JPS6296841U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は被描画材を保持した状態の平面
図、第２図は電子ビーム描画装置における移動状
態を示す説明図、第３図および第４図は本考案の
それぞれ異なる他の実施例を示す被描画材を保持
した状態の平面図、第５図および第６図は従来例
を示すもので、第５図は被描画材を保持した状態
の平面図、第６図は電子ビーム描画装置における
移動状態を示す説明図である。 １…被描画材、２…固定部材（基準片）、３…
被描画材ホルダ、６…描画室、８…ホルダ移動手
段、８ａ…係止部材、９…被係止部、１０…ホル
ダ本体、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ…辺部
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被描画材を保持して描画室を含む複数の室
   を移動し、保持した被描画材に対する描画を行な
   い得るようにした電子ビーム描画装置の被描画材
   ホルダにおいて、前記被描画材を所定位置に固定
   する固定部材を有したホルダ本体と、このホルダ
   本体の辺部に互いに変位した位置に設けられホル
   ダ移動手段の係止部材が係止される複数の被係止
   部とを有してなることを特徴とする電子ビーム描
   画装置の被描画材ホルダ。 (2) ホルダ本体が、矩形状を呈し被係止部が少
   なくとも対向する２辺に形成されていることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電
   子ビーム描画装置の被描画材ホルダ。 (3) ホルダ本体が、矩形状を呈し被係止部が少
   なくとも直交する２辺に形成されていることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電
   子ビーム描画装置の被描画材ホルダ。