JPS6292108A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS6292108A JPS6292108A JP12245385A JP12245385A JPS6292108A JP S6292108 A JPS6292108 A JP S6292108A JP 12245385 A JP12245385 A JP 12245385A JP 12245385 A JP12245385 A JP 12245385A JP S6292108 A JPS6292108 A JP S6292108A
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- Japan
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- thin
- magnetic head
- thin film
- magnetic
- film
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はVTR等の薄膜ヘッドに係り、特に多素子構造
に於る信号コイルリード線接続に好適なヘッド構造に関
する。
に於る信号コイルリード線接続に好適なヘッド構造に関
する。
従来より磁性薄膜をコア材とし、薄膜形成技術とフォ)
IJゾ技術を用いて高性能、高精度の薄膜磁気ヘッド
を製造する方法及びそのヘッド構造が各種提案されてい
る。その中で特開昭55−132519号、特開昭58
−13712j号に開示されたヘッド構造は、基板上に
下部コア、信号コイル、上部コアの順に薄膜状に積層し
、かつ上部コアの途中に基板面に垂直にコアを横切るギ
ャップを挟んだもので、膜面摺動ヘッドあるいは水平形
ヘッドと呼ばれている。このヘッドの特徴は以下の通り
である。
IJゾ技術を用いて高性能、高精度の薄膜磁気ヘッド
を製造する方法及びそのヘッド構造が各種提案されてい
る。その中で特開昭55−132519号、特開昭58
−13712j号に開示されたヘッド構造は、基板上に
下部コア、信号コイル、上部コアの順に薄膜状に積層し
、かつ上部コアの途中に基板面に垂直にコアを横切るギ
ャップを挟んだもので、膜面摺動ヘッドあるいは水平形
ヘッドと呼ばれている。このヘッドの特徴は以下の通り
である。
(1) ヘッド−If法路元で重要なトラック幅、ギ
ャップ長、ギャップデプス等が、フォトリゾ技術JP8
3制御で高精度に実現できる。
ャップ長、ギャップデプス等が、フォトリゾ技術JP8
3制御で高精度に実現できる。
(2) ウェハ基板上に多素子を同詩に、しかも各ギ
ャップのトラック幅やアジマス角を任意の配置に形成で
き、マルチトラックヘッドに好適となる0 ところで、これらの提案の中では、信号コイル端子から
のリード線引用しに関し何ら触れていないが、VTR等
に適用する際、端子接続部等の盛上り部がテープに接し
その摺動を阻害してはいけない。しかしながら、実際に
は、その盛上りの許容値は10μm前後であり、端子上
面で接続するのは非常に困難である。その対策として、
テーパ付基板を採用し端子部の盛上り許容値を大きくす
る方法、スルーホール基板を採用し、基板裏面から引出
す方法が考えられるが、いずれも技術的に困難を伴いヘ
ッド実用化を拒んでいた。
ャップのトラック幅やアジマス角を任意の配置に形成で
き、マルチトラックヘッドに好適となる0 ところで、これらの提案の中では、信号コイル端子から
のリード線引用しに関し何ら触れていないが、VTR等
に適用する際、端子接続部等の盛上り部がテープに接し
その摺動を阻害してはいけない。しかしながら、実際に
は、その盛上りの許容値は10μm前後であり、端子上
面で接続するのは非常に困難である。その対策として、
テーパ付基板を採用し端子部の盛上り許容値を大きくす
る方法、スルーホール基板を採用し、基板裏面から引出
す方法が考えられるが、いずれも技術的に困難を伴いヘ
ッド実用化を拒んでいた。
本発明の目的は、上記従来技術の欠点を除き、膜面摺動
ヘッドのリード線処理を容易にした薄膜磁気ヘッドを提
供するにある。
ヘッドのリード線処理を容易にした薄膜磁気ヘッドを提
