JPS629269A - 超音波検査用の液槽 - Google Patents
超音波検査用の液槽Info
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- JPS629269A JPS629269A JP14838085A JP14838085A JPS629269A JP S629269 A JPS629269 A JP S629269A JP 14838085 A JP14838085 A JP 14838085A JP 14838085 A JP14838085 A JP 14838085A JP S629269 A JPS629269 A JP S629269A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は超音波を利用して被検体を探傷する場合に使用
される液槽に関する。゛ 〔発明の背景］ 超音波を利用して工業製品、工業材料の欠陥を探傷する
方法°には各種の方法があるが、被検体の種類、形状９
寸法１表面あらさのほか欠陥の推定位置９寸法、形状９
種類等によりそれぞれ使い分けられている。各種探傷方
法のうちもっとも広く使われているのはパルス反射法で
あるが１本方法は直接接触法と液浸法に分類されいずれ
の方法も特徴を有し古くから普及している。直接接触法
は被検体の探傷面に油などの接触媒質を介して直接探触
子を当接して探傷する方法で、きわめて容易にかつリア
ルタイムに探傷できる大きな利点を有するが、探傷面の
あらさおよび接触媒質の厚さ。
される液槽に関する。゛ 〔発明の背景］ 超音波を利用して工業製品、工業材料の欠陥を探傷する
方法°には各種の方法があるが、被検体の種類、形状９
寸法１表面あらさのほか欠陥の推定位置９寸法、形状９
種類等によりそれぞれ使い分けられている。各種探傷方
法のうちもっとも広く使われているのはパルス反射法で
あるが１本方法は直接接触法と液浸法に分類されいずれ
の方法も特徴を有し古くから普及している。直接接触法
は被検体の探傷面に油などの接触媒質を介して直接探触
子を当接して探傷する方法で、きわめて容易にかつリア
ルタイムに探傷できる大きな利点を有するが、探傷面の
あらさおよび接触媒質の厚さ。
種類等により超音波の送受の能率が変動し、反射波の波
形が変動するなどの影響を受けるだけでなく、探触子の
当接の仕方によっても前記影響を受ける。このためかか
る場合には精度のよい探傷を要求しないか、精度を要求
する場合には探傷面を加工してあらさを減することが必
要となる。直接接触法のこのような短所を解消する方法
として液浸法（通常は液体に水が使用されるのでほとん
ど水浸法）が使用される。液浸法は被検体および探触子
を液中に浸漬する一般的な方法のほか、被検体の被検箇
所と探触子との間だけを局部的に液で満たす局部液浸法
があり、被検体および探触子を浸漬する液は水のほか油
、フレオン、トリクレン。
形が変動するなどの影響を受けるだけでなく、探触子の
当接の仕方によっても前記影響を受ける。このためかか
る場合には精度のよい探傷を要求しないか、精度を要求
する場合には探傷面を加工してあらさを減することが必
要となる。直接接触法のこのような短所を解消する方法
として液浸法（通常は液体に水が使用されるのでほとん
ど水浸法）が使用される。液浸法は被検体および探触子
を液中に浸漬する一般的な方法のほか、被検体の被検箇
所と探触子との間だけを局部的に液で満たす局部液浸法
があり、被検体および探触子を浸漬する液は水のほか油
、フレオン、トリクレン。
メタノール等が使用される。液浸法においては被検体と
探触子が直接接触しないから超音波の送受が安定して行
われ、前記直接接触法における不具合点が解消され自動
探傷の目的にも広く用いられている。
探触子が直接接触しないから超音波の送受が安定して行
われ、前記直接接触法における不具合点が解消され自動
探傷の目的にも広く用いられている。
しかし被検体には電子部品や精密機械部品などのように
液の侵入２発錆、汚染などを防止しなければならない種
類のものも数多くあり、これらの被検体に対しては通常
使用されている水浸法は。
液の侵入２発錆、汚染などを防止しなければならない種
類のものも数多くあり、これらの被検体に対しては通常
使用されている水浸法は。
探傷後に被検体に対する前記悪影響を除去する処理が必
要になりそのまま使用できない不具合点がある。このた
め水浸法による前記不具合点を排除する液浸法として液
体にプレオンやトリクレンを使用する方法も一部実用に
供されているが、これらの液体は被検体に発錆や汚染な
どの悪影響は与えないものの、該液体内における超音波
の減衰が大きくそれだけ探傷の精度が低下し実用上の大
きな問題点を有する。
要になりそのまま使用できない不具合点がある。このた
め水浸法による前記不具合点を排除する液浸法として液
