JPS6284048U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6284048U JPS6284048U JP17519385U JP17519385U JPS6284048U JP S6284048 U JPS6284048 U JP S6284048U JP 17519385 U JP17519385 U JP 17519385U JP 17519385 U JP17519385 U JP 17519385U JP S6284048 U JPS6284048 U JP S6284048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry plate
- glass dry
- opening
- contact exposure
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案にかかる密着露光用治具を
使用した密着露光工程の斜視図、第２図は、従来
の密着露光工程の斜視図、第３図ａ，ｂ，ｃは、
密着露光用治具の平面図、正面図、側面図、第４
図ａ，ｂは、本考案の密着露光用治具を使用した
ときの密着前後状態を示す斜視図である。 １……密着露光用治具、２……平板枠、３……
透明なシート、４……管、５……マスクホルダー
、６……コピーホルダー、７，１２……感材 ガ
ラス乾板、８，１３…ガラス乾板フオトマスク、
９……位置決め用ブロツク、１０……真空ポンプ
、１１……水銀灯。
使用した密着露光工程の斜視図、第２図は、従来
の密着露光工程の斜視図、第３図ａ，ｂ，ｃは、
密着露光用治具の平面図、正面図、側面図、第４
図ａ，ｂは、本考案の密着露光用治具を使用した
ときの密着前後状態を示す斜視図である。 １……密着露光用治具、２……平板枠、３……
透明なシート、４……管、５……マスクホルダー
、６……コピーホルダー、７，１２……感材 ガ
ラス乾板、８，１３…ガラス乾板フオトマスク、
９……位置決め用ブロツク、１０……真空ポンプ
、１１……水銀灯。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ガラス乾板フオトマスクを用い、感材のガ
ラス乾板に転写する工程において、転写工程に使
用するガラス乾板フオトマスクを保持するための
マスクホルダーと感材のガラス乾板を保持するた
めのコピーホルダーとの間に、開口を有した平板
枠を装着し密着露光することを特徴とする密着露
光用治具。 (2) 前記、開口を有した平板枠の開口部に透明
なシートを装着し、開口部内を真空にする装置を
設け、シートの張力によりガラス乾板フオトマス
クと感材のガラス乾板を密着し転写工程を行うこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載の密着露光用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17519385U JPS6284048U (ja) | 1985-11-14 | 1985-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17519385U JPS6284048U (ja) | 1985-11-14 | 1985-11-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284048U true JPS6284048U (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=31114288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17519385U Pending JPS6284048U (ja) | 1985-11-14 | 1985-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284048U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56151939A (en) * | 1980-04-28 | 1981-11-25 | Toray Ind Inc | Method and apparatus for vacuum contacting photomask |
-
1985
- 1985-11-14 JP JP17519385U patent/JPS6284048U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56151939A (en) * | 1980-04-28 | 1981-11-25 | Toray Ind Inc | Method and apparatus for vacuum contacting photomask |
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