JPS63100413A - コリメ−タレンズ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は情報記録体の読み取り、記録用光学系等に有用
なフリメータレンズに閃する。

〔従来技術〕

近年；ンパクトディスク、光ディスクなど高密度の情報
記鈴媒体を用いた情報処理が急速に発展している。この
種の記録媒体への情報の書き込み及び読み取りは一般に
光学方式が適用される。

光学方式では半導体レーザなどの光源からの拡散光をフ
リメータレンズにより平行光に変換し、対物レンズによ
り記録媒体の記録面上に収束させる。また情報記録体の
読み取り、記録用以外に一般的に拡散光を平行光に変換
する目的でコリメータレンズが広く使用されている。コ
リメータレンズとして、球面収差及びコマ収差が極めて
小さい値が要求される場合には、一般に一個以上の球面
レンズを組み合せたものが用いられるが、低コスト化を
図るには限界がある。

組合せレンズの上記問題点を改善する方法として、非球
面レンズ、あるいは中心軸から半径方向に屈折率勾配を
もつ径方向屈折率分布型レンズの開発も行なわれている
。

（発明が解決しようとする問題点〕 非球面レンズは、非球面の加工あるいは測定技術が必ず
しも容易でなく、量産に１１Ｌ、ているとは言い難い。

また径方向屈折率分布捜レンズは、ガラスのイオン交換
処理により餉造されているが、このイオン交換処理に長
時間を必要とするため、実用的には有効径が約ｊｓｓｓ
以下の小さいものしか得られないという間型がある。

〔問題点を解決する手段〕

上記の問題点を解決する本発明のコリメータレンズは、
少くとも光線出射面が球面で、内部の屈折率が光軸に垂
直な面内では一定であるけれども光軸方向には変化する
少くとも１つの屈折率変化領域と、屈折率一定領域とを
含む。

そして上記の屈折率変化領域では、屈折率の最大値をｎ
００とし、その屈折率の最大値を示す光軸上の点を原点
として、該原点から屈折率の減少する方向へ光軸上で２
の距１１にある点の屈折率ｎ　（Ｚ）をｎ（Ｚ）−ｎ０
０＋ｎ４Ｚ＋ｎ２Ｚ”　テ表わすトキ、ｎ（）０−／、
ｊＯ−／、７７＋ｎｌ−一〇、／’１＝−０，ＯＪ閤−
１＊ｎ２−−０．０Ｊ　〜０．０３ｍｍ−２の条件を満
たす屈折率分布を有していることが必要である。

上記の範囲とすることＫより、球面収差をほぼ±１０μ
ｍ以下に抑えることができる。

また上記の屈折率変化領域は、２−０から少くとも　（
１−Ｄ”／　（ダＲ＜ｔ＋ｖ’、戸Ｔじヲ’ＦＴ　））
の厚み範囲で形成されていることが必要である。

ここでＤはレンズ口径、Ｒは屈折率変化領域で最大屈折
率をもつ点がレンズ表面に現われた場合のその表面の曲
率半径である。

本発明に係るレンズは焦点ＬｌＩａが３−２３−２Ｑで
、開口１ｋ　（ＨＡ）が０．３３〜Ｏ，Ｓの範囲の値を
持つ。

本発明のコリメータレンズの好適例では、レンズの光線
出射側表面から内ＷＬＫ向けて距離ｚＯの範囲にわたり
屈折率変化領域とし、この領域に続けてレンズの光線入
射側表面まで屈折率一定領域とする。また、屈折率変化
領域をレンズ両表面から一定深さまで設け、両変化領域
の中間に屈折率一定領域を設けてもよい。

後者の場合は、両変化領域でのｄｔ　”００　、ｎｌ　
ｅｒｌ！　＊Ｒは全て一致しているか、あるいは少くと
も１つの値が異なっていてよい。

また本発明では、レンズの光線入射側表面から一定深さ
まで屈折率変化領域としてもよい。

（作　用〕 本発明に係るコリメータレンズは、光軸方向に屈折率勾
配を有し、少くとも片面を上記光軸上に曲率中心を持つ
球面としたので、球面上で中心から外周に向けて同心円
状に変化する屈折率勾配が付与され、この屈折率勾配に
よって球面収差が補正される。

