JPS6295429A - 光スペクトラムアナライザ - Google Patents
光スペクトラムアナライザInfo
- Publication number
- JPS6295429A JPS6295429A JP23612285A JP23612285A JPS6295429A JP S6295429 A JPS6295429 A JP S6295429A JP 23612285 A JP23612285 A JP 23612285A JP 23612285 A JP23612285 A JP 23612285A JP S6295429 A JPS6295429 A JP S6295429A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- chopper
- optical path
- diffracted light
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、光スペクトラムアナライザに関する。
（ロ）従来技術とその間層点
一般に、発光素子の波長特性などを測定する場合に光ス
ペクトラムアナライザが使用される。従来の光スペクト
ラムアナライザには、入射光を分光器に設けられた回折
格子で特定波長の光に回折し、この回折光を光学フィル
タを透過させた後、光検出器で検出するように構成した
ちのかある。
ペクトラムアナライザが使用される。従来の光スペクト
ラムアナライザには、入射光を分光器に設けられた回折
格子で特定波長の光に回折し、この回折光を光学フィル
タを透過させた後、光検出器で検出するように構成した
ちのかある。
ところで、いま、回折格子の格子定数をｄ、回折格子に
対する光の入射角をα、反射角をβ、回折光波長をλと
すると、 ｍλ＝ｄ（ｓｉｎα＋ ｓｉｎβ） ここに、ｍは回折の次数（０、±１、±２、・・・・）
であり、ｍ＝０は直接像、ｍ−±１．ｍ−±２、・・・
・・・はそれぞれ１次、２次、・・・・の各回折光であ
る。
対する光の入射角をα、反射角をβ、回折光波長をλと
すると、 ｍλ＝ｄ（ｓｉｎα＋ ｓｉｎβ） ここに、ｍは回折の次数（０、±１、±２、・・・・）
であり、ｍ＝０は直接像、ｍ−±１．ｍ−±２、・・・
・・・はそれぞれ１次、２次、・・・・の各回折光であ
る。
上式から分かるように、一つの入射角αに対して反射角
βの方向に次数の異なる波長の光が回折する。そこで、
従来のものでは、ある一つの次数の回折光のみを透過す
る光学フィルタを光検出器の前段に設け、光学フィルタ
を透過した回折光を光検出器で検出することで、一つの
次数の回折光波長範囲のスペクトラム測定を行なってい
る。このため、従来は、一度の波長走査においては一つ
の次数の回折光波長範囲のスペクトラムしか測定するこ
とができず、したがって、各次数ごとの回折光波長範囲
のスペクトラムを測定する場合には、波長走査を何度ら
繰り返すことが必要となり、測足操作が煩雑となる。
βの方向に次数の異なる波長の光が回折する。そこで、
従来のものでは、ある一つの次数の回折光のみを透過す
る光学フィルタを光検出器の前段に設け、光学フィルタ
を透過した回折光を光検出器で検出することで、一つの
次数の回折光波長範囲のスペクトラム測定を行なってい
る。このため、従来は、一度の波長走査においては一つ
の次数の回折光波長範囲のスペクトラムしか測定するこ
とができず、したがって、各次数ごとの回折光波長範囲
のスペクトラムを測定する場合には、波長走査を何度ら
繰り返すことが必要となり、測足操作が煩雑となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、分光器の一度の波長走査によって少なくとも２つの
次数の回折光波長範囲のスペクトラムを同時に測定でき
るようにすることを目的とする。
て、分光器の一度の波長走査によって少なくとも２つの
次数の回折光波長範囲のスペクトラムを同時に測定でき
るようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段
本発明は、上記の目的を達成するために、回折格子を備
えた分光器からの出射光路上に全反射ミラーで構成され
たチョッパを配置し、このチョッパの光通過位置および
光反射位置に、互いに波長透過特性の異なる光学フィル
タと、各光学フィルタを透過した特定波長範囲の光を検
出する光検出器とをそれぞれ設けて光スペクトラムアナ
ライザを構成している。
えた分光器からの出射光路上に全反射ミラーで構成され
たチョッパを配置し、このチョッパの光通過位置および
光反射位置に、互いに波長透過特性の異なる光学フィル
タと、各光学フィルタを透過した特定波長範囲の光を検
出する光検出器とをそれぞれ設けて光スペクトラムアナ
