JPS629237A - 赤外線検出器の評価装置 - Google Patents
赤外線検出器の評価装置Info
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- JPS629237A JPS629237A JP60148614A JP14861485A JPS629237A JP S629237 A JPS629237 A JP S629237A JP 60148614 A JP60148614 A JP 60148614A JP 14861485 A JP14861485 A JP 14861485A JP S629237 A JPS629237 A JP S629237A
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- infrared detector
- detector
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- Pending
Links
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 20
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
水元＃４扛赤外線検出器の評価装置に関し、特に赤外線
検出器の感度を評価するにあたって、フォトンバックグ
ラウンドのｊｌｉを比較的効率よ〈設定するための装置
に関するものである。
検出器の感度を評価するにあたって、フォトンバックグ
ラウンドのｊｌｉを比較的効率よ〈設定するための装置
に関するものである。
（従来技術）
赤外縁検出器の感度ｈフォトンバックグランドσ）量に
依存す看。例えはｈｇ（、ｄＴｅ光伝導型素子の場合フ
ォトンハッククランドが大きいと多数キャリアに度か増
加し少数キャリアの寿命か短くなる。その結果感度か悪
くなる。
依存す看。例えはｈｇ（、ｄＴｅ光伝導型素子の場合フ
ォトンハッククランドが大きいと多数キャリアに度か増
加し少数キャリアの寿命か短くなる。その結果感度か悪
くなる。
赤外線検出器σ］感度を評価する際、従来社第２因のよ
うに黒体炉１１からの赤外線をチロツバ−１２で交流化
し、てテエワー１６の外に置いた室温のフィルター１３
を通して赤外線検出６１５に導く。赤外線検出器とダイ
アフラム１４Ｆｉ液体窒素のような冷媒で冷却されてい
る。この場合赤外線検出器は室温のチ冒ツバ−と黒体炉
からの赤外線輻射の差を検出する。またフォトンバック
グラウンドは赤外線検出器の分光感度特性と赤外線検出
器か冷却ダイアフラムを臨む視野から計算される。
うに黒体炉１１からの赤外線をチロツバ−１２で交流化
し、てテエワー１６の外に置いた室温のフィルター１３
を通して赤外線検出６１５に導く。赤外線検出器とダイ
アフラム１４Ｆｉ液体窒素のような冷媒で冷却されてい
る。この場合赤外線検出器は室温のチ冒ツバ−と黒体炉
からの赤外線輻射の差を検出する。またフォトンバック
グラウンドは赤外線検出器の分光感度特性と赤外線検出
器か冷却ダイアフラムを臨む視野から計算される。
この方法に扛次の問題点かある。（１）フォトンバック
グラウンドを計算する際赤外線検出器の分光感度特性を
広い波長範囲にわたっ１知る必畳かある。
グラウンドを計算する際赤外線検出器の分光感度特性を
広い波長範囲にわたっ１知る必畳かある。
（２）バックグラウンドの墓の設定はデーワー内の冷却
ダイアフラムの交換によって行われるため、バツクグラ
ウンドを食える毎にテユワーの真空を破る必要かある。
ダイアフラムの交換によって行われるため、バツクグラ
ウンドを食える毎にテユワーの真空を破る必要かある。
前者の問題点ａ第３囚の方法によって既に解決されてい
る。第２図と異方る点ａフィルタ一群１３か冷却され１
いることである。フィルターｌｖ：ａ狭帯域フィルター
を必す含む。狭帯域フィルターの透過窓か赤外線検出器
１５のカットオフ波長よシ短波長側に位置する限シ、フ
ォトンバックグラウンドは冷却フィルタ一群と冷却ダイ
アフラム１４の組合せ方から計算される。しかし依然と
し５″″ｔこの方法においてもバックグラウンドの量を
変えるにはダイアフラムとフィルタ一群の組合せ方法を
変える必要があシ、従っ１デユワ−の真空を破らなけれ
はならない。