またその球面によってツマ収差が補正される０さらに従
来の径方向屈折率分布型レンズと具なり、屈折率変化領
域の層厚みが直接レンズ牛後とならないため、例えば平
板状の基材の表面から深さ方向に屈折率勾配を従来と同
様のイオン交換処理等で形成した後、この面を球面加工
する方法によって、球面の外周まで屈折率勾配の存在す
る大口径の球面レンズを短時間で容易く製造することが
できる。

〔実　施　例〕

以下本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図においてコリメータレンズｌは、第１の屈折面コ
Ａが曲率半径Ｒ１の球面となっており、球面−Ａの中心
点Ｏを原点として光軸３の方向ＫＺの距離における光軸
に垂直な園内の屈折率ｎ　（Ｚｌが、ｎ（Ｚｌ−ｎ００
＋ｎ１−Ｚ＋ｎ２・Ｚ”　　−・・−・・（１１で表わ
される屈折率勾配が与えられている。

ここでｎ００は原点Ｏでの屈折率、ｎｌ、ｎ２は定数で
、いずれも光学系で用いられる半導体レーザなどの光源
の波長における値である。

上記の分布をもつ屈折率変化領域／Ａは光軸上で原点Ｏ
からｚＯの厚み範囲にわたり形成されており、屈折率値
は原点ＯＫおける髄が最大で、距ｍｚの増大につれて単
調に減少しｎ００−／　、　ｊ　Ｏ−／　、　７７　。

ｎｌ−−０，／＃〜−０．０−Ｍ−１．ｎｇ−−０．Ｑ
Ｊ　〜Ｑ、０３ｗｍ−２の範囲の値を持つ。またレンズ
厚みなｔとして、厚み１−２（、の領域／Ｂでは屈折率
は全体にわたり一定である。屈折率一定領域／Ｂ側の屈
折面２Ｂの曲率半径Ｒ２はコマ取差を補正するように値
が決定されるとともに屈折率一定領域／Ｂの屈折率値に
依存し、／／Ｒ２＞Ｏ，／／Ｒｇ−０、／／Ｒｚ＜０の
いずれかの値をもつ。

レンズ／において、球面−人の中心点Ｑからこの球面２
人の最外周までの光軸上での距Ｗ１ｓｏはサグと呼ばれ
、レンズ口径をＤとすると、 Ｓ□−Ｄ２／　（４！Ｒ１（／＋　／−（Ｄ／ＪＲｘ）
”　）　）−−（２）で与えられる。

そして本例では０点から上記サグＳＯよりも大きな距離
ｚＯの範囲まで前述した屈折率勾配が与えられている。

第２図に本発明の側の実施例を示す。

本例のレンズｌは、一方の屈折面−人の中心点Ｏから一
定深さｚＯまで前述実施例と同じ屈折率勾配をもつ屈折
率変化領域／Ａが形成しであるとともに、他方の屈折面
２Ｂの中心点Ｏ／から一定深さｚＯ／まで前述の（１）
式で表わされる屈折率勾配をもつ屈折率変化領域１０が
形成してあり、両領域／Ａ。

１０の中間を屈折率一定領域／Ｂとしである。

この領域１０においてもｚＯｌはサグＳＯＩ　より大で
あり、 Ｓ□’−Ｄ”／　（ダＲ２（／＋Ｖり’−（Ｄ／ＪＲｇ
）　　））である。

本発明に係るコリメータレンズを光学情報記録ディスク
の読み取り装！！に使用した例を第ｊ図に示す。ダは半
導体レーザ光源であり、光源参から出た拡散光ビームｊ
はビームスプリッタ−６を経てコリメータレンズ／に入
射し、ここで平行光に変換された後対物レンズ７で情報
記録ディスクｌ上に集光され、その反射光は再び対物レ
ンズ７、フリメータレンズｌおよびビームスプリッタ６
を経て読み取り用の光検出器（図外）Ｋ入射する。

なおビームスプリッタ６はコリメータレンズｌと対物レ
ンズ７との間に配置されることもある。

次に本発明のレンズを製造する好適な方法について第９
図により説明する。

まず、少くとも１種以上の１価陽イオンを含む酬化物ガ
ラスの板状体１０を母材とし、この母材ガラスの屈折率
を増加させるイオン、例えばＬｌ。

Ｃｓ、Ｔ／、Ａｇから選ばれた少くとも１種以上の１価
陽イオンを含む溶融塩／ｌ中に１上記ガラスの転移点付
近の温度で浸漬処理する。

上記浸漬処理で母材ガラス板の両面から内部に向けて溶
融塩中の上記イオンが、ガラス中のイオンとの交換によ
って拡散侵入し、イオン濃度分布により表面から内部に
向けて一様に減少する屈折率分布１２が形成される。

