JPS6288499A - スピ−カ用振動板の製造方法 - Google Patents
スピ−カ用振動板の製造方法Info
- Publication number
- JPS6288499A JPS6288499A JP22817285A JP22817285A JPS6288499A JP S6288499 A JPS6288499 A JP S6288499A JP 22817285 A JP22817285 A JP 22817285A JP 22817285 A JP22817285 A JP 22817285A JP S6288499 A JPS6288499 A JP S6288499A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- laser beam
- ceramic
- ceramics
- particles
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- Pending
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- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、金属振動板の表裏にセラミックス薄膜を形
成するスピーカ用振動板の製造方法に関する。
成するスピーカ用振動板の製造方法に関する。
従来のスピーカ用振動板においては、スピーカ特性向上
のために例えばＴｉなどによる金属振動板の表面にセラ
ミックス薄膜を形成していたが。
のために例えばＴｉなどによる金属振動板の表面にセラ
ミックス薄膜を形成していたが。
その形成はイオンブレーティング法により行なっていた
。イオンブレーティング方法とはまず、真空容器内で電
子ビームによりセラミックス部材を加熱しセラミックス
の蒸発粒子を発生させる。一方その真空容器内に導入さ
れたアルゴン、水素ガスはイオン化電極による電界によ
りイオン化さｎプラズマを形成するが、このプラズマ中
に飛んできたセラミックスの蒸発粒子はガスイオンと衝
突しイオン化される。このイオン化粒子＆ま活が高く反
応性が強いので金属振動板表面に衝突してセラミックス
薄膜を形成するものである。
。イオンブレーティング方法とはまず、真空容器内で電
子ビームによりセラミックス部材を加熱しセラミックス
の蒸発粒子を発生させる。一方その真空容器内に導入さ
れたアルゴン、水素ガスはイオン化電極による電界によ
りイオン化さｎプラズマを形成するが、このプラズマ中
に飛んできたセラミックスの蒸発粒子はガスイオンと衝
突しイオン化される。このイオン化粒子＆ま活が高く反
応性が強いので金属振動板表面に衝突してセラミックス
薄膜を形成するものである。
従来のセラミックス薄膜を表面に形成したスピーカ用振
動板は以上のように製造されているが。
動板は以上のように製造されているが。
金属振動板が他の金属９例えばＡｔの場合は温度上昇に
よる変形・変質などの点で従来の製造方法を適用するこ
とが困難であるという問題点があった。またイオンブレ
ーティング法に用いる装置が複雑で高価であるという問
題点があった。さらにイオンブレーティング法により形
成された膜組織は柱状又は繊維状であり、非晶質に比し
て緻密さが落ち、スピーカ特性上望ましくないという問
題点があった。
よる変形・変質などの点で従来の製造方法を適用するこ
とが困難であるという問題点があった。またイオンブレ
ーティング法に用いる装置が複雑で高価であるという問
題点があった。さらにイオンブレーティング法により形
成された膜組織は柱状又は繊維状であり、非晶質に比し
て緻密さが落ち、スピーカ特性上望ましくないという問
題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、温度上昇による変形・変質などが発生する金
属振動板にも適用できると共に。
たもので、温度上昇による変形・変質などが発生する金
属振動板にも適用できると共に。
金属振動板の表裏全面にわたって緻密な非晶質のセラミ
ックス薄膜を形成することのできるスピーカ用振動板の
製造方法を得ることを目的とする。
ックス薄膜を形成することのできるスピーカ用振動板の
製造方法を得ることを目的とする。
この発明に係るスピーカ用振動板の製造方法は。
真空容器内でセラミックス部材にレーザービームを集光
照射しセラミックスの粒子を蒸発させ、そノセラミック
スの蒸発粒子を上記セラミックス部材のレーザービーム
に対する角度及び位置を制御しながら金属振動板の一面
に付着させて第１のセラミックス薄膜を形成する工程、
及び金属振動板の他面に、上記セラミックス部材のレー
ザビームに対する角度及び位置を制御しながらセラミッ
クスの蒸発粒子を付着させて第２のセラミックス薄膜を
形成する工程を施すようにしたものである。
照射しセラミックスの粒子を蒸発させ、そノセラミック
スの蒸発粒子を上記セラミックス部材のレーザービーム
に対する角度及び位置を制御しながら金属振動板の一面