体にプレオンやトリクレンを使用する方法も一部実用に
供されているが、これらの液体は被検体に発錆や汚染な
どの悪影響は与えないものの、該液体内における超音波
の減衰が大きくそれだけ探傷の精度が低下し実用上の大
きな問題点を有する。
本発明は上記従来技術の°問題点を解消し、被検体の種
類、形状９寸法９表面あらさ等により影響を受けること
なく、かつ被検体に液の侵入２発錆。
類、形状９寸法９表面あらさ等により影響を受けること
なく、かつ被検体に液の侵入２発錆。
汚染などの悪影響を与えることなく、容易に精度よく、
しかもリアルタイムに探傷することができる超音波検査
用の液槽を提供することを目的とする。
しかもリアルタイムに探傷することができる超音波検査
用の液槽を提供することを目的とする。
本発明は超音波検査用の液槽において、液槽の底面が、
液槽内の液体の音響インピーダンスと同一ないし近似す
る値を有し、かつ任意の凹凸面形状に変形可能に、たる
みを有する状態で周辺を液槽外周に固着した膜で形成さ
れることにより、液槽の底面を液槽外に設置された被検
体の探傷面に当接して探傷することを可能にし、被検体
の種類。
液槽内の液体の音響インピーダンスと同一ないし近似す
る値を有し、かつ任意の凹凸面形状に変形可能に、たる
みを有する状態で周辺を液槽外周に固着した膜で形成さ
れることにより、液槽の底面を液槽外に設置された被検
体の探傷面に当接して探傷することを可能にし、被検体
の種類。
形状９寸法等に影響を受けることなく、かつ被検体に発
錆などの悪影響を与えることなく、容易に精度よくしか
もリアルタイムに探傷することができる超音波検査用の
液槽である。
錆などの悪影響を与えることなく、容易に精度よくしか
もリアルタイムに探傷することができる超音波検査用の
液槽である。
本発明の１実施例を図面により説明する。１は液槽Ａの
周壁で、その形状および寸法は被検体４および探触子５
の種類、形状７寸法等により任意に決められる。液槽Ａ
の底面は膜２で形成される。
周壁で、その形状および寸法は被検体４および探触子５
の種類、形状７寸法等により任意に決められる。液槽Ａ
の底面は膜２で形成される。
［２は液槽Ａの寸法や膜２の外面が当接される被検体４
の探傷面の形状および表面あらさにより異なるが、非常
に薄い膜厚例えば数ミクロンから数十ミクロンのものが
使用される。液槽Ａの寸法が大きい場合は液槽Ａ内の液
３の自重が大きくその自重を支えるための強度を必要と
するため、膜厚は比較的厚い数十ミクロンないしＯ，ｌ
ａｕ程度までのものになり、反対に液槽Ａの寸法が小さ
い場合は強度上膜厚は薄くてよい。一方被検体４の探傷
面の形状の凹凸が大きい場合や隅角部の探傷、あるいは
表面あらさがあらい場合は、膜厚が比較的厚い数十ミク
ロンないし０．１ａｍ程度まででもその探傷面の形状に
なじみ密着しやすいが、表面あらさが小さい場合には膜
厚を薄くした方があらさになじみ密着しやすくなる。膜
２は液槽Ａ内の液３が漏出しないように周辺が液槽Ａの
周囲に固着されるが、その除膜２が被検体４の探傷面の
任意の凹凸面形状に変形して密着できるようにたるみを
もたせて固着される。したがって液槽Ａ内に液３を入れ
た状態では膜２はたるみ分だけ下方に膨らんでおり、そ
の状態で被検体４の探傷面を膨らんだ膜２の外面から上
方に突き上げるようにして当接させるか、または液槽Ａ
の外側に設置されている被検体４の探傷面上にゆるやか
に降下させて当接すると１図に示すように探傷面に密着
した状態となる。−膜２を液槽Ａに固着する構成として
図に示すように周壁１の下端にフランジｌａを設け、フ
ランジｌａの下側に液槽Ａの高さを調節するアジャスタ
６を設けた台７との間に膜２の周辺を挟着する場合を示
したが、周壁１の内周または外周に取り付ける構成とし
てもよい。前記した膜２のたるみ量は被検体４の探傷面
の凹凸の大小により適宜法められる。膜２の材質は液３
の音響インピーダンスと同一ないし近似する値を有し、
かつ前記膜厚で液３の自重に耐える強度を有するものが
使用される。例えば液３が水の場合にはポリエチレンネ
オプレンゴム、シリコンゴム等の膜が使用される。
の探傷面の形状および表面あらさにより異なるが、非常
に薄い膜厚例えば数ミクロンから数十ミクロンのものが
使用される。液槽Ａの寸法が大きい場合は液槽Ａ内の液
３の自重が大きくその自重を支えるための強度を必要と
するため、膜厚は比較的厚い数十ミクロンないしＯ，ｌ
ａｕ程度までのものになり、反対に液槽Ａの寸法が小さ
い場合は強度上膜厚は薄くてよい。一方被検体４の探傷
面の形状の凹凸が大きい場合や隅角部の探傷、あるいは
表面あらさがあらい場合は、膜厚が比較的厚い数十ミク
ロンないし０．１ａｍ程度まででもその探傷面の形状に
なじみ密着しやすいが、表面あらさが小さい場合には膜
厚を薄くした方があらさになじみ密着しやすくなる。膜
２は液槽Ａ内の液３が漏出しないように周辺が液槽Ａの