次いで上記母材ガラス板から円板状のレンズ素材ＩＯＡ
を多数切り出し、この素材１０Ａの片面または両面を所
定の曲率半径の球面に加工するとともに、レンズ厚みを
所定の厚みに仕上げてレンズｌを得る。なお単一の母材
ガラス板から単一のレンズを成形する場合は、母材ガラ
ス板の側周縁にマスキングを施さずに前述の溶融塩浸漬
処理を行なうと側周辺部にも屈折率分布層が形成される
ことになるが、この層を予め取り除いた後に所定の球面
加工を行なう方が加工表面の硬度の変化量の点から見て
加工が容易である。

上記のイオン交換処理を行なうレンズ母材ガラスは、少
くとも７８以上の１価陽イオンを含むとともに屈折率が
／、ｊＯ−／、７７と高い値を持つ必要がある。

一般に高屈折率ガラスを得るには屈折率を高める成分と
して、ＴｉＯ２＋　ＢａＯａ　Ｐｂ　Ｏｅ　Ｌ　＆　２
０３などの濃化物が用いられるが、これらの成分はイオ
ン交換処理中のガラスの変質を招いたり、イオン交換の
速度を低下させる傾向がある。一方、Ｔｌ２Ｏは１モル
−当り０．０１０〜０．０１３程度の屈折率増加寄与が
あり、上記の問題を招くことがないため、本発明のレン
ズの母材成分として望ましい。母材のイオン交換処理に
用いる溶融塩中に含有させるイオン種としてはＴＪイオ
ンが最も望ましい。また溶融塩としては硝酸塩、硫酸塩
、ハロゲン化物などを用いることができる。

溶融塩中での浸漬処理の温度が一般に高い程イオン交換
速度が太き（なるため好都合であるが、高温ではガラス
の変形が起るので、浸漬処理温度としてはガラスの転移
点付近の温度が選ばれ、一般には転移点±ｊＯ℃の範囲
で行なうのが望ましい。

以下に本発明の具体的実施例を示す。

実施例１ 第１表に示す組成の直径ｊ閣、厚さ３．−鰭のガラス円
板を、＋ｘ比”Ｃ’　Ｔｊ２ＳＯ４／に２ＳＯ４／Ｚｎ
ＳＯ４−１０／、３０／ｌＯの組成を持つ溶融塩中でｓ
ｏｓ”ｃの温度で１１時間浸漬処理を行なった。

９７表 Ｔｇ：転移点 上記試料ガラス板の厚み方向でのＴＩイオン濃度分布を
Ｘ線マイクロアナライザーで？ＩＩ走した結果を第３図
に示す。

同試料の両表面な００ｌＩＩＩＩの厚みだけ研磨除去し
た後、厚み方向に屈折率分布を測定した結果、両表面か
らそれぞれＱ、１ｍの深さまで単ＩＥＩＫ減少する屈折
率分布が得られた。

表面の屈折率は／、／、１１／　であり、その表面から
内部に向けてＯ≦２≦Ｏ０ｌ閤の範囲での屈折率分布は
Ｎ（Ｚ）　−／、６１１／−０，０！／！ＩＺ　”Ｃ”
表ワサレタ。

一方、上記の両層折率変化領域に挾まれた中央の厚みへ
参藺の部分はイオン交換によって屈折率は変化せず、も
との母材と同一の／、、４００の均一な屈折率であった
。

次に上記試料ガラス板の片面に曲率半径Ｒ１−７、りＱ
ｍ、他方の面に曲率半径Ｒ２−−２１１９，ｒ菖の球面
加工を施し、レンズ径を７．−ＩＥＩＩＫ仕上げた。

得られたレンズの焦点距離はｌコ、ＱＩ！ＩＩ、開口数
（ＮＡ）は０．３であった。この系での球面収差（軸上
収差）の測定結果を第参図（１）Ｋ示した。

またこの系での最大球面収差は２μｍ１コマ収差はＳμ
ｍ以下であった。

実施例２〜６ 各種の屈折率を有する母材ガラスを調整し、基本的に実
施例１と同様のイオン交換処理を行ない、厚み方向に種
々の屈折率分布を持つレンズ母材板を製作し、その母材
に球面研磨加工を施してレンズを製作した。第−表に得
られたレンズ内部の屈折率分布の測定値及びレンズ諸元
を示す。