供するにある。
この目的を達成するために、本発明は、従来の薄膜磁気
ヘッドの欠点がコイル端子の露出面側とヘッド摺動面側
を同一面側にもつことに基づくものであることに着目し
、これらを互いに反対側にもつ構造とし、通常の基板及
びリード線処理法により容易に接続することができるよ
うにした点に特徴がある。
ヘッドの欠点がコイル端子の露出面側とヘッド摺動面側
を同一面側にもつことに基づくものであることに着目し
、これらを互いに反対側にもつ構造とし、通常の基板及
びリード線処理法により容易に接続することができるよ
うにした点に特徴がある。
以下、本発明の実施例を図面でもって説明する。
第1図(α)は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例
を示す外観斜視図、同図(−8)はその二点鎖l1lA
−A’に沿う断面図であって、図面下方がヘッド摺動面
23で、磁気コアとして第1及び第2のフロントコア1
,2及びリアコア3とで閉磁路をなし、一対のフロント
コア1,2の間にギャップ4を挟持しである。閉磁路の
中心には、これに鎖交する導体コイル5が貫通しである
。
を示す外観斜視図、同図(−8)はその二点鎖l1lA
−A’に沿う断面図であって、図面下方がヘッド摺動面
23で、磁気コアとして第1及び第2のフロントコア1
,2及びリアコア3とで閉磁路をなし、一対のフロント
コア1,2の間にギャップ4を挟持しである。閉磁路の
中心には、これに鎖交する導体コイル5が貫通しである
。
導体コイル5と各磁気コアの間は絶縁g1.6を介して
絶縁している。これら磁気コアはその上下方向に2種の
非磁性材で挟持してあり、摺動面側は非磁性摺動材7.
端子取出側は非磁性補強材8である。非磁性摺動材7は
摺動面25に於るフロントコア1,2の形状を規制して
いる。導体コイル5の端子部5αに於て、上記非磁性補
強材8とリアコア3及び絶縁膜6は除去されて切欠部2
2をなし、導体コイルの端子部5αが上面側に開口しで
ある。
絶縁している。これら磁気コアはその上下方向に2種の
非磁性材で挟持してあり、摺動面側は非磁性摺動材7.
端子取出側は非磁性補強材8である。非磁性摺動材7は
摺動面25に於るフロントコア1,2の形状を規制して
いる。導体コイル5の端子部5αに於て、上記非磁性補
強材8とリアコア3及び絶縁膜6は除去されて切欠部2
2をなし、導体コイルの端子部5αが上面側に開口しで
ある。
また、非磁性補強材8上に支持板9を取り付け、支持板
9上に設けた端子板10と前記導体コイルの端子部5α
の間をリード線11で接続しである。
9上に設けた端子板10と前記導体コイルの端子部5α
の間をリード線11で接続しである。
さらに、各部分を詳細に説明する。フロントコア1,2
及びリアコア3は軟磁性薄膜からなり、アモルファス合
金やセンダスト合金を用いて10〜30μm厚形成しで
ある。ギャップ4はSお0zFIAで0.2〜0.33
膜厚である。導体コイル5は銅、アルミニウムを用い、
1〜5μm厚、10〜50μm幅で形成しである。絶縁
膜乙にはSお02膜を用いた。非磁性摺動材7は耐摩耗
性の良いセラミック材、ガラス材あるいはこれらの薄膜
を用い、例えばフォルステライト膜が適している。非磁
性摺動材7の厚さはギャップデプス、すなわちフロント
コア1,2の厚さ以上とし、実施例では50μmとした
。フロントコア1,2の摺動面形状は、摺動長20〜5
0μm、)ランク幅60μmとした。非磁性補強材8は
非磁性膜を用い、例えばフォルステライト膜を10〜5
0μm形成した。尚、非磁性補強材8は省略することが
できる支持板9は真ちゅうブロックからなり、この側面
に端子板10を貼付けてあり、リード線11をハンダ付
は又はワイヤーボンディングで接続しである。
及びリアコア3は軟磁性薄膜からなり、アモルファス合
金やセンダスト合金を用いて10〜30μm厚形成しで
ある。ギャップ4はSお0zFIAで0.2〜0.33
膜厚である。導体コイル5は銅、アルミニウムを用い、
1〜5μm厚、10〜50μm幅で形成しである。絶縁
膜乙にはSお02膜を用いた。非磁性摺動材7は耐摩耗
性の良いセラミック材、ガラス材あるいはこれらの薄膜
を用い、例えばフォルステライト膜が適している。非磁
