JPS6295904A - 無人搬送システム - Google Patents
無人搬送システムInfo
- Publication number
- JPS6295904A JPS6295904A JP60235897A JP23589785A JPS6295904A JP S6295904 A JPS6295904 A JP S6295904A JP 60235897 A JP60235897 A JP 60235897A JP 23589785 A JP23589785 A JP 23589785A JP S6295904 A JPS6295904 A JP S6295904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guided vehicle
- automatic guided
- battery
- power
- power receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
- Y02T10/70—Energy storage systems for electromobility, e.g. batteries
Landscapes
- Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
主呈上勿程尻立夏
本発明は、駆動源としてのバッテリーを搭載した形式の
無人搬送車を複数のステーション間で運行し、各ステー
ションで処理装置にワークのロード、アンロードを行う
無人搬送車システムに関する。
無人搬送車を複数のステーション間で運行し、各ステー
ションで処理装置にワークのロード、アンロードを行う
無人搬送車システムに関する。
従来の技術
半導体素子の製造に必要なウェハの洗浄・酸化・拡散・
エツチングその他の諸工程はクリーンルーム内の処理装
置で行われ、それぞれの処理装置へのウェハのロード、
アンロードは、処理装置のロード、アンロード位置に設
けた各ステーション間で無人搬送車を運行することによ
っている。即ち、第４図に例示したように、クリーンル
ームの床面に付設されたアルミニウムテープ又は無線誘
導線（以下、アルミニウムテープという。）Ｒをセンシ
ングしながら複数の無人搬送車１・・・が走行して各ス
テーションＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ間で移動し、ウェハ
を処理装置Ｘｉ、Ｘ２・・・にロード、アンロードする
ようになっている。
エツチングその他の諸工程はクリーンルーム内の処理装
置で行われ、それぞれの処理装置へのウェハのロード、
アンロードは、処理装置のロード、アンロード位置に設
けた各ステーション間で無人搬送車を運行することによ
っている。即ち、第４図に例示したように、クリーンル
ームの床面に付設されたアルミニウムテープ又は無線誘
導線（以下、アルミニウムテープという。）Ｒをセンシ
ングしながら複数の無人搬送車１・・・が走行して各ス
テーションＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ間で移動し、ウェハ
を処理装置Ｘｉ、Ｘ２・・・にロード、アンロードする
ようになっている。
ところで、無人搬送車は、その駆動源として適時に充電
を必要とするバッテリーを搭載しているので、従来は、
同図に示したように、上記の諸工程を行うステーション
Ａ−Ｆとは別にバッテリーチェンジャーというステーシ
ョンＧを設け、一定時間運行した無人搬送車１をこのス
テーションＧまで移動させてバッテリーを充電済みのも
のに交換し、再び運行系統に投入していた。
を必要とするバッテリーを搭載しているので、従来は、
同図に示したように、上記の諸工程を行うステーション
Ａ−Ｆとは別にバッテリーチェンジャーというステーシ
ョンＧを設け、一定時間運行した無人搬送車１をこのス
テーションＧまで移動させてバッテリーを充電済みのも
のに交換し、再び運行系統に投入していた。
日が ゛ しようとするｐＩ！
しかし、従来のシステムによると、バッテリー交換中は
その無人搬送車を運行系統に投入できないので、上記し
た諸工程を滞りなく円滑に行うためには、バッテリー交
換中の無人搬送車を使えないことをあらかじめ考慮して
それをカバーできるだけの数の無人搬送車が余分に必要
になるばかりでなく、バッテリー交換のために無人搬送
車がバッテリーチェンジャーまで移動する間は、その無
人搬送車が運行系統に投入されている他の無人搬送車の
運行の邪魔になることもある。
その無人搬送車を運行系統に投入できないので、上記し
た諸工程を滞りなく円滑に行うためには、バッテリー交
換中の無人搬送車を使えないことをあらかじめ考慮して
それをカバーできるだけの数の無人搬送車が余分に必要
になるばかりでなく、バッテリー交換のために無人搬送
車がバッテリーチェンジャーまで移動する間は、その無
人搬送車が運行系統に投入されている他の無人搬送車の
運行の邪魔になることもある。
本発明はこのような問題点を解決するものである。即ち
、従来の無人搬送車システムではウェハを処理装置にロ
