JPS6282732U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6282732U JPS6282732U JP1985174471U JP17447185U JPS6282732U JP S6282732 U JPS6282732 U JP S6282732U JP 1985174471 U JP1985174471 U JP 1985174471U JP 17447185 U JP17447185 U JP 17447185U JP S6282732 U JPS6282732 U JP S6282732U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrode body
- sub
- main electrode
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の放電反応装置の要部
の断面図。第２図、第３図は従来の同様の図。第
４図は本考案の別の実施例の結合コンデンサ部の
断面図。 １……真空容器、２……電極、３……回転、軸
方向移動の軸、１０……主電極体、６……その端
部、７……副電極端、４，５……シールド部材。
の断面図。第２図、第３図は従来の同様の図。第
４図は本考案の別の実施例の結合コンデンサ部の
断面図。 １……真空容器、２……電極、３……回転、軸
方向移動の軸、１０……主電極体、６……その端
部、７……副電極端、４，５……シールド部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空室の内部で移動する電極をその一部に
含む主電極体と、該主電極体の端部に近接して固
定された副電極端とをそなえて両者の間隙により
結合コンデンサを形成せしめ、該結合コンデンサ
を通じて該移動する電極に高周波電力を供給する
放電反応装置において、前記間隙内に誘電体を挿
入したことを特徴とする放電反応装置。 (2) 前記主電極体の端部と副電極端の対向面が
同軸円筒状である実用新案登録請求の範囲第１項
記載の放電反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985174471U JPS6282732U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985174471U JPS6282732U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282732U true JPS6282732U (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=31112880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985174471U Pending JPS6282732U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282732U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59101836A (ja) * | 1982-12-03 | 1984-06-12 | Hitachi Ltd | 容量結合器 |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP1985174471U patent/JPS6282732U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59101836A (ja) * | 1982-12-03 | 1984-06-12 | Hitachi Ltd | 容量結合器 |