周囲に固着されるが、その除膜２が被検体４の探傷面の
任意の凹凸面形状に変形して密着できるようにたるみを
もたせて固着される。したがって液槽Ａ内に液３を入れ
た状態では膜２はたるみ分だけ下方に膨らんでおり、そ
の状態で被検体４の探傷面を膨らんだ膜２の外面から上
方に突き上げるようにして当接させるか、または液槽Ａ
の外側に設置されている被検体４の探傷面上にゆるやか
に降下させて当接すると１図に示すように探傷面に密着
した状態となる。−膜２を液槽Ａに固着する構成として
図に示すように周壁１の下端にフランジｌａを設け、フ
ランジｌａの下側に液槽Ａの高さを調節するアジャスタ
６を設けた台７との間に膜２の周辺を挟着する場合を示
したが、周壁１の内周または外周に取り付ける構成とし
てもよい。前記した膜２のたるみ量は被検体４の探傷面
の凹凸の大小により適宜法められる。膜２の材質は液３
の音響インピーダンスと同一ないし近似する値を有し、
かつ前記膜厚で液３の自重に耐える強度を有するものが
使用される。例えば液３が水の場合にはポリエチレンネ
オプレンゴム、シリコンゴム等の膜が使用される。
前記した構成の液槽Ａにおいて、液３内に浸漬された探
触子５より液槽Ａの外部にセットされた被検体４の探傷
面に超音波を発射すると、液槽Ａの底面を形成している
膜２が前記探傷面の形状になじみ密着しており、かつ液
３と膜２の音響インピーダンスが同一ないし近似する値
を有するから。
触子５より液槽Ａの外部にセットされた被検体４の探傷
面に超音波を発射すると、液槽Ａの底面を形成している
膜２が前記探傷面の形状になじみ密着しており、かつ液
３と膜２の音響インピーダンスが同一ないし近似する値
を有するから。
発射された超音波ビーム８はあたかも膜２が存在しない
かのように膜２における反射および透過による減衰がき
わめて少なく、はとんどそのまま被検体４内に入射され
、被検体４からの反射波も同様にほとんどそのまま探触
子５に受信される。これは被検体４が液槽Ａの外にセッ
トされながらあたかも液３に浸漬されて探傷するかのよ
うな状態であり、従来の液浸法における被検体４が液３
内に浸漬されるために発生する液３の侵入９発錆。
かのように膜２における反射および透過による減衰がき
わめて少なく、はとんどそのまま被検体４内に入射され
、被検体４からの反射波も同様にほとんどそのまま探触
子５に受信される。これは被検体４が液槽Ａの外にセッ
トされながらあたかも液３に浸漬されて探傷するかのよ
うな状態であり、従来の液浸法における被検体４が液３
内に浸漬されるために発生する液３の侵入９発錆。
汚染などの悪影響や、その悪影響を除去するための処理
工程などを完全に排除するとともに従来のｔ 液浸法
と同様に表面あらさなどの影響を受けることなく精度よ
く探傷することができる。また使用する液は通常使用さ
れている水がもっとも安価で入手しやすいが、水に限定
されることはなく比重の小さい油、アセトン、アルコー
ルなどを使用すれば膜２の厚さをそれだけ減することが
できる。
工程などを完全に排除するとともに従来のｔ 液浸法
と同様に表面あらさなどの影響を受けることなく精度よ
く探傷することができる。また使用する液は通常使用さ
れている水がもっとも安価で入手しやすいが、水に限定
されることはなく比重の小さい油、アセトン、アルコー
ルなどを使用すれば膜２の厚さをそれだけ減することが
できる。
なお被検体４のセットはその探傷面が膜２とできるだけ
密着する必要があり、そのため台７に設けたアジャスタ
６を操作して液３の自重が膜２を介して探傷面に十分伝
わるように液槽Ａの高さを調節する。また前記探傷面と
膜２との密着状態を促進するため探傷面に水、油、グリ
セリンなどのカップリング材を塗布する。
密着する必要があり、そのため台７に設けたアジャスタ
６を操作して液３の自重が膜２を介して探傷面に十分伝
わるように液槽Ａの高さを調節する。また前記探傷面と
膜２との密着状態を促進するため探傷面に水、油、グリ
セリンなどのカップリング材を塗布する。
探傷の方法は従来の液浸法と同様に被検体４の探傷面に
超音波を入射し、その全域を探傷する場合には探触子５
を走査して行うほか、液槽Ａおよび被検体４を載置した
基台９を探触子５に対して移動させて走査することも可
能であり、被検体４が液槽Ａの外に置かれている構成の
ため被検体の種類、形状２寸法などに制限を受けること
なく直接接触法に準する容易さで探傷することができ。
超音波を入射し、その全域を探傷する場合には探触子５
を走査して行うほか、液槽Ａおよび被検体４を載置した
基台９を探触子５に対して移動させて走査することも可
能であり、被検体４が液槽Ａの外に置かれている構成の
ため被検体の種類、形状２寸法などに制限を受けること
なく直接接触法に準する容易さで探傷することができ。
また液槽は自由に持ち運び可能に製作できるからリアル