性摺動材7の厚さはギャップデプス、すなわちフロント
コア1,2の厚さ以上とし、実施例では50μmとした
。フロントコア1,2の摺動面形状は、摺動長20〜5
0μm、)ランク幅60μmとした。非磁性補強材8は
非磁性膜を用い、例えばフォルステライト膜を10〜5
0μm形成した。尚、非磁性補強材8は省略することが
できる支持板9は真ちゅうブロックからなり、この側面
に端子板10を貼付けてあり、リード線11をハンダ付
は又はワイヤーボンディングで接続しである。
この構造によれば、薄膜ヘッド12の導体コイルの端子
部5αがヘッド摺動面側と反対側に位置する。従って接
続点に於る盛上りやリード線11の引回しはヘッド摺動
時に何ら障害とならない。
部5αがヘッド摺動面側と反対側に位置する。従って接
続点に於る盛上りやリード線11の引回しはヘッド摺動
時に何ら障害とならない。
第2図(a)〜(C)は本発明の薄膜磁気ヘッドの他の
実施例を示し、同図(a)と(b)はその断面図で、そ
のうぢ同図(α)は第1図に於る非磁性補強材8を、同
図(,5)は非磁性摺動材7を省略して示した構造図で
ある。これら非磁性材7,8は磁気コアを保持する役割
のものであるから、そのいずれか一方を取除いても実用
上同類ない。また第2図(C)は、導体コイルの端子部
5aを非磁性補強材8の而よでσ1出したもので、端子
部5αの面積を大きくとることができてリード線接続が
容易である。また、この実施例では、第1図に示した実
施例で設けらγした切欠部22を設けることかなく、製
造工程が簡単になる。
実施例を示し、同図(a)と(b)はその断面図で、そ
のうぢ同図(α)は第1図に於る非磁性補強材8を、同
図(,5)は非磁性摺動材7を省略して示した構造図で
ある。これら非磁性材7,8は磁気コアを保持する役割
のものであるから、そのいずれか一方を取除いても実用
上同類ない。また第2図(C)は、導体コイルの端子部
5aを非磁性補強材8の而よでσ1出したもので、端子
部5αの面積を大きくとることができてリード線接続が
容易である。また、この実施例では、第1図に示した実
施例で設けらγした切欠部22を設けることかなく、製
造工程が簡単になる。
第3図は本発明による薄膜磁気ヘッドのさらに他の実施
例を示すものであって、同図(α)はフロントコア1,
2の周囲を非磁性摺動材7.7αで取囲んだヘッド摺動
面側がらみた斜視図である。これによれば、フロントコ
アの保持がより強固になるだけでなく、狭トラツク幅ヘ
ッド?これらを多素子化する要求に対し有効な構造とな
る。第2図(75)と(C)は摺動面に於るフロントコ
アの稜線16の形状の他の具体例を示したもので、同図
(b)はギャップ4と非平行にし、同図(c)は鋸歯状
にしたものである。このようにすると、特定の記録波長
に対する再生出力の干渉、いわゆるコンタ−効果をなく
すことができる。
例を示すものであって、同図(α)はフロントコア1,
2の周囲を非磁性摺動材7.7αで取囲んだヘッド摺動
面側がらみた斜視図である。これによれば、フロントコ
アの保持がより強固になるだけでなく、狭トラツク幅ヘ
ッド?これらを多素子化する要求に対し有効な構造とな
る。第2図(75)と(C)は摺動面に於るフロントコ
アの稜線16の形状の他の具体例を示したもので、同図
(b)はギャップ4と非平行にし、同図(c)は鋸歯状
にしたものである。このようにすると、特定の記録波長
に対する再生出力の干渉、いわゆるコンタ−効果をなく
すことができる。
第4図は本発明による薄膜磁気ヘッドのさらに他の実施
例を示す要部斜視図であるこの実施例は多素子薄膜磁気
ヘッドの場合で、同図(α)は摺動面、同図(b)はリ
ード線接続状態を示す。第4図では4個の素子12をギ
ャップ4の位置を2次元的にずらして配置したもので、
PCM記録の場合に好適となる。
例を示す要部斜視図であるこの実施例は多素子薄膜磁気
ヘッドの場合で、同図(α)は摺動面、同図(b)はリ
ード線接続状態を示す。第4図では4個の素子12をギ
ャップ4の位置を2次元的にずらして配置したもので、
PCM記録の場合に好適となる。
第5図は本発明による薄膜磁気ヘッドのさらに他の実施
例を示し、ステップアップトランス17を組込んだ状態