ライザを構成している。
（ニ）作用
本発明の光スペクトラムアナライザでは、光ファイバ等
によって導かれた入射光を分光器の回折格子で特定波長
の光に回折し、この回折光をチョッパに向けて出射する
。この光はチョッパでチョッピングされながら通過光と
反射光とに交互に光路が切り換えられる。通過光は透過
光路上に配置された光学フィルタにより一つの次数の回
折光波長範囲の光のみが透過され、また、反射光は反射
光路上に配置された光学フィルタにより他の次数の回折
光波長範囲の光のみが透過される。そして、各光学フィ
ルタを透過した光は、光学フィルタを透過した回折光波
長範囲に適合させた波長感度特性を有する光検出器で検
出される。したかって、一度の波長走査で、少なくとも
２つの次数の回折光波長範囲のスペクトラムを同時に測
定することができる。
によって導かれた入射光を分光器の回折格子で特定波長
の光に回折し、この回折光をチョッパに向けて出射する
。この光はチョッパでチョッピングされながら通過光と
反射光とに交互に光路が切り換えられる。通過光は透過
光路上に配置された光学フィルタにより一つの次数の回
折光波長範囲の光のみが透過され、また、反射光は反射
光路上に配置された光学フィルタにより他の次数の回折
光波長範囲の光のみが透過される。そして、各光学フィ
ルタを透過した光は、光学フィルタを透過した回折光波
長範囲に適合させた波長感度特性を有する光検出器で検
出される。したかって、一度の波長走査で、少なくとも
２つの次数の回折光波長範囲のスペクトラムを同時に測
定することができる。
（ホ）実施例
第１図は、本発明の実施例に係る光スペクトラムアナラ
イザの構成図である。同図において、符号ｌは光スペク
トラムアナライザ、２は公知のツエルニターナ型の分光
器である。すなわち、この分光器２は、回折格子４．２
つの凹面鏡６．８、入口スリットＩＯおよび出口スリッ
ト１２を備えてなる。１４は分光器２の出口スリット１
２からの出射光路Ｃ」二に配置されたチョッパであって
、このチョッパ１４は半円状の全反射ミラーを光出射光
路Ｃに対して４５°の角度で配置して構成される。そし
て、このチョッパ１４が高速回転されることにより、分
光器２からの出射光がチョッピングされなから通過光と
反射光とに交互に光路が切り換えられる。１６はチョッ
パ１４の光通過位置に配置された第１光学フイルタで、
この第１光学フイルタＩ６は、−次回折光の波長範囲の
光のみを透過させる。また、１８はチョッパ１４の光反
射位置に配置された第２光学フイルタで、この第２光学
フイルタ１８は、二次回折光の波長範囲の光のみを透過
させる。２０は第１光学フイルタ１６を透過した光を検
出する第１光検出器、２２はこの第１光検出器２０から
出力される光検出信号を増幅する増幅器、２４は増幅器
２２を通った光検出信号を同期検波する第１同期検波器
、２６は第１同期検波器２４の出力端である。また、２
８は第２光学フイルタ１８を透過した光を検出する第２
光検出器、３０はこの第２光検出器２８から出力される
光検出信号を反転増幅する反転増幅器、３２は反転増幅
器３０を通った光検出信号を同期検波する第２同期検波
器、３４は第２同期検波器３２の出力端である。
イザの構成図である。同図において、符号ｌは光スペク
トラムアナライザ、２は公知のツエルニターナ型の分光
器である。すなわち、この分光器２は、回折格子４．２
つの凹面鏡６．８、入口スリットＩＯおよび出口スリッ
ト１２を備えてなる。１４は分光器２の出口スリット１
２からの出射光路Ｃ」二に配置されたチョッパであって
、このチョッパ１４は半円状の全反射ミラーを光出射光
路Ｃに対して４５°の角度で配置して構成される。そし
て、このチョッパ１４が高速回転されることにより、分
光器２からの出射光がチョッピングされなから通過光と
反射光とに交互に光路が切り換えられる。１６はチョッ
パ１４の光通過位置に配置された第１光学フイルタで、
この第１光学フイルタＩ６は、−次回折光の波長範囲の
光のみを透過させる。また、１８はチョッパ１４の光反
射位置に配置された第２光学フイルタで、この第２光学
フイルタ１８は、二次回折光の波長範囲の光のみを透過
させる。２０は第１光学フイルタ１６を透過した光を検
出する第１光検出器、２２はこの第１光検出器２０から
出力される光検出信号を増幅する増幅器、２４は増幅器
２２を通った光検出信号を同期検波する第１同期検波器
、２６は第１同期検波器２４の出力端である。また、２
８は第２光学フイルタ１８を透過した光を検出する第２
光検出器、３０はこの第２光検出器２８から出力される
光検出信号を反転増幅する反転増幅器、３２は反転増幅
器３０を通った光検出信号を同期検波する第２同期検波
器、３４は第２同期検波器３２の出力端である。