る。第２図と異方る点ａフィルタ一群１３か冷却され１
いることである。フィルターｌｖ：ａ狭帯域フィルター
を必す含む。狭帯域フィルターの透過窓か赤外線検出器
１５のカットオフ波長よシ短波長側に位置する限シ、フ
ォトンバックグラウンドは冷却フィルタ一群と冷却ダイ
アフラム１４の組合せ方から計算される。しかし依然と
し５″″ｔこの方法においてもバックグラウンドの量を
変えるにはダイアフラムとフィルタ一群の組合せ方法を
変える必要があシ、従っ１デユワ−の真空を破らなけれ
はならない。
（従来技術の問題点）
上述のように７オトンバツクグラウンドを変える毎にテ
エワーσ・真空を破らなけれはならないということは赤
外線検出器の感度を評価する上で時間が非常にかかると
いう問題点を生せしめる。
エワーσ・真空を破らなけれはならないということは赤
外線検出器の感度を評価する上で時間が非常にかかると
いう問題点を生せしめる。
（発明の目的）
本発明の目的は赤外線検出器の感度を評価するにアタっ
てフォトンバックグラウンドのｉｔより短時間に変化さ
セる六めの装ｋを提供することにある。
てフォトンバックグラウンドのｉｔより短時間に変化さ
セる六めの装ｋを提供することにある。
（発明の構成）
本発明は温度可変の２つの黒体炉を赤外線の光源とし冷
却ダイアフラム、冷却フィルタ一群及び赤外線検出器を
有するデユワ−と２つの黒体炉の間にミラーチョッパー
を設けて、２つの黒体炉からのビームを赤外線検出器上
に周期的に切換えることによ多構成される。
却ダイアフラム、冷却フィルタ一群及び赤外線検出器を
有するデユワ−と２つの黒体炉の間にミラーチョッパー
を設けて、２つの黒体炉からのビームを赤外線検出器上
に周期的に切換えることによ多構成される。
（発明の作用・原理）
あ１図は本発明の赤外線検出器の評価装置の一実施例の
構成説明図である。本発明の赤外線検出器の評価装置ｈ
１温度可変の２つの黒体炉１及び２と１画然体炉からの
赤外線輻射を赤外線検出器６上に一定周期で切換えるミ
ラーチョッパー３と、赤外線検出器、冷却ダイアフラム
４及び冷却フィルター１１Ｐ５を有するテユワー７を偏
えている。ここで黒体炉１と２の温度は異なる。冷却フ
ィルタ一群は狭帯域フィルターを必す含むものとする。
構成説明図である。本発明の赤外線検出器の評価装置ｈ
１温度可変の２つの黒体炉１及び２と１画然体炉からの
赤外線輻射を赤外線検出器６上に一定周期で切換えるミ
ラーチョッパー３と、赤外線検出器、冷却ダイアフラム
４及び冷却フィルター１１Ｐ５を有するテユワー７を偏
えている。ここで黒体炉１と２の温度は異なる。冷却フ
ィルタ一群は狭帯域フィルターを必す含むものとする。
また赤外線検出器が冷却ダイアフラムを通して見る視野
り必す黒体炉のキャビティ内に入っている。
り必す黒体炉のキャビティ内に入っている。
この構成の赤外線検出器の評価装置の作用−原理を以下
に説明する。赤外線検出器り黒体炉ｌの赤外線輻射と黒
体炉２の赤外線輻射にミラーチ冒ツバ−の反射率を掛け
たもＣ・の差を検出する。赤外線検出器か冷却ダイアフ
ラムを通して見る視野ａ黒体炉のキャビティ内圧入って
いるので、赤外線検出器上に降ってくるフォトンバック
グラウンド及び交流化された赤外線輻射の＊ｔａ冷却ダ
イアフラム、冷却フィルタ一群と黒体炉の温度によって
決まる。黒体炉２の温度を黒体炉１の温度よシ低くし１
おくと、フォトンバックグラウンドの量は黒体炉２の温
度を食えることによって設定することができる。このこ
とによシバツクグラランドを変えるためにデユワ−の真
空を破る回数をかなシ減少させることが可能になる。
に説明する。赤外線検出器り黒体炉ｌの赤外線輻射と黒
体炉２の赤外線輻射にミラーチ冒ツバ−の反射率を掛け
たもＣ・の差を検出する。赤外線検出器か冷却ダイアフ
ラムを通して見る視野ａ黒体炉のキャビティ内圧入って
いるので、赤外線検出器上に降ってくるフォトンバック
グラウンド及び交流化された赤外線輻射の＊ｔａ冷却ダ
イアフラム、冷却フィルタ一群と黒体炉の温度によって
決まる。黒体炉２の温度を黒体炉１の温度よシ低くし１
おくと、フォトンバックグラウンドの量は黒体炉２の温
度を食えることによって設定することができる。このこ
とによシバツクグラランドを変えるためにデユワ−の真
空を破る回数をかなシ減少させることが可能になる。
（実施例）
実施例−１
第１図において赤外線検出器６として波長１２μｍにカ
