JPS6287781U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6287781U JPS6287781U JP17766385U JP17766385U JPS6287781U JP S6287781 U JPS6287781 U JP S6287781U JP 17766385 U JP17766385 U JP 17766385U JP 17766385 U JP17766385 U JP 17766385U JP S6287781 U JPS6287781 U JP S6287781U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating material
- chamber
- extrusion piston
- passage
- filling chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ないし第３図はこの考案の塗布装置を示
すもので、第１図は断面図、第２図は押圧板を示
す側面図、第３図は同じく底面図、第４図ないし
第６図はこの塗布装置の動作を説明するためのも
ので、第４図および第５図は断面図、第６図はタ
イムチヤートである。 １…本体、３…シリンダ、４…押出ピストン、
５…充填室、６…圧力室、７…塗布材流入通路、
８…塗布材吐出通路、１７…小エアシリンダ、１
７ａ…ピストン、１７ｂ…バネ、１７ｃ…加圧室
、２０…気体通路。
すもので、第１図は断面図、第２図は押圧板を示
す側面図、第３図は同じく底面図、第４図ないし
第６図はこの塗布装置の動作を説明するためのも
ので、第４図および第５図は断面図、第６図はタ
イムチヤートである。 １…本体、３…シリンダ、４…押出ピストン、
５…充填室、６…圧力室、７…塗布材流入通路、
８…塗布材吐出通路、１７…小エアシリンダ、１
７ａ…ピストン、１７ｂ…バネ、１７ｃ…加圧室
、２０…気体通路。
Claims (1)
- 本体内に形成されたシリンダの内部空間を、押
出ピストンによつて二分し、一方を圧力室とし、
他方を塗布材が充填される充填室とし、充填室に
は塗布材を導入する塗布材流入通路および塗布材
を吐出する塗布材吐出通路を設け、圧力室には加
圧気体を導入する加圧気体導入通路を設け、押出
ピストンの内部に圧力室と充填室とを連通する気
体通路を形成し、押出ピストンが充填室内の塗布
材を吐出後この気体通路を開放する弁を押出ピス
トンに設けたことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17766385U JPS6287781U (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17766385U JPS6287781U (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287781U true JPS6287781U (ja) | 1987-06-04 |
Family
ID=31119075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17766385U Pending JPS6287781U (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6287781U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01244618A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給方法 |
-
1985
- 1985-11-19 JP JP17766385U patent/JPS6287781U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01244618A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給方法 |