JPS6288930A - 一体型圧力変換器パツケ−ジおよびこれを用いた圧力変換器 - Google Patents

一体型圧力変換器パツケ−ジおよびこれを用いた圧力変換器

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JPS6288930A
JPS6288930A JP61234724A JP23472486A JPS6288930A JP S6288930 A JPS6288930 A JP S6288930A JP 61234724 A JP61234724 A JP 61234724A JP 23472486 A JP23472486 A JP 23472486A JP S6288930 A JPS6288930 A JP S6288930A
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JP
Japan
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pressure transducer
package
base
wall
molded
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JP61234724A
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ビクター・ジェイ・アダムス
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Motorola Solutions Inc
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Motorola Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、一般に、圧力変換器に関し、更に詳細には、
一体型圧力変換器パッケージに関する。
（従来の技術および問題点） 半導体圧力変換器は、ある期間広い経験を備えており、
一般に、２つの個片から成るハウジング（ｔｗｏ　ｐｉ
ｅｃｅ　ｈｏｕｓｉｎｇ）に納められている。この２個
片ハウジングは、半導体圧力変換器を取付けるベースか
ら構成され、ベースはモールドされたドーナツ形のプラ
スチックの壁枠に挿入されいてた。
壁枠には半導体圧力変換器と電気的に接触させるリード
があり、ドーナツ形の壁枠を貫いて突出している。ベー
スはベースと壁との間を耐漏洩シールとなるようにドー
ナツ形壁枠に接合しなければならなかった。更にコスト
を下げることと改良されたパッケージ方法とを絶えず探
求した結果、２個片ハウジングに関連するいくつかの問
題が克服された。
したがって、改良された圧力変換器パッケージを提供す
るのが本発明の目的である。
本発明の他の目的は一体型（ｕｎｉｂｏｄｙ）圧力変換
器パッケージを提供することである。
（問題点を解決するための手段） 本発明の上述の、および他の目的および利点は、ポリマ
ー材料から作られた１個片ハウジングにインサートモー
ルドされたリードフレームから成る一体型構造により１
ｑられる。半導体チップすなわちダイは１個片ハウジン
グに設置され、リードフレームに電気的に接続される。
１個片ハウジングを貫く穴が半導体チップの下に設けら
れている。
（実施例） 一体型圧力変換器パッケージの側面断面図を第１図に示
す。一体型圧力変換器パッケージすなわち１個片ハウジ
ングはポリマー材料からモールドされる本体１０を備え
ている。ポリマー材料は、圧力変換器を使用する環境に
適合する任意の熱プラスチックおるいは熱硬化材料でよ
い。一体型パツク゛−ジは檗１２を有するベース１１を
備えている。穴１４がベース１１に存在する。壁１２は
ベース１１から立上がって壁の上部に開口を形成してい
る。リード１３が壁１２を貫通して壁１２の内部から本
体１０の外部までの電気的接触を行うことができるによ
うになっている。
第２図は第１図の一体型圧力変換器パッケージの平面図
を示す。ポリマーの本体１０は円形に構成されているよ
うに示しである。第２図は本体１０の壁１２を貫く４本
のリード１３を示している。４本のリード１３は末端で
フレーム部材１７に取付けられている。穴がフレーム部
材１７に示されているが、これはυ−ド１３とフレーム
部材１７とから成るリードフレームアセンブリを指示す
る（ｉｎｄｅｘ）際に役立つ。１本のリード１３にノツ
チ１６があり、これはリード１３のどれを第１リードと
考えるべきかを示すマークとして使用されることに注意
すべきでおる。一体型圧力変換器パッケージの開口の中
に入るリード１３の部分には電気接触接合が良好になる
ようにモールド材料は一切あってはならない。
第３図はハウジング内に組み立てられた半導体ダイ２０
を備えている１個片ハウジングの切断図でおる。半導体
圧力変換器素子のような半導体ダイ２０は穴あるいは開
口１４の上方に設置され、接合材料２１により所定位置
に保持されている。
接合材料２１は半導体ダイ２０を１個片ハウジングによ
り引き起こされる応力から応力隔離する任意の適宜な弾
力のある弾性材料とすることができる。半導体ダイ２０
は導体２３によりリード１３と電気的に結合している。
半導体ダイ２０が取付けられている区域に貫入している
リード１３０部分は、リードフレームとダイとを湿気そ
の他の不利な環境成分から保護するために、半導体ダイ
２０の場合と同様、パッシベーション材料２２で覆われ
ていることが望ましいことに注意を要する。
本体１０の上部の大きな開口は、半導体ダイか設置され
る区域に異物が入り込まないようにするため円板２４で
閉じることができる。ただし、円板２４には穴２５がな
ければならない。
通常、被測定圧力は半導体ダイ２０の上面に作用するの
で、ダイ２０はダイヤフラムを押し下げる向きに動く。
したがって、圧力信号は、覆ってなければ、上面の大き
な開口から入り、円板２４か所定位置にあれば、穴２５
を通して入り、開口・１４が大気に通ずる。真空を監視
している場合には、真空は開口１４を通して検出され、
大気への通気は穴２５を通して行なわれる。
（発明の効果） 以上により、圧力変換器を収容するのに好適な改良され
た一体型パッケージが提供されたことか認識されるはず
である。１個片ハウジングでは２個片ハウジングのとき
のように部品を組立て密封する必要が無い。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の１実施例の切断側面図である。 第２図は第１図に示した単一ハウジングの平面図である
。 第３図は単一ハウジング内部に組立てられた半導体ダイ
を示づ切断図である。 １０・・・ハウジンク本体、　１１・・・ベース、１２
・・・壁、　　１３・・・リード、　　１４・・・穴、
２０・・・半導体ダイ、　２４・・・円板、　２５・・
・穴。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ベースを囲む壁とともにモールドされ圧力変換素子
    を受けるようになっている部分を備えている該ベースと
    、前記壁の中にモールドされこの壁を貫いて延びる複数
    のリードとを具備していることを特徴とする一体型圧力
    変換器パッケージ。 ２、圧力変換素子を受けるようになつている部分は中に
    穴を備えており、該圧力変換素子は半導体変換素子であ
    る特許請求の範囲第１項に記載の変換器パッケージ。 ３、ベースと該ベースを囲んでおりリードがその中にモ
    ールドされ且つそれを貫いて延びている壁とを備えてい
    るモールド成型されたポリマーハウジングである単一体
    のパッケージ、および該単一体のパッケージに組込まれ
    前記リードと電気的に結合している半導体圧力変換素子
    を具備していることを特徴とする一体型圧力変換器。
JP61234724A 1985-10-07 1986-10-03 一体型圧力変換器パツケ−ジおよびこれを用いた圧力変換器 Pending JPS6288930A (ja)

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US784980 1985-10-07

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