に付着させて第１のセラミックス薄膜を形成する工程、
及び金属振動板の他面に、上記セラミックス部材のレー
ザビームに対する角度及び位置を制御しながらセラミッ
クスの蒸発粒子を付着させて第２のセラミックス薄膜を
形成する工程を施すようにしたものである。
この発明に係る真空容器内でセラミックス部材にレーザ
ビームを集光照射しセラミックス粒子を蒸発させ、その
セラミックスの蒸発粒子を金属振動板に付着させて形成
したセラミックス薄板はＸ線回折によれば非晶質である
ため緻密・強固である。
ビームを集光照射しセラミックス粒子を蒸発させ、その
セラミックスの蒸発粒子を金属振動板に付着させて形成
したセラミックス薄板はＸ線回折によれば非晶質である
ため緻密・強固である。
またセラミックス部材のレーザビームに対する角度及び
位置の制御を行なうことにより金属振動板に均質なセラ
ミックス薄膜を形成することができる。
位置の制御を行なうことにより金属振動板に均質なセラ
ミックス薄膜を形成することができる。
さらに金属振動板の表裏両面にセラミックス薄膜を設け
ることにより表面だけの場合よりＥ／ρ（ヤング率／密
度）が上がりスピーカ特性上望ましい。
ることにより表面だけの場合よりＥ／ρ（ヤング率／密
度）が上がりスピーカ特性上望ましい。
第１図はこの発明の一実施例で使用するレーザによる真
空蒸着装置の構成図で９図において（１）はレーザビー
ム、この場合ＣＯ２レーザを発するＣＯ２レーザ発振器
、（２）はレーザビーム、（３）はレーザビー ム＋２
１の方向を変えるペンドミラー、（４）はレーザビーム
（２）を集光する集光レンズ、（５）は真空容器。
空蒸着装置の構成図で９図において（１）はレーザビー
ム、この場合ＣＯ２レーザを発するＣＯ２レーザ発振器
、（２）はレーザビーム、（３）はレーザビー ム＋２
１の方向を変えるペンドミラー、（４）はレーザビーム
（２）を集光する集光レンズ、（５）は真空容器。
（６）は真空容器（５）にレーザビーム（２）を取り入
れるウィンドウレンズ、（７）は金属振動板でこの場合
Ａｔ振動板、（８）はレーザビーム（２）の集光照射に
より蒸発するセラミックス部材である。（９）はセラミ
ックスの蒸発粒子である。なお図示していないが、金属
振動板（７）、セラミックス部材（８）はヒータにより
加熱できるようになっている。またセラミックス部材（
８）は駆動機構によりレーザビーム（２）に対する角度
及び位置を変えることができる。第２図（ａ）。
れるウィンドウレンズ、（７）は金属振動板でこの場合
Ａｔ振動板、（８）はレーザビーム（２）の集光照射に
より蒸発するセラミックス部材である。（９）はセラミ
ックスの蒸発粒子である。なお図示していないが、金属
振動板（７）、セラミックス部材（８）はヒータにより
加熱できるようになっている。またセラミックス部材（
８）は駆動機構によりレーザビーム（２）に対する角度
及び位置を変えることができる。第２図（ａ）。
（ｂｌにはセラミックス部材（８）のレーザビーム（２
）に対する角度の変化の例を示している。θ１の角度を
変えることによって蒸発粒子（９）の蒸発方向を制御で
きる。同様にしてθ１の変化方向と直角方向θ２（図示
せず）の変化によっても蒸発方向を制御することができ
る。第３図にはセラミックス部材（８）の上下方向の位
置の移動の方向を示すと共に振動板（７）を回転及び反
転させる場合を示している。ｔａｌ〜（Ｃ１はセラミッ
クス部材（８）の位置及び角度を変化させており、（ｄ
）は振動板（７）を反転させた状態である。振動板（７
）は矢印方向に回転可能とする。セラミックス部材（８
）のレーザビームに対する角度及び位置の制御のための
駆動機構としては例えばステッピングモータ、パルスモ
ータなどのモータと歯車とタイマーの組み合わせが考え
られる。その−例を第４図に示す。図においてαυはセ
ラミックス部材（８）に設けられた歯車部分、αつはそ
の歯車部分Ｕυと噛み合う第１の歯車、 Ｃ３は歯車部
分Ｉと歯車１りを支持する板状体で、その一端は噛み合
わせ部となっている。Ｃ１４は板状体の噛み合わせ部と
噛合する第２の歯車である。第１の歯車ｔＬ２ ｉｌ例
えばステッピングモータとタイマにより、一定時間毎に
回転し、歯車部分αυを回転させ、セラミックス部材（
８）のレーザビームに対する角度を変えることができる
。同様に第２の歯車Ｑ４１にはステッピングモータが取
り付けらｎており、タイマにより一定時間毎に回転し板
状体０１を上下運動させるものである。
）に対する角度の変化の例を示している。θ１の角度を
変えることによって蒸発粒子（９）の蒸発方向を制御で
きる。同様にしてθ１の変化方向と直角方向θ２（図示
せず）の変化によっても蒸発方向を制御することができ
る。第３図にはセラミックス部材（８）の上下方向の位
置の移動の方向を示すと共に振動板（７）を回転及び反
転させる場合を示している。ｔａｌ〜（Ｃ１はセラミッ
クス部材（８）の位置及び角度を変化させており、（ｄ
）は振動板（７）を反転させた状態である。振動板（７