ード、アンロードする時等の無人搬送車の停止時間がロ
スタイムになっているので、本発明は、そのことに着目
し、そのロスタイムを無人搬送車に搭載しているバッテ
リーの充電のために有効利用することによって、バッテ
リー交換を不要とすると同時にすべての無人搬送車の運
行の効率化を図ることを目的とする。
、従来の無人搬送車システムではウェハを処理装置にロ
ード、アンロードする時等の無人搬送車の停止時間がロ
スタイムになっているので、本発明は、そのことに着目
し、そのロスタイムを無人搬送車に搭載しているバッテ
リーの充電のために有効利用することによって、バッテ
リー交換を不要とすると同時にすべての無人搬送車の運
行の効率化を図ることを目的とする。
シ 占を ゛するための
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送車システム
は、無人搬送車の停止ポジションに給電部を設ける一方
、この給電部に対して接続切離し自在な受電部を上記無
人搬送車に設け、無人搬送車が停止ポジションに停止し
ている間に上記給電部及び受電部を通して上記バッテリ
ーを充電する点を要旨としている。
は、無人搬送車の停止ポジションに給電部を設ける一方
、この給電部に対して接続切離し自在な受電部を上記無
人搬送車に設け、無人搬送車が停止ポジションに停止し
ている間に上記給電部及び受電部を通して上記バッテリ
ーを充電する点を要旨としている。
作−且
上記手段において、無人搬送車が停止しているときにそ
の受電部を給電部に接続すれば、その無人搬送車に搭載
しているバッテリーが充電される。無人搬送車が停止す
るポジションは、処理装置にウェハをロード、アンロー
ドするための位置即ちステーション、及び他の無人搬送
車があるために待機を余儀無くされる待機ポジションで
あり、本発明は、このような停止ポジションにおける停
止時間を利用してバッテリーに充電するものであるから
、充電のための時間枠を別途設定する必要がない。
の受電部を給電部に接続すれば、その無人搬送車に搭載
しているバッテリーが充電される。無人搬送車が停止す
るポジションは、処理装置にウェハをロード、アンロー
ドするための位置即ちステーション、及び他の無人搬送
車があるために待機を余儀無くされる待機ポジションで
あり、本発明は、このような停止ポジションにおける停
止時間を利用してバッテリーに充電するものであるから
、充電のための時間枠を別途設定する必要がない。
遺」１舛
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図において、２ａ・・・は無人搬送車がウェハを処
理装置Ｘ’ｌ、Ｘ２・・・にロード、アンロードするた
めに停止ポジションに設けられた給電部を示し、２ｂ・
・・は無人搬送車の待機が予想される停止ポジションに
設けられた給電部を示す。第２図には上記した各停止ポ
ジションに設けられた給電部を符号２によって示してお
り、この給電部２はアルミニウムテープＲの近傍の床面
又は側壁面等に設けられ、例えば雌形断面の電源端子２
１゜２１を電源２２に接続してなる。電源端子２１には
平面視丸形のものの他、レール形の比較的長いものを使
用することも可能である。 第２図から類推できるよう
に、無人搬送車１は荷物を格納するキャリヤ（図示省略
）を搭載するための置き台１１を備え、例えば上記キャ
リヤにウェハを格納して特定のステーションまで運び、
そのステーションで処理装置Ｘｉ、Ｘ２・・・にウェハ
をロードしたり、また処理装置から処理済みのウェハを
アンロードしてキャリヤに格納し他のステーションまで
運ぶ。また、無人搬送車ｌには上記した給電部２に対応
して受電部３が設けられる。受電部３は例えば第３図に
示したようにロンド状の端子３１と充電器３２とを備え
、充電器３２が無人搬送車１に搭載されているバフテリ
ー３３に接続されている。上記端子３１は例えばエアシ
リンダによって昇降され、上記した停止ポジションにお
いて端子３１が下降すると受電部２の電源端子２１に接
続し、端子３１が上昇すると電源端子２１から切離され
る。 上記の停止ポジションで、第２図のように無人搬
送車１が停止し、その停止時間中に受電部３の端子３１
が同図下向き矢印のように下降すると、この端子３１が
給電部２の電源端子２１に接続され、バッテリー３３へ
の充電が開始される。バッテリー３３への充電は無人搬
送車１が停止している時間内に限られる。例えば、無人
搬送車１が第１図のステーションＡ−Ｆのうちの特定の
ステーション、例えばステーションＡに到着してからウ
ェハのロードが終わるまで停止しているとすると、バッ
テリー３３への充電は、ウェハのローディングと併行さ
せ、かつ、ウェハのローディングが終わるまでに止める
ことが必要である。他の停止ポジションでの充電につい
ても同様である。
理装置Ｘ’ｌ、Ｘ２・・・にロード、アンロードするた
めに停止ポジションに設けられた給電部を示し、２ｂ・
・・は無人搬送車の待機が予想される停止ポジションに
設けられた給電部を示す。第２図には上記した各停止ポ
ジションに設けられた給電部を符号２によって示してお