ットオフ波長を持つＨｇ Ｃｄ ’１’ ｅ光電溝型素
子を狭帯域干渉フィルターとして中心波長１０．８８７
μｍ、波長幅・０．７４８μｍ、透過率８６チのものを
、またこのフィルターσ）リークをカットするために透
過″＄８７％のＢａｒ、のディスクを液体窒素温度に冷
却した。また直径３Ｈの冷却ダイアフラムと赤外線検出
器間の距離Ｆｉ５０ｍ＋１１で、これは口径比１６．７
の視野に対応する。検出器の感度の評価において黒体炉
ｌの温度を１２００°Ｋに固定し、一方黒体炉２の温度
は３００’に〜１０００’にの範囲に設定した。この条
件下で祉フォトンバックグラウンドは８ ｘ １０！３
〜２．５ ｘ １０” ｐｂｃＩＬ−” Ｓ−’ ｔＤ
範囲で設定可能である。この実施例では８Ｘ１０１”。
ットオフ波長を持つＨｇ Ｃｄ ’１’ ｅ光電溝型素
子を狭帯域干渉フィルターとして中心波長１０．８８７
μｍ、波長幅・０．７４８μｍ、透過率８６チのものを
、またこのフィルターσ）リークをカットするために透
過″＄８７％のＢａｒ、のディスクを液体窒素温度に冷
却した。また直径３Ｈの冷却ダイアフラムと赤外線検出
器間の距離Ｆｉ５０ｍ＋１１で、これは口径比１６．７
の視野に対応する。検出器の感度の評価において黒体炉
ｌの温度を１２００°Ｋに固定し、一方黒体炉２の温度
は３００’に〜１０００’にの範囲に設定した。この条
件下で祉フォトンバックグラウンドは８ ｘ １０！３
〜２．５ ｘ １０” ｐｂｃＩＬ−” Ｓ−’ ｔＤ
範囲で設定可能である。この実施例では８Ｘ１０１”。
２Ｘ１０１４，５Ｘ１０”、１０１！、２．５Ｘ１０１
”ｐｈｃｍ−”８−１の５つの異方るフォトンバックグ
ラウンドの下で真空を破らすに検出器の感度評価を行な
うことができた。これは評価時間を約２０％に短縮した
ことに相当する。
”ｐｈｃｍ−”８−１の５つの異方るフォトンバックグ
ラウンドの下で真空を破らすに検出器の感度評価を行な
うことができた。これは評価時間を約２０％に短縮した
ことに相当する。
実施例−２
以上は波長１０μｍ帯についての実施例でろったが、次
に波長３〜５μｍ帯での実施例を述べる。
に波長３〜５μｍ帯での実施例を述べる。
狭帯域干渉フィルターとじ１中心波長４．５８１μｍ。
波長幅０１８５μｍ、透過率８０チのものを液体窒素温
度に冷却した。赤外線検出器、ダイアフラム。
度に冷却した。赤外線検出器、ダイアフラム。
黒体炉につい１は上記の実施例と同じものを用いた。こ
の条件下でｈフォトンバックグラウンドは１．６×１０
”〜２．６ Ｘ １ ｏ”ｉ ｐｈｃｍ−意８−１ ノ
範囲テ設定可能である。この実施例で仁ｘ、６ｘｌＯ”
、５ｘ１０”、 １０１ｓ、 ２Ｘ１０１ｓ、 ５Ｘ
１０”、 １０１４゜５ ｘ １０”、 １０１５ｍ
２．６ ｘ １０”ｐｂｃｓｔ−１８−１の１０ケの異
なるフォトンバックグラウンドの下で真空を破らすに赤
外線検出器の感度評価を行うことができた。これは評価
時間を約１０％に短縮したことに相当する。
の条件下でｈフォトンバックグラウンドは１．６×１０
”〜２．６ Ｘ １ ｏ”ｉ ｐｈｃｍ−意８−１ ノ
範囲テ設定可能である。この実施例で仁ｘ、６ｘｌＯ”
、５ｘ１０”、 １０１ｓ、 ２Ｘ１０１ｓ、 ５Ｘ
１０”、 １０１４゜５ ｘ １０”、 １０１５ｍ
２．６ ｘ １０”ｐｂｃｓｔ−１８−１の１０ケの異
なるフォトンバックグラウンドの下で真空を破らすに赤
外線検出器の感度評価を行うことができた。これは評価
時間を約１０％に短縮したことに相当する。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれは温度可変の黒体炉２
つ、画然休炉からのビームを赤外線検出器に周期的に切
換えるミラーチ冒ツバ−及び冷却ダイアフラム、冷却フ
ィルタ一群と赤外線検出器を納めるデユワ−を備えてい
るので、デユワ−の真空を破ることなしｋよシ短い時間
で広い範囲の７オトンバツクグラウンドでの赤外線検出
器の感度評価を行うことか可能となる。
つ、画然休炉からのビームを赤外線検出器に周期的に切
換えるミラーチ冒ツバ−及び冷却ダイアフラム、冷却フ
ィルタ一群と赤外線検出器を納めるデユワ−を備えてい
るので、デユワ−の真空を破ることなしｋよシ短い時間
で広い範囲の７オトンバツクグラウンドでの赤外線検出
器の感度評価を行うことか可能となる。