）は矢印方向に回転可能とする。セラミックス部材（８
）のレーザビームに対する角度及び位置の制御のための
駆動機構としては例えばステッピングモータ、パルスモ
ータなどのモータと歯車とタイマーの組み合わせが考え
られる。その−例を第４図に示す。図においてαυはセ
ラミックス部材（８）に設けられた歯車部分、αつはそ
の歯車部分Ｕυと噛み合う第１の歯車、 Ｃ３は歯車部
分Ｉと歯車１りを支持する板状体で、その一端は噛み合
わせ部となっている。Ｃ１４は板状体の噛み合わせ部と
噛合する第２の歯車である。第１の歯車ｔＬ２ ｉｌ例
えばステッピングモータとタイマにより、一定時間毎に
回転し、歯車部分αυを回転させ、セラミックス部材（
８）のレーザビームに対する角度を変えることができる
。同様に第２の歯車Ｑ４１にはステッピングモータが取
り付けらｎており、タイマにより一定時間毎に回転し板
状体０１を上下運動させるものである。
次にスピーカ用振動板の製造方法について説明する。Ｃ
Ｏ２レーザ発振器（１）により発せられたＣＯ２レーザ
ビーム（２）の方向をペンドミラー（３）により変え集
光レンズ（４）を通過させ真空容器（５）のウィンドウ
レンズ（６）からヒータによって加熱さｎたセラミック
ス部材（８）に集光照射される。なおヒータによる加熱
は急激な温度上昇によるセラミックスの割れを防ぐため
で、３００℃〜８００℃とする。集光照射されたレーザ
ビームによりセラミックスの粒子が蒸発する。そのセラ
ミックスの蒸発粒子（９）の蒸発角度をいろいろ変える
ように第２図、第３図、第４図で説明したようにセラミ
ックス部材（８）のレーザビームに対する角度及び位置
を制御しながら密着力向上のためにヒータによって加熱
された金属振動板（７）の−面、即ち表向に付着させて
第１のセラミックス薄膜を形成する。なお加熱の温度範
囲は３００°Ｃ〜８００℃である。次いで金属振動板（
７）を第３図（ｄｌに示したように反転させ金属振動板
（７）の他面に、同様にしてセラミックス部材（８）の
レーザビームに対する角度及び位置を制御しながらセラ
ミックスの蒸発粒子を付着させて振動板（７）の他面、
即ち裏面に第２のセラミックス薄膜を形成する。以上の
ようにしてスピーカ用振動板を得る。
Ｏ２レーザ発振器（１）により発せられたＣＯ２レーザ
ビーム（２）の方向をペンドミラー（３）により変え集
光レンズ（４）を通過させ真空容器（５）のウィンドウ
レンズ（６）からヒータによって加熱さｎたセラミック
ス部材（８）に集光照射される。なおヒータによる加熱
は急激な温度上昇によるセラミックスの割れを防ぐため
で、３００℃〜８００℃とする。集光照射されたレーザ
ビームによりセラミックスの粒子が蒸発する。そのセラ
ミックスの蒸発粒子（９）の蒸発角度をいろいろ変える
ように第２図、第３図、第４図で説明したようにセラミ
ックス部材（８）のレーザビームに対する角度及び位置
を制御しながら密着力向上のためにヒータによって加熱
された金属振動板（７）の−面、即ち表向に付着させて
第１のセラミックス薄膜を形成する。なお加熱の温度範
囲は３００°Ｃ〜８００℃である。次いで金属振動板（
７）を第３図（ｄｌに示したように反転させ金属振動板
（７）の他面に、同様にしてセラミックス部材（８）の
レーザビームに対する角度及び位置を制御しながらセラ
ミックスの蒸発粒子を付着させて振動板（７）の他面、
即ち裏面に第２のセラミックス薄膜を形成する。以上の
ようにしてスピーカ用振動板を得る。
以上のような製造方法において、形成されたセラミック
ス薄膜は非晶質で均質、緻密な膜であり。
ス薄膜は非晶質で均質、緻密な膜であり。
さらに振動板（７）の表裏に設けているので、スピーカ
特性が向上する。また自動制御にて均質に膜を形成でき
る。またＡＬのように温度による変形。
特性が向上する。また自動制御にて均質に膜を形成でき
る。またＡＬのように温度による変形。
変質を生じやすい金属においても振動板の加熱はヒータ
による加熱なので温度コントロールが容易で低温に調整
できる。
による加熱なので温度コントロールが容易で低温に調整
できる。
なお、上記実施例において金属振動板としてＡｔを用い
たがＴｉ等でも良い。
たがＴｉ等でも良い。
また、上記実施例においてＣＯ２レーザを用いたが、ル
ビーレーザ、ＹＡＧレーザでも適用できる。
ビーレーザ、ＹＡＧレーザでも適用できる。
さらにセラミックス部材のレーザビームに対する角度２
位置の制御はこの実施例に限定されるものではない。
位置の制御はこの実施例に限定されるものではない。
以上のように、この発明によれば真空容器内で。
セラミックス部材にレーザビームを集光照射しセラミッ
クスの粒子を蒸発させ、そのセラミックスの蒸発粒子を
上記セラミックス部材のレーザビームに対する角度及び
位置を制御しながら金属振動板の一面に付着させて第１
のセラミックス薄膜を形成する工程、及び上記金属振動
板の他面に上記セラミックス部材のレーザビームに対す
る角度及び位置を制御しながらセラミックスの蒸発粒子
を付着させて第２のセラミックス薄膜を形成する工程を
