JPS6291830A - 気密保持室内における気密性能の評価方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、工業用クリーンルーム、バイオロジカルク
リーンルーム、バイオハザード関連施設などのように、
室内の圧力を陽圧または陰圧に保持させる必要がある室
内において、その気密性能の評価方法にＩ！Ｉ？ｌる。

（従来の技術） 工業用クリーンル−ム、バイオロジカルクリーンルーム
、バイオハザード関連施設においＣは、その使用目的か
ら室内の圧力を陽圧または陰圧に保持させる必要がある
。

従って、このような室内は完全気密はできないとしても
高度な気密性能を要求される。例えばバイオクリーンル
ームなどにおいては、室内を定期的に滅菌消毒すること
が行なわれＣいるが、この滅菌法によっては室内が加圧
状態となるため、この滅菌ガスが他室に漏洩することを
防止する必要がある。室内における漏洩対象部分として
は、扉の隙間や仕上材のシーリング部分、空調用の空気
吹出し口や吸込み口まわり、照明器具、コンセントなど
の取付部分その他の設備関連機器取付部などがあるが、
これらの部分は経時変化によって当然劣化し、シーリン
グ性能が低下する。

従って、この種の気密保持室内では定期的にその気密性
能を検査し、劣化した部分を早めに見つけだしバッキン
グ交換や再シールなどの作業を行なわなければならない
。

この種の気密性能を評価するための測定方法として、従
来は室内に連通する空調用の給気ダクトと排気ダクトの
風８をそれぞれ測定し、吹出し風聞と排出ｆＪＪ　１１
の差を漏洩空気量として判断していた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、この測定方法によると、１つのダクト系
により供給される室数が多い場合には、測定対象室内以
外の吹出し口および吸込み口を全部間じなければならず
、その測定には多大な労力を要するどと６に、その測定
誤差も大きく精度の高いデータをｉ！７　ｆｔかった。

この発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、そ
の目的は、他の室内の機能を停止することなく、測定対
象室内のみに限ってその気密性能を精度良く測定し、早
期に漏洩箇所を検知限定できるようにすることにある。

（問題点を解決するための手段） 前記目的を達成するため、この発明方法では、開口部を
密閉した室内において、所定の圧力値の上限と下限とを
設定し、室内を一方の設定圧力値にして該圧力値から他
方の圧力値へ移行するまでの時間の長さを該室内の気密
性能の評価基準としたことを特徴とする。

（作　用） 設定圧力の一方の設定値より他方の設定値へ至るまでの
時間の良さは、室内の気密性能によって異なるため、こ
れを測定すればその室内の気密性能とすることができる
。

（実施例） 以下、本発明方法の好適な実施例を図面を用いて詳細に
説明する。

第１図乃至第３図はこの発明方法の第１の実施例を示す
もので、第１図はこの発明方法を適用したクリーンルー
ムの平断面図、第２図は同クリーンルームの側断面図で
ある。

図において、クリーンルーム１は、床２、天井３および
四周を壁部４によって囲われた一つの区画室を構成する
もので、天井３の裏面には天井面に開口部５を有する給
気用のダクト６が配置され、ダクト６内に設【プられた
トＩＥＰＡフィルタおよびファンなどにより開口部５を
通じてクリーンルーム１内に清浄空気を送風するように
している。また、壁部４の四隅部には打型７が立設され
でおり、この打型７には、吸込口８を設けた排気ダクト
９が埋設され、開口部５より吹出した空気を吸込口８の
内部に取入れてクリーンルーム１内の空気を循環するよ
うにしている。また、壁部４の一面には気密性のｆｆ１
ｊ１０が開閉可能に設けられているほか、図示しない照
明器具、コンセントの取付は部分、その他の装置が配列
されている。

以上のように構成されたクリーンルーム１内の気密性を
測定するには、第２図に示すようにクリーンルーム１内
に空気ボンベ１１および絶対圧力計１２、これに付設さ
れたペンレコーダ１４を持込み、給気および排気ダクト
６．９の開口部５゜と吸込口８を適宜な手段で完全に閉
鎖し、ｉｊ１！１０を開じ、さらにその他の通常外界と
連通している間口部を閉じた後に、ボンベ１１のバルブ
１１ａを聞きクリーンルーム１内を昇圧する。

昇圧により第３図に示すように圧力が上界するが、クリ
ーンルーム１内に対する下限圧力Ｐ１と上限加圧圧力Ｐ
２を予め設定しておき、上限圧力Ｐ２より高くなった状
態でバルブ１１ａを閉じる。

そして、この状態のまま放首しておくと、クリーンルー
ム１内の圧力は徐々に低下し、ついには外界の圧力と笠
しくなるが、その圧力より高い圧力を設定下限値Ｐ１と
して、設定上限値Ｐ２に至った時間ｔ１と、下限設定値
Ｐ１に至った時間ｔ２間の長さによりそのリークの度合
が評価される。

すなわち時間が長ければ長いほどリークが少なく、気密
性が高いことを示唆する。また短いほどリークが多いと
いうことが分かる。尚、ペンレコーダ１４にはタイマー
が内蔵され絶対圧力計１２からの測定信号を取入れ、設
定上限値Ｐ２に至った段階より設定下限値Ｐ１に至った
段階までの記録を時間のＩ！緯とともに描画する。

