JPS629155U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS629155U JPS629155U JP8658686U JP8658686U JPS629155U JP S629155 U JPS629155 U JP S629155U JP 8658686 U JP8658686 U JP 8658686U JP 8658686 U JP8658686 U JP 8658686U JP S629155 U JPS629155 U JP S629155U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical fiber
- lens
- optical
- tube
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案による光学式表面欠陥検出器
におけるオプチカルフアイバの配列説明図、第２
図はオプチカルフアイバの先端の被検体上への投
影図、第３図はオプチカルフアイバの先端面と半
球面積の比の特性曲線図、第４図はオプチカルフ
アイバの入射角特性の１例を示す曲線図、第５図
はこの考案による光学式欠陥検出器におけるオプ
チカルフアイバの配列におけるオプチカルフアイ
バの数と最大入射角の関係を示す特性図、第６図
ａ，ｂ，ｃはこの考案による光学式欠陥検出器の
実施例を示す構造図、第７図はこの考案による光
学式表面欠陥検出器の受光素子部の実施例を示す
構造図である。 １……被検物、２……レーザ光、３……オプチ
カルフアイバ、４……レーザ管、５……ホルダ、
６，１７，２７……セツトスクリユー、７……窓
、８……微動ダイヤル、９……固定具、１０……
電源線入口、１１……ツマミ、１２……微動ネジ
棒、１３……ローラガイド、１３―１……固定部
、１３―２……移動部、１４……スタンド、１５
……スライドピン、１６……クランプ、１８……
固定リング、１９……回転リング、２０……押え
リング、２１……レンズ内管、２２……レンズ、
２３……レンズ外筒、２４，２５……ネジ、２６
……ピンホール板、２８……フオトマルチプライ
ヤ、２９……磁気シールドケース、３０……取付
具、３１……固定具、３２……穴。
におけるオプチカルフアイバの配列説明図、第２
図はオプチカルフアイバの先端の被検体上への投
影図、第３図はオプチカルフアイバの先端面と半
球面積の比の特性曲線図、第４図はオプチカルフ
アイバの入射角特性の１例を示す曲線図、第５図
はこの考案による光学式欠陥検出器におけるオプ
チカルフアイバの配列におけるオプチカルフアイ
バの数と最大入射角の関係を示す特性図、第６図
ａ，ｂ，ｃはこの考案による光学式欠陥検出器の
実施例を示す構造図、第７図はこの考案による光
学式表面欠陥検出器の受光素子部の実施例を示す
構造図である。 １……被検物、２……レーザ光、３……オプチ
カルフアイバ、４……レーザ管、５……ホルダ、
６，１７，２７……セツトスクリユー、７……窓
、８……微動ダイヤル、９……固定具、１０……
電源線入口、１１……ツマミ、１２……微動ネジ
棒、１３……ローラガイド、１３―１……固定部
、１３―２……移動部、１４……スタンド、１５
……スライドピン、１６……クランプ、１８……
固定リング、１９……回転リング、２０……押え
リング、２１……レンズ内管、２２……レンズ、
２３……レンズ外筒、２４，２５……ネジ、２６
……ピンホール板、２８……フオトマルチプライ
ヤ、２９……磁気シールドケース、３０……取付
具、３１……固定具、３２……穴。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ レーザ発振管と、該レーザ発振管よりのレー
ザビームを集光するレンズと、該レンズの前方に
生ずるレーザスポツトの位置に指向させて放射状
に複数本配置したオプチカルフアイバ群とにより
検出部を構成し、前記検出部とは別に、前記オプ
チカルフアイバ群の他端を一括して１個の受光素
子に接続した受光部を設けたことを特徴とする光
学式表面欠陥検出器。 ２ レーザ管をホルダにより被検体の表面に対し
直角に支持すると共に、前記ホルダの下端にレー
ザスポツト位置を中心としてそれより外方に放射
状にのびる複数の挿入穴を有するオプチカルフア
イバ固定具を固定し、該固定具の各挿入穴に夫々
オプチカルフアイバを挿入固定し、さらに、前記
レーザ管の下端とオプチカルフアイバ固定具との
間に集光レンズを上下位置調整自在に取付けてな
る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の光学式
表面欠陥検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986086586U JPS6247073Y2 (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986086586U JPS6247073Y2 (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629155U true JPS629155U (ja) | 1987-01-20 |
| JPS6247073Y2 JPS6247073Y2 (ja) | 1987-12-24 |
Family
ID=30943025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986086586U Expired JPS6247073Y2 (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6247073Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49123384A (ja) * | 1973-03-20 | 1974-11-26 | ||
| JPS5090388A (ja) * | 1973-12-10 | 1975-07-19 |
-
1986
- 1986-06-09 JP JP1986086586U patent/JPS6247073Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49123384A (ja) * | 1973-03-20 | 1974-11-26 | ||
| JPS5090388A (ja) * | 1973-12-10 | 1975-07-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6247073Y2 (ja) | 1987-12-24 |
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