JPS63102767U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63102767U JPS63102767U JP19459286U JP19459286U JPS63102767U JP S63102767 U JPS63102767 U JP S63102767U JP 19459286 U JP19459286 U JP 19459286U JP 19459286 U JP19459286 U JP 19459286U JP S63102767 U JPS63102767 U JP S63102767U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding ring
- holding
- epitaxial growth
- growth apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す基板ホルダの
斜視図、第２図は本考案の別の実施例を示す基板
ホルダの斜視図、第３図は第１図の要部拡大正面
図、第４図は補強棒の好ましい取り付け範囲を示
す図解的平面図、第５図は従来の液相エピタキシ
ヤル成長装置の図解的断面図。 １０……基板、１２……基板ホルダ、２１……
支持軸、２３……保持リング、２７……支持脚、
３１……保持爪、３５……補強棒。
斜視図、第２図は本考案の別の実施例を示す基板
ホルダの斜視図、第３図は第１図の要部拡大正面
図、第４図は補強棒の好ましい取り付け範囲を示
す図解的平面図、第５図は従来の液相エピタキシ
ヤル成長装置の図解的断面図。 １０……基板、１２……基板ホルダ、２１……
支持軸、２３……保持リング、２７……支持脚、
３１……保持爪、３５……補強棒。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 結晶物質を含む溶液内に基板を浸漬させて該
基板上に結晶を成長させる液相エピタキシヤル成
長装置において、複数枚の基板１０を多段状に保
持する多段基板ホルダ１２は、共通の支持軸２１
に固定される複数段の保持リング２３を有し、該
保持リングの両面にはその周上の少なくとも３点
に基板を支持する仮想円を形成する支持脚２７が
取り付けられ、これら支持脚には該支持脚上に載
置される基板を保持する曲げ可能な保持爪３１が
設けられ、各保持リングの両面に基板を保持可能
ならしめたことを特徴とするエピタキシヤル成長
装置の基板ホルダ。 ２ 上記各保持リングは補強棒３５により一体的
に補強結合されることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項に記載の基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19459286U JPS63102767U (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19459286U JPS63102767U (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102767U true JPS63102767U (ja) | 1988-07-04 |
Family
ID=31151706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19459286U Pending JPS63102767U (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63102767U (ja) |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP19459286U patent/JPS63102767U/ja active Pending