JPS6284944A - Ｘ−ｙステ−ジ - Google Patents
Ｘ−ｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6284944A JPS6284944A JP22294585A JP22294585A JPS6284944A JP S6284944 A JPS6284944 A JP S6284944A JP 22294585 A JP22294585 A JP 22294585A JP 22294585 A JP22294585 A JP 22294585A JP S6284944 A JPS6284944 A JP S6284944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- face
- sliding contact
- sliding
- contact face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＸ−Ｙステージに関する。
従来、この種のＸ−Ｙステージには、下定盤の上面と上
定盤の下面との間にポール、ローラ、ニードル等を介装
し上定盤を下定盤に摺動可能に支持した構造のものや、
上下の定盤の摺接面を樹脂及び焼き入れ等の表面処理に
よる鋼で成形し、下定盤の上面に上定盤の下面を摺接さ
せ、樹脂と鋼とのすべりを利用して該上定盤を下定盤に
摺動可能に支持した構造のものがある。
定盤の下面との間にポール、ローラ、ニードル等を介装
し上定盤を下定盤に摺動可能に支持した構造のものや、
上下の定盤の摺接面を樹脂及び焼き入れ等の表面処理に
よる鋼で成形し、下定盤の上面に上定盤の下面を摺接さ
せ、樹脂と鋼とのすべりを利用して該上定盤を下定盤に
摺動可能に支持した構造のものがある。
これらのＸ−Ｙステージでは下定盤と上定盤との摺接面
、及び定盤とボール廓との摺動面に注油を行う必要があ
る。
、及び定盤とボール廓との摺動面に注油を行う必要があ
る。
上述した従来のボールベアリング等を利用したＸ−Ｙス
テージではその摺動面への注油の回数は少なくてもよい
が、ゴミなどが摺動面とベアリングの間に挾１つたりす
ると、ガタを生じたりして、ステージの精度に影響を及
ぼすという欠点がある。
テージではその摺動面への注油の回数は少なくてもよい
が、ゴミなどが摺動面とベアリングの間に挾１つたりす
ると、ガタを生じたりして、ステージの精度に影響を及
ぼすという欠点がある。
また樹脂と鋼のスベリを利用したＸ−Ｙステージではそ
の摺動面にゴミなどが多少付着していても押し退けて行
くので、ゴミがステージの精度に影響を及ぼすことは少
ないが、注油を頻繁に行わｆ、［ければならず、また油
を面全体に行き渡すために油みぞなどに工夫を必要とす
る。
の摺動面にゴミなどが多少付着していても押し退けて行
くので、ゴミがステージの精度に影響を及ぼすことは少
ないが、注油を頻繁に行わｆ、［ければならず、また油
を面全体に行き渡すために油みぞなどに工夫を必要とす
る。
また、両方式のＸ−Ｙステージとも注油後、油を面全体
に行き渡らすためにある程度の慣らし運転が必要である
。
に行き渡らすためにある程度の慣らし運転が必要である
。
本発明は前記問題点を解消し、ゴミの影響を受けず、か
つ慣らし運転をすることなく前金面全体に行き渡すこと
ができるＸ−Ｙステージを提供するものである。
つ慣らし運転をすることなく前金面全体に行き渡すこと
ができるＸ−Ｙステージを提供するものである。
本発明は下定盤の上面に上定盤の下面を摺接させ、一方
の下定盤を下定盤上に摺動可能に支持し、該定盤の摺接
面を、潤滑油を含浸させる多孔質のファインセラミック
スにて形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージである
。
の下定盤を下定盤上に摺動可能に支持し、該定盤の摺接
面を、潤滑油を含浸させる多孔質のファインセラミック
スにて形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージである
。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図、第２図において、下定盤２の上面の一部に摺接
面２αを突設し、該摺接面２ａに沿ってＶ溝４を設ける
。下定盤２の摺接面２αに対面する上定盤３下面の摺接
面ＩＣＬを多孔質のファインセラミックスにて形成し、
上定盤３の摺接面１ｃＬを下定盤２の摺接面２αに摺接
させ、上定盤３を下定盤２上に摺動可能に支持する。ま
た上定盤３の上面に給油口５．・・・・・・を設ける。
面２αを突設し、該摺接面２ａに沿ってＶ溝４を設ける
。下定盤２の摺接面２αに対面する上定盤３下面の摺接
面ＩＣＬを多孔質のファインセラミックスにて形成し、
上定盤３の摺接面１ｃＬを下定盤２の摺接面２αに摺接
させ、上定盤３を下定盤２上に摺動可能に支持する。ま
た上定盤３の上面に給油口５．・・・・・・を設ける。
一方、上定盤３の下面にＶ字状の摺接面１ｂを多孔ｊｆ