なお表中の光軸方向の距離２は光線出射側表面と光軸と
の交点を原点とし、レンズ内部の方向への距離２を示し
ている。

第　　　２　　　表 得られたレンズについて球面収差を第４ｃ図（２）〜（
６）Ｋ示し側の特性値は第３表に示した。

！！３表 実施例７ 第４表に示した組成の直径／　Ｑｗｓ　、厚さ！、６１
１１１Ｂのガラス円板を、％に比でＴ　Ｉ　、２　Ｓ　
Ｏ４／に２　Ｓ　Ｏ４／Ｚ　ｎ　ＳＯ４−！／１１０／
！ｒ！の組成をもつ溶融塩中でダ７２℃の温度で５００
時間浸漬処理を行なった。

上記母材ガラスの転移点（Ｔｇ）はダ９Ｑ℃であった。

第　　　参　　　表 第５図に、１．、上記試料ガラスの厚み方向でのＴｊイ
オンの濃度分布をＸ線マイクロアナライザーで測定した
結果を示した。同試料において両表面な１００μｍの厚
みだけ研磨除夫した後厚み方向に屈折率分布を測定した
結果、片側表面から０−５００μｍの範囲では、表面か
ら光軸方向に２の距離におケル屈折率ｎ　（Ｚｌがｎ（
Ｚｌ　−１，６３！−０，０３４！−Ｚで表わされる屈
折率勾配を有し、ＳＯＯん９００μｍの範囲ではｎ（Ｚ
ｌ−１，Ａ２／で一定、９００〜／ｕ００Ｊ１ｍの範囲
テハｎ（Ｚ）　−／、６２／＋０．ＯＪダ−２の屈折率
勾配を有していた。

次に上記の試料ガラス板の片面に曲率半径Ｒ１−ｔｏ、
ｒａ■の球面加工を施し、またレンズ径なり、７６簡に
仕上げた。

得られた片側球面で他方が平面のレンズの焦点距離は１
７．０１ＨＬ、開口ＷｔＮＡは０．／ｌｌであった。こ
のレンズを平行光入射側を球面となるように設置し、レ
ンズ後方に光学ガラスＢＫ７でできた厚さｊｍのビーム
スプリッタ−を設置した。

上記の光学系の作動釦１［ＩＷＤを、 （レンズ出射面から焦点までの距離）−（ビームスプリ
ッタ−の厚味） と定義するとＷＤ−／コ、７７襲となっている。

この系での球面収差（軸上収差ＬＳＡ　”）の測定結果
を第６図（１）に示した。またこの糸での最大像高は９
．６ｍｓ、　　Ｊ次＋ｊ次のコマ収差はダμｍ以下であ
ったＯ 実施例ｒ−ｉｉ 各種の屈折率を有する母材ガラスを調整し、基本的に実
施例７と同様のイオン交換処理を行ない、厚み方向に種
々の屈折率分布をもつレンズ母材を製作しその母材より
レンズを製作した。

第５表１で得られたレンズ内部の屈折率分布の測定値及
びレンズ諸元を示す。実施％＋ｒ−７ｔのいずれも高屈
折率便の曲は曲率半径Ｒの球面罠他面は平面に仕上げた
。

なお実施例ｔは、充分に厚い板状ガラス体をイオン交換
処理し、そのガラス体の表面部分を切り出した例であり
、実施例１０は一藺厚の試料ガラス板を長時間イオン交
換処理することにより屈折＊勾配部つまり両面からのイ
オン侵入領域が重なったものである。

得らンた各レンズについて第６表に示す光学系で特性を
評価した。球面収差罠ついては第６図（２）〜（５）に
結果を示し、側の特性値は第６表に示した。

なお第６表のＢＳはＢＫ７ガラスによってつくられたｊ
ＩＩＩｍ厚のビームスプリッタ−を表わしている。

第　　　ｊ　　　表 ＊４表 実施ｆｌＩｌコ 第７表に示す組成の直径７６鱈、厚さノｏ、ｓｍ　のガ
ラス円板を、モル比でＴＪＮＯ３／　ＫＮＯ３−ｕコ／
７１の組成を持つ溶融塩中で３２ｊ℃の温度で４７日間
浸漬処理を行なった。