り、この給電部２はアルミニウムテープＲの近傍の床面
又は側壁面等に設けられ、例えば雌形断面の電源端子２
１゜２１を電源２２に接続してなる。電源端子２１には
平面視丸形のものの他、レール形の比較的長いものを使
用することも可能である。 第２図から類推できるよう
に、無人搬送車１は荷物を格納するキャリヤ（図示省略
）を搭載するための置き台１１を備え、例えば上記キャ
リヤにウェハを格納して特定のステーションまで運び、
そのステーションで処理装置Ｘｉ、Ｘ２・・・にウェハ
をロードしたり、また処理装置から処理済みのウェハを
アンロードしてキャリヤに格納し他のステーションまで
運ぶ。また、無人搬送車ｌには上記した給電部２に対応
して受電部３が設けられる。受電部３は例えば第３図に
示したようにロンド状の端子３１と充電器３２とを備え
、充電器３２が無人搬送車１に搭載されているバフテリ
ー３３に接続されている。上記端子３１は例えばエアシ
リンダによって昇降され、上記した停止ポジションにお
いて端子３１が下降すると受電部２の電源端子２１に接
続し、端子３１が上昇すると電源端子２１から切離され
る。 上記の停止ポジションで、第２図のように無人搬
送車１が停止し、その停止時間中に受電部３の端子３１
が同図下向き矢印のように下降すると、この端子３１が
給電部２の電源端子２１に接続され、バッテリー３３へ
の充電が開始される。バッテリー３３への充電は無人搬
送車１が停止している時間内に限られる。例えば、無人
搬送車１が第１図のステーションＡ−Ｆのうちの特定の
ステーション、例えばステーションＡに到着してからウ
ェハのロードが終わるまで停止しているとすると、バッ
テリー３３への充電は、ウェハのローディングと併行さ
せ、かつ、ウェハのローディングが終わるまでに止める
ことが必要である。他の停止ポジションでの充電につい
ても同様である。
この実施例では、第１図から明らかなように、無人搬送
車の停止ポジションを、処理装置のロード、アンロード
位置と、それらのステーションＡ〜Ｆの両側の待機が予
想される位置とに設定したが、その他の位置に停止ポジ
ションを設定しても差し支えない。この場合は、停止ポ
ジションを設定した位置に給電部を設けておく必要があ
る。また、無人搬送車に搭載したバッテリーは一定時間
内であれば放電量は少ないから、必ずしも停止ポジショ
ンの全部に給電部を設ける必要はなく、そのうちの所定
の停止ポジションのみに給電部を設けておき、充電が必
要になった時点でその停止ポジションで充電を行うよう
にしてもよい。
車の停止ポジションを、処理装置のロード、アンロード
位置と、それらのステーションＡ〜Ｆの両側の待機が予
想される位置とに設定したが、その他の位置に停止ポジ
ションを設定しても差し支えない。この場合は、停止ポ
ジションを設定した位置に給電部を設けておく必要があ
る。また、無人搬送車に搭載したバッテリーは一定時間
内であれば放電量は少ないから、必ずしも停止ポジショ
ンの全部に給電部を設ける必要はなく、そのうちの所定
の停止ポジションのみに給電部を設けておき、充電が必
要になった時点でその停止ポジションで充電を行うよう
にしてもよい。
光肌公兎果
上記のように、本発明の無人搬送車システムによると、
従来はロスタイムとして消費されていた無人搬送車の停
止時間内にその無人搬送車に搭載したバッテリーが充電
されるので、無人搬送車の停止時間の有効利用が図られ
る。このように無人搬送車の運行中にバッテリーを充電
することにより、従来必要であったバ・ノテリーの交換
が不要になる結果、パンテリチェンジャーが不要になる
ばかりでなく、バッテリーチェンジャーまで移動する無
人搬送車によって他の無人搬送車の運行が邪魔されるこ
とがなくなる。従って、無人搬送車の数を減らすことが
できると同時に、無人搬送車の運行効率を向上すること
ができる。
従来はロスタイムとして消費されていた無人搬送車の停
止時間内にその無人搬送車に搭載したバッテリーが充電
されるので、無人搬送車の停止時間の有効利用が図られ
る。このように無人搬送車の運行中にバッテリーを充電
することにより、従来必要であったバ・ノテリーの交換
が不要になる結果、パンテリチェンジャーが不要になる
ばかりでなく、バッテリーチェンジャーまで移動する無
人搬送車によって他の無人搬送車の運行が邪魔されるこ
とがなくなる。従って、無人搬送車の数を減らすことが
できると同時に、無人搬送車の運行効率を向上すること
ができる。
第１図は本発明の無人搬送車システムにおける給電部の
設置位置及びステーションを例示した概略平面図、第２
図はバッテリー充電前の状態を示す一部破断圧面図、第
３図は給電部と受電部を示す説明図、第４図は従来の無
人搬送車システムを示す概略平面図である。 １・・・無人搬送車、２，２ａ、２ｂ・・・給電部、３
・・・受電部、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ・・・ステーシ
ョン、Ｘｌ、Ｘ２、Ｘ３・・・処理装置。
設置位置及びステーションを例示した概略平面図、第２
図はバッテリー充電前の状態を示す一部破断圧面図、第
３図は給電部と受電部を示す説明図、第４図は従来の無