ｔのファインセラミックスにて形成し、該摺接面３ｂを
下定盤２のＶ溝４内に嵌合する。
ｔのファインセラミックスにて形成し、該摺接面３ｂを
下定盤２のＶ溝４内に嵌合する。
実施例において、給油口５から潤滑油の供給をうけると
、多孔質ファインセラミックス１ｃＬ、１ｂは孔６にス
ポンジのように潤滑油を含み、そして孔６から油を摺動
面ににじみ出させ、注油が行われ摺接面に油膜７を形成
する。上定盤３はＶ溝４に沿って下定盤２上を移動し、
ゴミ８がある時そのゴミ８αが油膜７の厚さより小さい
時は、ステージに対して影響がない。またそのゴミ８ｂ
が大きい時は、これを押しのけて移動する。
、多孔質ファインセラミックス１ｃＬ、１ｂは孔６にス
ポンジのように潤滑油を含み、そして孔６から油を摺動
面ににじみ出させ、注油が行われ摺接面に油膜７を形成
する。上定盤３はＶ溝４に沿って下定盤２上を移動し、
ゴミ８がある時そのゴミ８αが油膜７の厚さより小さい
時は、ステージに対して影響がない。またそのゴミ８ｂ
が大きい時は、これを押しのけて移動する。
以上説明したように本発明は、Ｘ−Ｙステージの摺動面
に多孔質のファインセラミックスヲ使用し、その多孔性
を利用して摺動面に対して潤滑油を供給することにより
、摺動面全体に簡単にしかも一様に潤滑油を行きわたら
せることができる・さら゛に、ファインセラミックスの
孔に油を含むことができるので、給油の回数を低減する
ことができる。
に多孔質のファインセラミックスヲ使用し、その多孔性
を利用して摺動面に対して潤滑油を供給することにより
、摺動面全体に簡単にしかも一様に潤滑油を行きわたら
せることができる・さら゛に、ファインセラミックスの
孔に油を含むことができるので、給油の回数を低減する
ことができる。
潤滑に油溝を利用した場合、ゴミなどで溝が詰まると潤
滑に支障をきたすが、本発明の摺動面は面全体から潤滑
油かにじみ出すので、油溝を利用した場合のような不都
合が生じにくい。
滑に支障をきたすが、本発明の摺動面は面全体から潤滑
油かにじみ出すので、油溝を利用した場合のような不都
合が生じにくい。
断熱性のよいファインセラミックスを摺動面に使用して
いるので、摺動面で発生する熱の影響をステージがうけ
にくい。また第１図のようなスベリ型のステージの場合
、摺動面のゴミの影建をうけることがない。
いるので、摺動面で発生する熱の影響をステージがうけ
にくい。また第１図のようなスベリ型のステージの場合
、摺動面のゴミの影建をうけることがない。
第１図は本発明の一方向分のステージ部の外観図、第２
図は第１図の摺動面部分の断面図である。
図は第１図の摺動面部分の断面図である。
Claims (1)
- （１）下定盤の上面に上定盤の下面を摺接させ該上定盤
を下定盤上に摺動可能に支持し、一方の定盤の摺接面を
、潤滑油を含浸させる多孔質のファインセラミックスに
て形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22294585A JPS6284944A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｘ−ｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22294585A JPS6284944A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｘ−ｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284944A true JPS6284944A (ja) | 1987-04-18 |
Family
ID=16790331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22294585A Pending JPS6284944A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｘ−ｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284944A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230159A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Nikon Corp | 基板吸着装置 |
-
1985
- 1985-10-07 JP JP22294585A patent/JPS6284944A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230159A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Nikon Corp | 基板吸着装置 |
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