上記構成の光スペクトラムアナライザｌにおいて、入ロ
スリッｌ−１０からの入射光は、凹面鏡６で反射されて
平行光となり回折格子４に入射する。
スリッｌ−１０からの入射光は、凹面鏡６で反射されて
平行光となり回折格子４に入射する。
入射した光は回折格子４によって回折され、その回折光
か凹面鏡８で反射されて出口スリット１２に結像される
。回折格子４で回折された光には、−次光から多次光ま
での光が含まれている。いま、第２図に示すように、回
折格子４を角度θ１からθ、まで回転したとき、−次回
折光が波長λ１から２λ１まで走査されるとすれば、二
次回折光の波長走査範囲はえ、／２からλ１となる。
か凹面鏡８で反射されて出口スリット１２に結像される
。回折格子４で回折された光には、−次光から多次光ま
での光が含まれている。いま、第２図に示すように、回
折格子４を角度θ１からθ、まで回転したとき、−次回
折光が波長λ１から２λ１まで走査されるとすれば、二
次回折光の波長走査範囲はえ、／２からλ１となる。
出口スリットＩ２からの出射光は、チョッパ１４で通過
光と反射光とに交互に光路が切り換えられる。チョッパ
１４を通過した光は、第１光学フイルタ［６によって一
次回折光の波長範囲の光のみが透過されて第１光検出器
２０に受光される。また、チョッパ１４で反射された光
は、第２光学フイルタ１８によって二次回折光の波長範
囲の光のみが透過されて第２光検出器２８に受光される
。したがって、チョッパ１４の光路切換周期をＴとすれ
ば、第１１第２光検出器２０．２８からは、第３図に示
すように、共に一定周期Ｔで位相が１８０度異なる交流
化された光検出信号Ｓ１、Ｓ２がそれぞれ出力される。
光と反射光とに交互に光路が切り換えられる。チョッパ
１４を通過した光は、第１光学フイルタ［６によって一
次回折光の波長範囲の光のみが透過されて第１光検出器
２０に受光される。また、チョッパ１４で反射された光
は、第２光学フイルタ１８によって二次回折光の波長範
囲の光のみが透過されて第２光検出器２８に受光される
。したがって、チョッパ１４の光路切換周期をＴとすれ
ば、第１１第２光検出器２０．２８からは、第３図に示
すように、共に一定周期Ｔで位相が１８０度異なる交流
化された光検出信号Ｓ１、Ｓ２がそれぞれ出力される。
第１光検出器２０からの光検出信号Ｓ、は、増幅器２２
で増幅された後、第１同期検波器２４で同期検波されて
出力される。また、第２光検出器２８からの光検出信号
Ｓ、は、反転増幅器３０で位相が１８０度反転して増幅
された後、第２同期検波器３２で同期検波されて出ツノ
される。
で増幅された後、第１同期検波器２４で同期検波されて
出力される。また、第２光検出器２８からの光検出信号
Ｓ、は、反転増幅器３０で位相が１８０度反転して増幅
された後、第２同期検波器３２で同期検波されて出ツノ
される。
したがって、一度の波長走査で、−次回折光と二次回折
光の２つの次数の回折光波長範囲のスペクトラムを同時
に測定することができることになる。
光の２つの次数の回折光波長範囲のスペクトラムを同時
に測定することができることになる。
なお、第１１第２同期検波器２４．３２および反転増幅
器３０は同調増幅器で置換可能である。
器３０は同調増幅器で置換可能である。
（ホ）効果
以上のように本発明によれば、一度の波長走査で少なく
とも２つの次数の回折光波長範囲のスペクトラムの同時
測定が可能となる。しかも、全反射ミラーで構成された
チョッパを使用して光路を切り換えているので、チョッ
パで光をチョッピングすることで光信号が交流化され、
Ｓ／Ｎ比が向上するとともに、光検出器に発生する暗７
ＭＬｔ＆と増幅器による温度ドリフトの影響も除去する
ことができる等の優れた効果が発揮される。
とも２つの次数の回折光波長範囲のスペクトラムの同時
測定が可能となる。しかも、全反射ミラーで構成された
チョッパを使用して光路を切り換えているので、チョッ
パで光をチョッピングすることで光信号が交流化され、
Ｓ／Ｎ比が向上するとともに、光検出器に発生する暗７
ＭＬｔ＆と増幅器による温度ドリフトの影響も除去する
ことができる等の優れた効果が発揮される。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は光スペ
クトラムアナライザの構成図、第２図は光検出器から出
力される光検出信号の出力波形図、第３図はスペクトラ
ム測定時の回折光の測定波長範囲を示す説明図である。 ｌ・・・光スペクトラムアナライザ、２・・分光器、４
・・・回折格子、
クトラムアナライザの構成図、第２図は光検出器から出
力される光検出信号の出力波形図、第３図はスペクトラ
ム測定時の回折光の測定波長範囲を示す説明図である。 ｌ・・・光スペクトラムアナライザ、２・・分光器、４
