JPS6296258U - - Google Patents
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- JPS6296258U JPS6296258U JP18811485U JP18811485U JPS6296258U JP S6296258 U JPS6296258 U JP S6296258U JP 18811485 U JP18811485 U JP 18811485U JP 18811485 U JP18811485 U JP 18811485U JP S6296258 U JPS6296258 U JP S6296258U
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- JP
- Japan
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- sample
- electron beam
- detector
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- output signal
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- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
Description
図面は本考案の一実施例を示すためのものであ
る。 １：電子統、２：電子線、３：集束レンズ、４
：対物レンズ、５：試料、６：ルツボ、７：加熱
コイル、８：偏向コイル、９：走査信号発生回路
、１０：陰極線管、１１：二次電子検出器、１２
，１３，１７：増幅器、１８：信号変換回路、１
９：切換回路、２０：ポテンシヨメーター。
る。 １：電子統、２：電子線、３：集束レンズ、４
：対物レンズ、５：試料、６：ルツボ、７：加熱
コイル、８：偏向コイル、９：走査信号発生回路
、１０：陰極線管、１１：二次電子検出器、１２
，１３，１７：増幅器、１８：信号変換回路、１
９：切換回路、２０：ポテンシヨメーター。
Claims (1)
- 試料を加熱するための手段と、該試料上におい
て電子線を二次元的に走査するための手段と、該
電子線の走査に伴つて試料より発生する二次電子
を検出するための二次電子検出器と、該検出器よ
りの出力信号に基づいて前記試料像を表示するた
めの手段と、前記試料より発生する熱電子の該二
次電子検出器への入射を阻止するため前記試料と
前記検出器との間に配置され、負の電圧を与えら
れたグリツドとを備えた装置において、前記試料
の温度を検出するための温度検出器と、該温度検
出器の出力信号に基づいて前記グリツドに印加す
る電圧を自動的に制御するための手段とを具備す
ることを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18811485U JPS6296258U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18811485U JPS6296258U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296258U true JPS6296258U (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=31139180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18811485U Pending JPS6296258U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296258U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5473055A (en) * | 1977-11-21 | 1979-06-12 | Minolta Camera Co Ltd | Charge quantity controller in electrophotographic copier |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP18811485U patent/JPS6296258U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5473055A (en) * | 1977-11-21 | 1979-06-12 | Minolta Camera Co Ltd | Charge quantity controller in electrophotographic copier |
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