
する必要な機械的強度を保証する薄い肉厚を有すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス放電管。 ３）セラミック管（２）はＡｌ＿２Ｏ＿３セラミックス
から成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項または
第２項記載のガス放電管。 ４）セラミック管（２）は約１ｍｍの内径と約３ｍｍの
外径とを有し、ら旋体（３、４）は必要に応じてニッケ
ルを含む銀ろうから成る層によつて包囲されている約０
．７５ｍｍの直径の銅線で形成され、前記セラミック管
は前記ら旋体と熱排出装置（７）とに他のろう添加材を
用いることなくろう付けされることを特徴とする特許請
求の範囲第１項ないし第３項のいずれかの項記載のガス
放電管。 ５）ら旋体（３、４）はセラミック管（２）上に必要な
外径に切削され、その後ろうによって被覆され、熱排出
装置（７）の孔（１０）内へろう付けされることを特徴
とする特許請求の範囲第４項記載のガス放電管。 ６）ら旋体（３、４）のターンのピッチは約１ｍｍの大
きさであることを特徴とする特許請求の範囲第４項また
は第５項記載のガス放電管。 ７）放電管にはレーザの電極と共鳴器ミラーとが固定さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第６
項のいずれかの項記載のガス放電管。 ８）セラミック管を取囲む熱伝達部材と、この熱伝達部
材に熱伝導的に結合された熱排出装置と、少なくとも１
つのレーザガス用還流路とを備え、放電路が前記セラミ
ック管内に形成されるイオンレーザ用ガス放電管を製造
するため、延性のある熱良導性材料から成るら旋体が先
ず前記セラミック管上にろう付けされ、次に外径を修正
するために切削されるかまたは研磨されて、約２０μｍ
の厚さの銀ろう層が設けられ、最後に前記熱排出装置の
孔内へ挿入され、加熱によつて他のろう添加材を用いる
ことなく前記熱排出装置にろう付けされることを特徴と
するイオンレーザ用ガス放電管の製造方法。 ９）セラミック管を取囲む熱伝達部材と、この熱伝達部
材に熱伝導的に結合された熱排出装置と、少なくとも１
つのレーザガス用還流路とを備え、放電路が前記セラミ
ック管内に形成されるイオンレーザ用ガス放電管を製造
するため、セラミック管はろう付け可能に作られ、熱伝
達部材は延性のある熱良導性材料から成るら旋体であり
、セラミック管とら旋体と熱排出装置とは１つの作業工
程において相互にろう付けされることを特徴とするイオ
ンレーザ用ガス放電管の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3534925 | 1985-09-30 | ||
| DE3534925.5 | 1985-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281080A true JPS6281080A (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=6282421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61227933A Pending JPS6281080A (ja) | 1985-09-30 | 1986-09-26 | イオンレ−ザ用ガス放電管とその製法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4756001A (ja) |
| EP (1) | EP0217084A1 (ja) |
| JP (1) | JPS6281080A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0515460U (ja) * | 1991-08-07 | 1993-02-26 | 日本電気株式会社 | ガスレーザ管 |
| JPH05206543A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Nec Corp | イオンレーザ管 |
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-
1986
- 1986-08-12 EP EP86111167A patent/EP0217084A1/de not_active Withdrawn
- 1986-08-20 US US06/898,120 patent/US4756001A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-09-26 JP JP61227933A patent/JPS6281080A/ja active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0217084A1 (de) | 1987-04-08 |
| US4756001A (en) | 1988-07-05 |
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