人搬送車システムを示す概略平面図である。 １・・・無人搬送車、２，２ａ、２ｂ・・・給電部、３
・・・受電部、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ・・・ステーシ
ョン、Ｘｌ、Ｘ２、Ｘ３・・・処理装置。
Claims (1)
- （１）駆動源であるバッテリーを搭載した無人搬送車を
複数のステーション間で運行し、各ステーションで処理
装置にワークのロード、アンロードを行う無人搬送シス
テムにおいて、 無人搬送車の停止ポジションに給電部を設ける一方、こ
の給電部に対して接続切離し自在な受電部を上記無人搬
送車に設け、無人搬送車が停止ポジションに停止してい
る間に上記給電部及び受電部を通じて上記バッテリーを
充電することを特徴とする無人搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60235897A JPS6295904A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 無人搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60235897A JPS6295904A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 無人搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295904A true JPS6295904A (ja) | 1987-05-02 |
Family
ID=16992855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60235897A Pending JPS6295904A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 無人搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295904A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008236997A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 無人搬送車および無人搬送システム |
| WO2024090572A1 (ja) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | ソフトバンクグループ株式会社 | ピッキングシステム、カートロボット、方法、および、プログラム |
| JP2024076813A (ja) * | 2022-11-25 | 2024-06-06 | ソフトバンクグループ株式会社 | ピッキングシステム、および、プログラム |
| JP2024077754A (ja) * | 2022-11-29 | 2024-06-10 | ソフトバンクグループ株式会社 | ピッキングシステム、および、プログラム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4854607A (ja) * | 1971-11-11 | 1973-08-01 | ||
| JPS5136659U (ja) * | 1974-09-10 | 1976-03-18 |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP60235897A patent/JPS6295904A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4854607A (ja) * | 1971-11-11 | 1973-08-01 | ||
| JPS5136659U (ja) * | 1974-09-10 | 1976-03-18 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008236997A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 無人搬送車および無人搬送システム |
| WO2024090572A1 (ja) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | ソフトバンクグループ株式会社 | ピッキングシステム、カートロボット、方法、および、プログラム |
| JP2024076813A (ja) * | 2022-11-25 | 2024-06-06 | ソフトバンクグループ株式会社 | ピッキングシステム、および、プログラム |
| JP2024077754A (ja) * | 2022-11-29 | 2024-06-10 | ソフトバンクグループ株式会社 | ピッキングシステム、および、プログラム |
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