第１図り本発明の動作・原理を説明するための本発明の
一実施例赤外線の構成説明図、第２図及び第３図は従来
の赤外線検出器の評価装置の構成説明図である。 １．２・・・・・・黒体炉、３・・・・・・ミラーチ冒
ツバ−１４・・・・・・冷却ダイアフラム、５・・・・
・・冷却フィルタ一群、６・・・・・・赤外線検出器、
７・・・・・・デエワー、１１・・・・・・黒体炉、１
２・・・・・・チョッパー、１３・・・・・・フィルタ
ー、１４・・・・・・ダイアフラム、１５・・・・・・
赤外線検出器、１６・・・・・・デエワー。 代理人 弁理士 内 原 、晋 。 −一゛
一実施例赤外線の構成説明図、第２図及び第３図は従来
の赤外線検出器の評価装置の構成説明図である。 １．２・・・・・・黒体炉、３・・・・・・ミラーチ冒
ツバ−１４・・・・・・冷却ダイアフラム、５・・・・
・・冷却フィルタ一群、６・・・・・・赤外線検出器、
７・・・・・・デエワー、１１・・・・・・黒体炉、１
２・・・・・・チョッパー、１３・・・・・・フィルタ
ー、１４・・・・・・ダイアフラム、１５・・・・・・
赤外線検出器、１６・・・・・・デエワー。 代理人 弁理士 内 原 、晋 。 −一゛
Claims (1)
- 赤外線の光源である温度可変の２つの黒体炉と、赤外線
検出器、フィルター及びダイアフラムを収納冷却するデ
ュワーと、前記２つの黒体炉からのビームを赤外線検出
器に周期的に切換えるミラーチョッパーとを含むことを
特徴とする赤外線検出器の評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148614A JPS629237A (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | 赤外線検出器の評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148614A JPS629237A (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | 赤外線検出器の評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629237A true JPS629237A (ja) | 1987-01-17 |
Family
ID=15456719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60148614A Pending JPS629237A (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | 赤外線検出器の評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS629237A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11281509A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
| CN103743489A (zh) * | 2014-01-01 | 2014-04-23 | 西安应用光学研究所 | 基于标准面源黑体的红外辐射计标定方法 |
| KR20210013917A (ko) * | 2019-07-29 | 2021-02-08 | 고려대학교 산학협력단 | 복사냉각 성능 측정장치 |
-
1985
- 1985-07-05 JP JP60148614A patent/JPS629237A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11281509A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
| CN103743489A (zh) * | 2014-01-01 | 2014-04-23 | 西安应用光学研究所 | 基于标准面源黑体的红外辐射计标定方法 |
| KR20210013917A (ko) * | 2019-07-29 | 2021-02-08 | 고려대학교 산학협력단 | 복사냉각 성능 측정장치 |
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