JPS6294552U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6294552U JPS6294552U JP18764985U JP18764985U JPS6294552U JP S6294552 U JPS6294552 U JP S6294552U JP 18764985 U JP18764985 U JP 18764985U JP 18764985 U JP18764985 U JP 18764985U JP S6294552 U JPS6294552 U JP S6294552U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- ion pump
- power supply
- air cooling
- sputtering ion
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例のブロツク図である。
３……空冷フアン、４……スイツチ、５……電
磁コイル、６……昇圧トランス、９……抵抗。
磁コイル、６……昇圧トランス、９……抵抗。
Claims (1)
- スパツタイオンポンプに電流を供給するととも
に、電源本体を冷却する空冷用フアンを具えてい
る電源装置において、スパツタイオンポンプに電
流を供給している間、前記空冷用フアンを作動さ
せるフアン駆動回路と、スパツタイオンポンプに
供給される電流を検出する電流検出回路とを具え
、この電流検出回路は前記電流が所定値以下のと
きフアン駆動回路の作動を停止させるようになつ
ていることを特徴とするスパツタイオンポンプ用
電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18764985U JPH0322847Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18764985U JPH0322847Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294552U true JPS6294552U (ja) | 1987-06-16 |
| JPH0322847Y2 JPH0322847Y2 (ja) | 1991-05-17 |
Family
ID=31138301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18764985U Expired JPH0322847Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322847Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP18764985U patent/JPH0322847Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322847Y2 (ja) | 1991-05-17 |