また、上限値Ｐ２を絶対圧力計の１５ｓ＋ＡＱとし、下
限値Ｐ１を１ａｉＡＱとしたところ、第３図のグラフに
示すようにその時間との関係においてほぼ直線的な領域
内での圧力減小となるため、所定の測定精度を得られた
。

つまり、加圧圧力が高いと、初期においては急勾配で圧
力が降下し、最終的には外界の圧力、すなわち常圧に近
くなるため勾配が緩勾配となるが、この上下限値の範囲
では直線的な下降勾配となり、クリーンルーム１に要求
される気密度合に応じた精度のよい測定結果となってい
る。

従って、この種のクリーンルームに理想的な気密性能の
データの圧力降下時間と実際の測定時間とを比較するこ
とによって、クリーンルーム１の気密度合を評価できる
。

また、下限値に至るまでの時間が極めて短い場合には必
ずいずれかにリークが生じているので、漏洩対架部分を
個々にめばりしつつ測定を繰返すことによって、その漏
洩箇所を検知限定できることになる。

次に第４図はこの発明方法の第２の実施例を示す。

尚、以下の説明では、第１実施例と同一箇所には同一符
号を付して説明を行なう。

図において、壁部４の一方にはクリーンルーム１の内外
をｄ通する圧力変更用の接続パイプ１６および圧力測定
用の接続パイプ１７が配管されており、これらの先端に
取付けられたバルブ１６ａ。

１７ａを介してクリーンルーム１外のボンベ１１および
差圧計１８およびこれに付設されたペンレコーダ１４が
接続されている。

この実施例においては、クリーンルーム１内の各間口部
を完全に閉鎖した後に、バルブ１６ａ。

１７ａを開き、ボンベ１１のバルブ１１ａを聞いて圧力
空気をクリーンルーム１内に入れ、差圧訓１８によりそ
の圧力降下を測定することができる。

この実施例においては、室外で測定を行なうことができ
る。また、クリーンルーム１が多い場合にはそれぞれの
クリーンルームに配管し、遠隔操作等によりクリーンル
ーム全体あるいは個々のクリーンルームについて個別の
測定を行なうことができる。

尚、本実施例においてはボンベ１１内に蓄圧された空気
をクリーンルーム１内に送るようにしたが、コンプレッ
サー等を接続し、このコンプレッサーにより圧縮された
空気をクリーンルーム１内に送風して測定を行なうよう
にしてもよい。

また、更にクリーンルームにあっては、陰圧に保つ場合
があるが、この場合には接続パイプ１６に真空ポンプを
接続しクリーンルーム１内の空気を吸引した後にその圧
力上界の時間を測定すればよい。

その場合の十７？特性は第５図に示す如く、第３図の下
降曲線とは逆になるが、いずれにあっても、リーク吊が
少なければその時間は艮いものとなり、理想的な高度の
気密性能の圧力上界時間と比較して、その気密度を評１
＋Ｉ［ｉ　′Ｃ−きることになる。

（発明の効果） 以上各実施例により詳細に説明したように、本発明方法
によれば、気密保持室内における気密性能の評価を加圧
又は減圧により室内を外界とは異なった圧力に設定し、
その上下限値に至るまでの時間を気密性の評価基準とし
ているので、従来の給気と排気の風子の差により気密度
を評価した場合に比べて精度のよい測定やその評価或い
はリーク部分の検知限定ができ、ざらには測定時におい
て、個々の気密室内での作業のみによってその気密度を
測定できるので、測定準備時間およびその測定口、１間
を短くできる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明方法の第１の実施例を示ケ
もので、第１図はこの発明を適用したクリーンルームの
平断面図、第２図は同側断面図、第３図は本発明方法に
おける圧力降下特性を承りグラフ、第４図はこの発明の
第２の実施例を示す側断面図、第５図はクリーンルーム
内を圧力降下させた状態で測定した場合における圧力上
界特性を示すグラフである。 １・・・・・・クリーンルーム　　１１・・・空気ボン
ベ１２・・・絶対圧力計　１６・・・圧力変更用接続パ
イプ１７・・・圧力測定用接続パイプ １６ａ、１７ａ・・・バルブ　１８・・・差圧計Ｐ１・
・・下限値　　　　　　Ｐ２・・・上限値ｔｌ、ｔ２・
・・時間 特許出願人　　　　　株式会社　大　林　組成　理　人
　　　　　弁理士　−色　健　輔第２図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）開口部を密閉した室内において、所定の圧力値の
   上限と下限とを設定し、室内を一方の設定圧力値にして
   該圧力値から他方の圧力値へ移行するまでの時間の長さ
   を該室内の気密性能の評価基準としたことを特徴とする
   気密保持室内における気密性能の評価方法。
2. （２）前記室内に圧力空気を送って室内の圧力が設定上
   限値になった時点より設定下限値になるまでの時間を測
   定することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の気
   密保持室内における気密性能の評価方法。
3. （３）前記室内の空気を減圧して室内の圧力が設定下限
   値になった時点より設定上限値になるまでの時間を測定
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の気密
   保持室内における気密性能の評価方法。
4. （４）室内にバルブを介して連通する圧力変更用の接続
   パイプおよび圧力測定用パイプを室内外を貫通して配管
   してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし
   第３項のいずれかに記載の気密保持室内における気密性
   能の評価方法。