を示したものである。同図(a) 、 (b)は薄膜ト
ランス174をヘッド素子に近接させ一体化して形成し
た場合の斜視図と断面図である。薄膜トランス17αは
下部コア14と上部コア15、−次フイル16αと2次
コイル16hで構成され、これらのコアセフイルは前記
薄膜磁気ヘッド素子と全く同様に形成できる。2次コイ
ル16bの端子からは端子板10ヘリード線11で接続
しであるが、この場合もステップアップトランス17や
リード線11の存在はヘッド摺動の障害にならない。同
図(C)はステップアップトランス17を個別部品で支
持板9上に取付けた場合で、18αが入力側、18bが
出力側端子である。このように本発明の薄膜磁気ヘッド
ではステップアップトランスを自由に配置構成できる。
例を示し、ステップアップトランス17を組込んだ状態
を示したものである。同図(a) 、 (b)は薄膜ト
ランス174をヘッド素子に近接させ一体化して形成し
た場合の斜視図と断面図である。薄膜トランス17αは
下部コア14と上部コア15、−次フイル16αと2次
コイル16hで構成され、これらのコアセフイルは前記
薄膜磁気ヘッド素子と全く同様に形成できる。2次コイ
ル16bの端子からは端子板10ヘリード線11で接続
しであるが、この場合もステップアップトランス17や
リード線11の存在はヘッド摺動の障害にならない。同
図(C)はステップアップトランス17を個別部品で支
持板9上に取付けた場合で、18αが入力側、18bが
出力側端子である。このように本発明の薄膜磁気ヘッド
ではステップアップトランスを自由に配置構成できる。
第6図は本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示したも
のである。これを順に説明すると(α)基板20を用意
する。その材質は磁性、非磁性いずれでもよい。
のである。これを順に説明すると(α)基板20を用意
する。その材質は磁性、非磁性いずれでもよい。
(、!、) 基板20上に非磁性摺動材7を形成し、
凹溝21をつくる。溝斜面13は45°程度の傾斜がよ
く、また前記第3図の摺動面形状を得ようとする場合は
、それに対応した稜線形状とする。
凹溝21をつくる。溝斜面13は45°程度の傾斜がよ
く、また前記第3図の摺動面形状を得ようとする場合は
、それに対応した稜線形状とする。
尚基板20が非磁性の場合は非磁性摺動材7は基板20
と同一材でも良く、その場合は機械加工やエツチングで
凹溝を形成する。
と同一材でも良く、その場合は機械加工やエツチングで
凹溝を形成する。
(C) 凹溝21の中央線を境界とし、片側に第1の
フロントコア1を形成する。コア材はアモルファス合金
やセンダスト合金をスパッタリングで薄膜状に形成する
。その境界線は後でギャップ面となるので、イオンミリ
ングや機械的切削加工で仕上るとよい。
フロントコア1を形成する。コア材はアモルファス合金
やセンダスト合金をスパッタリングで薄膜状に形成する
。その境界線は後でギャップ面となるので、イオンミリ
ングや機械的切削加工で仕上るとよい。
(d) ギャップ材4として乳02膜を被着する。
(e) 第2のフロントコア2を残りの半面に形成す
る。この際第1のフロントコア1の上に被着したコアは
除去する。
る。この際第1のフロントコア1の上に被着したコアは
除去する。
(1) 絶縁膜6として5=02を被着し、2の上に導
体コイル5を形成する。さらにその上面に絶縁膜6を被
着する。
体コイル5を形成する。さらにその上面に絶縁膜6を被
着する。
<g) リアコア3を形成する。この場合導体コイル
5の両端には、切欠部22ができるようマスクスパッタ
法が有効である。
5の両端には、切欠部22ができるようマスクスパッタ
法が有効である。
<A) 非磁性補強材8を被着し、この上に支持板9
を接漬取付ける。
を接漬取付ける。
(1) 摺動面23側を内研し、基板20の部分を除
去し、フロントコア1,2及びギャップ4をν呈させる
。端子板10を貼付は導体コイル5との間をリード線1
1にて接続する。
去し、フロントコア1,2及びギャップ4をν呈させる
。端子板10を貼付は導体コイル5との間をリード線1
1にて接続する。