タイムに探傷することができる。
タイムに探傷することができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明の、超音波検査用の液槽は、
液槽の底面が、液槽内の液体の音響インピーダンスと同
一ないし近似する値を有し、かつ任意の凹凸面形状に変
形可能にたるみを有する状態で周辺を液槽外周に固着し
た膜で形成されたから、液槽の底面を液槽外に設置され
た被検体の探傷面に当接して探傷することを可能にし、
被検体の種類、形状２寸法２表面あらさ等に影響を受け
ることなく、かつ被検体に液の侵入１発錆、汚染等の悪
影響を与えることなく、容易に精度よく、しかもリアル
タイムに探傷することができる優れた実用上の効果を有
する。
液槽の底面が、液槽内の液体の音響インピーダンスと同
一ないし近似する値を有し、かつ任意の凹凸面形状に変
形可能にたるみを有する状態で周辺を液槽外周に固着し
た膜で形成されたから、液槽の底面を液槽外に設置され
た被検体の探傷面に当接して探傷することを可能にし、
被検体の種類、形状２寸法２表面あらさ等に影響を受け
ることなく、かつ被検体に液の侵入１発錆、汚染等の悪
影響を与えることなく、容易に精度よく、しかもリアル
タイムに探傷することができる優れた実用上の効果を有
する。
図は本発明の超音波検査用の液槽の１実施例を示す側断
面図・である。 １・・・周壁、２・・・膜、３・・・液、４・・・被検
体、５・・・探触子、６・・・アジャスタ、７・・・台
、８・・・超音波ビーム、９・・・基台、Ａ・・・液槽
。
面図・である。 １・・・周壁、２・・・膜、３・・・液、４・・・被検
体、５・・・探触子、６・・・アジャスタ、７・・・台
、８・・・超音波ビーム、９・・・基台、Ａ・・・液槽
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、内部に浸漬用の液体が入れられ該液体に探触子を浸
漬させる超音波検査用の液槽において、液槽の底面が、
液槽内の液体の音響インピーダンスと同一ないし近似す
る値を有し、かつ任意の凹凸面形状に変形可能に、たる
みを有する状態で周辺を液槽外周に固着した膜で形成さ
れていることを特徴とする超音波検査用液槽。 ２、液槽の底面が、液槽外に設置された被検体の探傷面
に当接されている状態で、液槽外より液槽を上下方向に
変位調整可能に構成したことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の超音波検査用液槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14838085A JPS629269A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 超音波検査用の液槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14838085A JPS629269A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 超音波検査用の液槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629269A true JPS629269A (ja) | 1987-01-17 |
Family
ID=15451468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14838085A Pending JPS629269A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 超音波検査用の液槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS629269A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011227018A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Hitachi Cable Ltd | 半導体単結晶中の欠陥検査方法 |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP14838085A patent/JPS629269A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011227018A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Hitachi Cable Ltd | 半導体単結晶中の欠陥検査方法 |
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