第　　７　　表 上記試料ガラス板の厚み方向でのＴＩイオン濃度分ｉを
Ｘ線マイクロアナライザーで測定した結果は第３図の通
りであった・ 同試料の両表面な０．１ｍの厚みだけ研磨除失した後、
厚み方向に屈折率分布を測定した結果、両表面からそれ
ぞれコ、／ＩＩｓの深さまで単調に減少する屈折率分布
が得られた。表面の屈折率はへ７λダであり、その表面
から内ｍＫ向けてＯ≦ｚ：ｉｌ、２．ｌ燗の範囲での屈
折率分布は、ｎ（Ｚ）−／、７コダーｏ、ｏｔ００ｚで
表わされた。

一方、上記の両面折率変化領域にはさまれた中央の厚み
≦、ｌ■の部分はイオン交換されずに残り、もとの母材
ガラスと同一の／、６００の均一な屈折率であった。

次に上記試料ガラス板を厚み中心位置で両表面に平行に
切断して、同等の屈折率分布をもつガラス板をλ偏極作
した。

次にこの各々のガラス板の屈折率変化部分側の基板面に
曲率半径Ｒ１−７、２ｍｗｍ　、他方の屈折率一定偶の
面を平面に、且つレンズ厚みがダ、ｊｍとなるよう加工
し、レンズ径は１０．ＯＭＳに仕上げた。

得られたレンズの焦点距離は１０．０簡、開口数（ＮＡ
）はＯｏｊであった。この系での球面収差（軸上収差）
の測定結果を第７図（１）に示した。またこの系での最
大球面収差は１μｍ、コマ収差は／ｊμｍ以下であった
Ｏ 実施例１３〜ｉｓ 各種の屈折率を有する母材ガラスな′ＩＩ４整し、基本
的に実施例１コと同様のイオン交換処瑯を行ない、厚み
方向に種々の屈折率分布を持つレンズ母材板を製作し、
その母材に球面研磨加工および必要に応じて平面研磨加
工を施してレンズを製作した。実施例／Ｊ、／ダでは実
ｍ例１−と同様にイオン交換処理後の試料ガラス板を厚
み中心で２等分した後、屈折率分布層側表面に球面研磨
加工を、また屈折率−足部分側表面に平面研磨加工を施
した。また実施ガｌｊではイオン交換処理後の試料ガラ
ス板の両表面に球面研ＭｔＫｉ工を施した。

第ｊ表に得られたレンズの屈折率分布の測定値及びレン
ズ諸元を示す０ なお表中の距離２は光線出射側表面と光軸との交点を原
点として、レンズ内部方向への距離ｚを示している。

第　ｔ　表 得られたレンズについて球面収差を第７図（２）。

（３）、包）Ｋ示し、側の特性値を第９表に示す。

第　　９　　表 〔発明の効果〕 本発明によれば、板状ガラスを溶融塩中でイオン交換処
理するという簡単な工程で得られる板厚方向く屈折率分
布を有°する材料を母材として球面加工することにより
、球面収差、コマ収差の小さい高性能のコリメータレン
ズが得られる。

【図面の簡単な説明】

第７図は本発明の実施例な示す断面図、第一図は本発明
の側の実施例を示す断面図、第３図はレンズ母材基板中
のイオン濃度分布を示すグラフ、＃ＩｌＩ図（１）ない
しく６）は本発明の実施例１〜乙のレンズの収差曲線図
、第Ｓ図はレンズ母材基板中のイオン濃度分布の別の実
施例を示すグラフ、第６図（１）ないしく５）は本発明
の実施例７＾ｌｌのレンズの収差−ｍ図、第７図（１）
ないしく４）は本発明の実施例１コ〜／ｊのレンズの収
差的ＩＪＩ図、第１図は本発明のコリメータレンズを光
学情報記録ディスクの読み取り装置に適用した例を示す
側面図、第９図は本発明に係るレンズを製造する方法の
一例を段階的に示す図である。 ／−−・コリメータレンズ　ｌム、１０・・・・・・屈
折率変化領域　／Ｂ−・・・・・屈折率一定領域　３・
・・・・・光軸ダ・・・−・光源　！・・・・・・光に
’−Ａフ−・・・・ビームスプリッタ−７−・・・・対
物レンズｔ・・・・・・情報記録ディスク　１０・・・
・・・母材ガラス板ＩＯＡ・・・・−レンズ素材　／／
−・・・・・溶融塩ｌコ・・・・・・屈折率分布層 第３図 （表面）　　　板厚方向距離　（ｍｍ）　　（表面）第
４図 Ａ （ｍｍ） 第４図 第５図 板厚方向距離　（ｍｍ） 第６図 ＬＳＡ（）Ｉｍ）　ＬＳＡ（）Ｊｍ）　　ＬＳＡ（）Ｊ
ｍ）　ＬＳＡ（ｐｍ）　ＬＳＡ（）１ｍ）第７図 −０，０２ＬＳＡ　　　　　　　Ｏ，０２（ｍｍ） （ｍｍ） 第７図 ＮΔ 第９図

