JPS6287445U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る一実施例の構成を示す正
面図、第２図は第１図の側面図、第３図は本実施
例装置のリンク機構の構成図、第４図は本実施例
装置の安全装置の構成図、第５図は従来装置の正
面図、第６図は第５図の側面図、第７図はウエハ
の立ち替えを示す説明図である。 １……基礎面、２……ベース台、３……立替基
板、３ａ……端部、４……ベース、５ａ，５ｂ…
…キヤリアガイド、６……キヤリア、６ａ……第
１のキヤリア、６ｂ……第２のキヤリア、７……
ウエハ、８……シリンダ、８ａ……シリンダ軸、
９……立替、１０……チヤツク受、１１……保持
軸、１２……チヤツク板、１３……第１の取付板
、１４……第２の取付板、１５……第３の取付板
、１６……丸棒、１７……第１のジグシリンダ、
１８……第２のジグシリンダ、１９……チヤツク
開閉装置、２０……ベース板、２１……ブロツク
板、２２，２３……ジグシリンダ、２２ａ，２３
ａ……シリンダ軸、２４……駆動板、２５，２６
……連接板、２７……第１のピン、２８……第２
のピン、２９……側板、３０……リンク機構、３
１……軸受、３２……ステンレス軸、３３……ジ
グシリンダ、３４……カツプリング、３５……安
全装置、３６……中心軸体、３７……ばね受け容
器、３８……移動体、３９……ばね、４０……マ
イクロスイツチ、４１……補強板、４２……ガイ
ド軸。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベース上に載置されたキヤリアから該キヤ
   リアに収容されているウエハを抜き出しながら押
   し上げる立替と； ベースの上方位置に設けられ
   たチヤツク受と； チヤツク受に装着され前記立
   替によつて押し上げられたウエハを保持するチヤ
   ツク爪と； を具備するウエハの立替装置におい
   て、ウエハの形状寸法に対応させて連続的に又は
   複数段階にチヤツク爪を広げるチヤツク開閉装置
   と； ウエハの形状寸法に対応させて立替を連続
   的に又は複数段階に上下駆動する上下駆動装置と
   ； を有することを特徴とするウエハの立替装置
   。 (2) チヤツク開閉装置は、上下シヤフトを所定
   量づつ上下動する複数のジグシリンダと； 一端
   部が上下シヤフトに連係され、他端部が対向する
   一対の各チヤツク爪に連係され、上下シヤフトの
   上下運動をチヤツク爪の開閉運動に変換するリン
   ク機構と； により構成されていることを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第(1)項記載のウエ
   ハの立替装置。 (3) 上下駆動装置は、立替に連係されたシリン
   ダ軸と； このシリンダ軸を所定量づつ上下動す
   る複数のジグシリンダと； により構成されてい
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1
   )項又は第(2)項記載のウエハの立替装置。