施すようにしたので、金属振動板の両面に均質・緻密な
非晶質膜を形成することができスピーカ特性が向上し、
Ａｔのような加熱により変形・変質を生じやすい金属に
も適用でき、自動制御が容易で、装置も簡単なスピーカ
用振動板の製造方法が得られる効果がある。
クスの粒子を蒸発させ、そのセラミックスの蒸発粒子を
上記セラミックス部材のレーザビームに対する角度及び
位置を制御しながら金属振動板の一面に付着させて第１
のセラミックス薄膜を形成する工程、及び上記金属振動
板の他面に上記セラミックス部材のレーザビームに対す
る角度及び位置を制御しながらセラミックスの蒸発粒子
を付着させて第２のセラミックス薄膜を形成する工程を
施すようにしたので、金属振動板の両面に均質・緻密な
非晶質膜を形成することができスピーカ特性が向上し、
Ａｔのような加熱により変形・変質を生じやすい金属に
も適用でき、自動制御が容易で、装置も簡単なスピーカ
用振動板の製造方法が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例のスピーカ用振動板の製造
方法において用いられるレーザによる真空蒸着装置の構
成図、第２図はこの発明の一実施例に係るセラミックス
部材の角度の変化の例を示す説明図、第３図はこの発明
の一実施例に係るセラミックス部材の上下方向の位置の
移動及び金属振動板の反転を示す説明図、第４図はこの
発明の一実施例に係るセラミックス部材の角度及び位置
の制御方法の一例を示す説明図である。 図において、（１）はレーザビーム発振器、（２）はレ
ーザビーム、（３）はペンドミラー、（４）は集光レン
ズ。 （５）は真空容器、（７）は金属振動板、（８）はセラ
ミックス部材、（９）は蒸発粒子、ａυは歯車部分、
ａ’ａは第１の歯車、（Ｌ３は板状体、α荀は第２の歯
車である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
方法において用いられるレーザによる真空蒸着装置の構
成図、第２図はこの発明の一実施例に係るセラミックス
部材の角度の変化の例を示す説明図、第３図はこの発明
の一実施例に係るセラミックス部材の上下方向の位置の
移動及び金属振動板の反転を示す説明図、第４図はこの
発明の一実施例に係るセラミックス部材の角度及び位置
の制御方法の一例を示す説明図である。 図において、（１）はレーザビーム発振器、（２）はレ
ーザビーム、（３）はペンドミラー、（４）は集光レン
ズ。 （５）は真空容器、（７）は金属振動板、（８）はセラ
ミックス部材、（９）は蒸発粒子、ａυは歯車部分、
ａ’ａは第１の歯車、（Ｌ３は板状体、α荀は第２の歯
車である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）真空容器内で、セラミックス部材にレーザビーム
を照射しセラミックスの粒子を蒸発させ、そのセラミッ
クスの蒸発粒子を上記セラミックス部材のレーザビーム
に対する角度及び位置を制御しながら金属振動板の一面
に付着させて第１のセラミックス薄膜を形成する工程、
及び上記金属振動板の他面に、上記セラミックス部材の
レーザビームに対する角度及び位置を制御しながらセラ
ミックスの蒸発粒子を付着させて第２のセラミックス薄
膜を形成する工程を施すようにしたスピーカ用振動板の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22817285A JPS6288499A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | スピ−カ用振動板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22817285A JPS6288499A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | スピ−カ用振動板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288499A true JPS6288499A (ja) | 1987-04-22 |
Family
ID=16872349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22817285A Pending JPS6288499A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | スピ−カ用振動板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288499A (ja) |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP22817285A patent/JPS6288499A/ja active Pending
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