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）少くとも光線出射面が球面であり、レンズ内に屈
   折率が光軸方向に変化するとともに光軸に垂直な方向に
   は一定であるような屈折率変化領域と、全体に屈折率が
   一定の領域とを含み、前記屈折率変化領域における最大
   屈折率ｎ＿０＿０を持つ点はレンズ表面の外形上の頂点
   に存在し、前記頂点から光軸上でＺの距離にある部分の
   屈折率ｎ（Ｚ）をｎ（Ｚ）＝ｎ＿０＿０＋ｎ＿１Ｚ＋ｎ
   ＿２Ｚ＾２で表わすときｎ＿０＿０＝１．５０〜１．７
   ７、ｎ＿１＝−０．１４〜−０．０２ｍｍ＾−＾１、ｎ
   ＿２＝−０．０３〜＋０．０３ｍｍ＾−＾１であり、且
   つ前記屈折率変化領域はＺ＝０から少くともｄ＝Ｄ＾２
   ／｛４Ｒ（１＋√（１−（Ｄ／２Ｒ）＾２）｝（Ｄはレ
   ンズ口径、Ｒは最大屈折率ｎ＿０＿０を含むレンズ面の
   曲率半径） の厚み範囲に形成されていることを特徴とするコリメー
   タレンズ。
2. （２）特許請求の範囲第１項において、レンズの焦点距
   離が５〜２０ｍｍで、開口数（ＮＡ）が０．３５〜０．
   ５であるコリメータレンズ。
3. （３）特許請求の範囲第１項において、レンズの焦点距
   離が５〜２０ｍｍで開口数（ＮＡ）が０．１〜０．３５
   であるコリメータレンズ。
4. （４）特許請求の範囲第１項において、 ｎ＿０＿０＝１．６３〜１．７０、ｎ＿１＝−０．０２
   ５〜−０．０５０ｍｍ＾−＾１であるコリメータレンズ
5. （５）特許請求の範囲第４項において、レンズの焦点距
   離が１５〜２０ｍｍで開口数（ＮＡ）が０．１〜０．２
   であるコリメータレンズ
6. （６）特許請求の範囲第１項において前記屈折率変化領
   域は、レンズの光線入射面又は光線出射面のいずれか一
   方の側に形成されているコリメータレンズ
7. （７）特許請求の範囲第１項において、前記屈折率変化
   領域は、レンズの光線入射面側及び光線出射面側の双方
   に形成されており、これら両領域の中間に屈折率一定領
   域が形成されているコリメータレンズ
8. （８）少くとも１種の１価陽イオンを含む酸化物ガラス
   の板状体を、該ガラスの屈折率増加に寄与する１価陽イ
   オンを含む溶融塩に接触させて溶融塩中の前記陽イオン
   をガラス基板内に拡散させることにより、基板の表面か
   ら深部に向けて次第に減少する屈折率分布を一定深さま
   で形成して、それより深部は屈折率一定のまま残し、し
   かる後少くとも前記屈折率変化部分の側の基板面を球面
   に加工することを特徴とする光軸方向に屈折率が変化す
   る領域を含むコリメータレンズの製造方法
9. （９）特許請求の範囲第８項において、前記イオン拡散
   処理を終えたガラス基板から多数の円板を切り出し、し
   かる後各々の円板に所定の加工を施してレンズに仕上げ
   るようにしたコリメータレンズの製造方法。