以上述べた製造方法は従来製造方法と大いに異なり、基
板上にギャップを挟むフロントコア。
板上にギャップを挟むフロントコア。
コイル、リアコアの順、すなわち摺動面に近い部分から
順に形成したことと、最終工程で基板部分を除去してギ
ャップを挟むフロントコアを活動面に露呈させたことに
特徴がある。口の製造方法により前記各実施例で述べた
リード線の接続を容易にできる。
順に形成したことと、最終工程で基板部分を除去してギ
ャップを挟むフロントコアを活動面に露呈させたことに
特徴がある。口の製造方法により前記各実施例で述べた
リード線の接続を容易にできる。
以上説明したように、本発明によれば、膜面゛ 摺動
形−ノドの導体コイルの端子が活動面とは反対側にU呈
した構造としたので、リード線接続処理が容易になりヘ
ッド実用化を促進させる。
形−ノドの導体コイルの端子が活動面とは反対側にU呈
した構造としたので、リード線接続処理が容易になりヘ
ッド実用化を促進させる。
また従来の既存技術の範囲内で工程の順序を改@イシた
だけの製造方法で所望のヘッド構造を容易に実現出来、
また1産化を促進さゼることか出来、」二記従来技術の
欠点を除いて優れた機能の薄膜磁気ヘッド及びその製造
方法を提供する口とが出来る。
だけの製造方法で所望のヘッド構造を容易に実現出来、
また1産化を促進さゼることか出来、」二記従来技術の
欠点を除いて優れた機能の薄膜磁気ヘッド及びその製造
方法を提供する口とが出来る。
第1図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
もので、同図(a)は斜視図、同図(りは同図(α)図
の一点鎖線A −A’に沿う断面図、第2図は本発明に
よる薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示すもので、同図(
α)1体)はそれぞれ異なる部材を省略した状態の断面
図、同図(C)は外観図、第3図は本発明によるR膜磁
気ヘッドのさらに池の実施例を示し、同図(lりは斜視
図、同図(6)。 (C)は異なる形状の活動面部分の斜視図、第4図は本
発明による薄膜磁気ヘッドを多素子化した実施例を示し
、同図(α)は活動面の斜視図、同図劇)はリード線接
続部分の斜視図、第5図は本発明による’h1M磁気ヘ
ッドのステンプアノブトランスを取り付けた場合の実施
例を示し、同図(a)は斜視図、同図(初は断面図、同
図(C)は異なる取り付は状態の斜視図、第6図(α)
乃至(りは本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法の各
工程における状態を示す斜視図である。 1.2・・・フロントコア、 3・・・リアコア、4
・・・ギャップ、 5・・・導体コイル、7
.8・・・非磁性相、 9・・・支持板、10
・・端子板、11 ・・・リー ド線。 代理人弁理士 小 川 勝 ”男・41面の浄書
(内容に変更;ニー1.)、第7図 (0−) (1,) 第 2z C■ (ト)(り 筋 31 (し) 第4η 躬 5圀 第60 手 糸売 補 正 書 (方式) !1「f生の表示 昭和 6Q 11=−特11′「願第 122453
号発明の名称 #膜磁気ヘッド を重圧をする各 +tr+との1麗 特許出願人 ’ l’F ’5IQBI式会?1 口
立 ラン 住 所代 理 人
もので、同図(a)は斜視図、同図(りは同図(α)図
の一点鎖線A −A’に沿う断面図、第2図は本発明に
よる薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示すもので、同図(
α)1体)はそれぞれ異なる部材を省略した状態の断面
図、同図(C)は外観図、第3図は本発明によるR膜磁
気ヘッドのさらに池の実施例を示し、同図(lりは斜視
図、同図(6)。 (C)は異なる形状の活動面部分の斜視図、第4図は本
発明による薄膜磁気ヘッドを多素子化した実施例を示し
、同図(α)は活動面の斜視図、同図劇)はリード線接
続部分の斜視図、第5図は本発明による’h1M磁気ヘ
ッドのステンプアノブトランスを取り付けた場合の実施
例を示し、同図(a)は斜視図、同図(初は断面図、同
図(C)は異なる取り付は状態の斜視図、第6図(α)