・・・回折格子、
Claims (1)
- （１）回折格子を備えた分光器からの出射光路上に全反
射ミラーで構成されたチョッパを配置し、このチョッパ
の光通過位置および光反射位置に、互いに波長透過特性
の異なる光学フィルタと、各光学フィルタを透過した特
定波長範囲の光を検出する光検出器とをそれぞれ設けた
ことを特徴とする光スペクトラムアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23612285A JPS6295429A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23612285A JPS6295429A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 光スペクトラムアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295429A true JPS6295429A (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=16996073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23612285A Pending JPS6295429A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295429A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251029A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Sumitomo Cement Co Ltd | 分光光度計 |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP23612285A patent/JPS6295429A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251029A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Sumitomo Cement Co Ltd | 分光光度計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5373359A (en) | Ellipsometer | |
| US5128549A (en) | Stray radiation compensation | |
| GB1583992A (en) | Spectrometers | |
| CA2411413A1 (en) | Multiple pathlength spectrophotometer | |
| JPS6332351A (ja) | 吸光光度計 | |
| EP0520463B1 (en) | A high-resolution spectroscopy system | |
| US5013153A (en) | Interferometric gas component measuring apparatus for small gas molecules | |
| EP0020372A1 (en) | Dual beam fourier spectrometer | |
| JPH0378921B2 (ja) | ||
| JPS6148733A (ja) | 分光光度計 | |
| JP2702885B2 (ja) | 光学測定方法および光学測定装置 | |
| JPS63250534A (ja) | 分光測光器 | |
| JPH03120428A (ja) | 分光光度計 | |
| Workman | Optical spectrometers | |
| JPS59147229A (ja) | 分光光度計 | |
| JPS6319788Y2 (ja) | ||
| JPS6020021Y2 (ja) | 多波長光度計 | |
| JPH10185816A (ja) | 赤外線分析計 | |
| JPH0458893B2 (ja) | ||
| JPS631220Y2 (ja) | ||
| JPH0458566B2 (ja) | ||
| JPS63120230A (ja) | 分光測光器 | |
| JPS58210527A (ja) | モノクロメ−タ− | |
| KR100241235B1 (ko) | 다파장 복사온도 측정방법 및 그 장치 | |
| CN117222875A (zh) | 用于光辐射的光谱分辨检测的装置 |