乃至(りは本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法の各
工程における状態を示す斜視図である。 1.2・・・フロントコア、 3・・・リアコア、4
・・・ギャップ、 5・・・導体コイル、7
.8・・・非磁性相、 9・・・支持板、10
・・端子板、11 ・・・リー ド線。 代理人弁理士 小 川 勝 ”男・41面の浄書
(内容に変更;ニー1.)、第7図 (0−) (1,) 第 2z C■ (ト)(り 筋 31 (し) 第4η 躬 5圀 第60 手 糸売 補 正 書 (方式) !1「f生の表示 昭和 6Q 11=−特11′「願第 122453
号発明の名称 #膜磁気ヘッド を重圧をする各 +tr+との1麗 特許出願人 ’ l’F ’5IQBI式会?1 口
立 ラン 住 所代 理 人
Claims (5)
- (1)摺動面側から順にギャップを挾み磁性薄膜からな
るフロントコア、薄膜状の導体コイル、磁性薄膜からな
るリアコアを積層構成してなる薄膜磁気ヘッドに於て、
該導体コイルの両端部が摺動面とは反対側に露呈してい
ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - (2)前記フロントコアとリアコアの少なくとも一方に
接する非磁性材を有し、前記導体コイルの露呈した両端
部に於てリード線を接続引出したことを特徴とする特許
請求の範囲第(1)項記載の薄膜磁気ヘッド。 - (3)前記フロントコアの周囲を非磁性材で包囲した薄
膜磁気ヘッド素子を複数個摺動面内に配置一体化して多
素子構造としたことを特徴とする特許請求の範囲第(2
)項記載の薄膜磁気ヘッド。 - (4)前記導体コイルの両端部にステップアップトラン
スを接続したことを特徴とする特許請求の範囲第(1)
項乃至第(3)項記載の薄膜磁気ヘッド。 - (5)前記ステップアップトランスが磁性薄膜コア、薄
膜コイルからなり、前記薄膜磁気ヘッド素子と一体化構
成してなる特許請求の範囲第(4)項記載の薄膜磁気ヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12245385A JPS6292108A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12245385A JPS6292108A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6292108A true JPS6292108A (ja) | 1987-04-27 |
Family
ID=14836219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12245385A Pending JPS6292108A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6292108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2630244A1 (fr) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'ecriture et de lecture sur un support magnetique et son procede de fabrication |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP12245385A patent/JPS6292108A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2630244A1 (fr) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'ecriture et de lecture sur un support magnetique et son procede de fabrication |
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