JPS63107360U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63107360U JPS63107360U JP20101286U JP20101286U JPS63107360U JP S63107360 U JPS63107360 U JP S63107360U JP 20101286 U JP20101286 U JP 20101286U JP 20101286 U JP20101286 U JP 20101286U JP S63107360 U JPS63107360 U JP S63107360U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- gripping
- guide rail
- guide
- guide pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Discharge By Other Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の基板搬送装置を示
す側面図、第２図は第１図のガイド部材を示す斜
視図、第３図は第１図の把持部材を説明するため
の斜視図、第４図は第３図の一部断面側面図、第
５図および第６図は第４図の把持部材の把持部を
説明するための拡大側面図、第７図は従来の基板
搬送装置を説明するための側面図である。 １１……ガイドレール、１２……ガイドピン、
１３……ガイド部材、１４……モータ、１５……
基板、１６……把持部、１７……把持部材、２０
……チエーン、Ｉ……基板搬入位置、Ｏ……基板
搬出位置。
す側面図、第２図は第１図のガイド部材を示す斜
視図、第３図は第１図の把持部材を説明するため
の斜視図、第４図は第３図の一部断面側面図、第
５図および第６図は第４図の把持部材の把持部を
説明するための拡大側面図、第７図は従来の基板
搬送装置を説明するための側面図である。 １１……ガイドレール、１２……ガイドピン、
１３……ガイド部材、１４……モータ、１５……
基板、１６……把持部、１７……把持部材、２０
……チエーン、Ｉ……基板搬入位置、Ｏ……基板
搬出位置。
Claims (1)
- 基板搬入位置から基板搬出位置に向かつて配設
されたガイドレールおよびガイドピンを有するガ
イド部材と、前記ガイドレールの外側に沿つて可
動的に配設された無端状のチエーンを有する駆動
装置と、前記チエーンに連結されて駆動され前記
ガイドレールおよびガイドピンにより位置状態が
規制され先端に基板を把持する把持部が形成され
た把持部材とを備え、前記把持部材の把持部に把
持された基板を、基板搬入位置から基板搬出位置
に搬送することを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20101286U JPS63107360U (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20101286U JPS63107360U (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107360U true JPS63107360U (ja) | 1988-07-11 |
Family
ID=31164067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20101286U Pending JPS63107360U (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63107360U (ja) |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP20101286U patent/JPS63107360U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6134518U (ja) | 容器搬送装置 | |
| JPS612313U (ja) | 円柱状電子部品の搬送装置 | |
| JPS5844846U (ja) | ウエハの搬送方法 | |
| JPS60170232U (ja) | 貨物運搬荷台装置 | |
| JPH0237129U (ja) | ||
| JPH0160889U (ja) | ||
| JPH0165207U (ja) | ||
| JPS612314U (ja) | 円柱状電子部品の搬送装置 | |
| JPS58161910U (ja) | ベルトコンベア | |
| JPS6036201U (ja) | 板体供給装置 | |
| JPS58168959U (ja) | ト−ピンガイド溝のための連続カバ−構造 | |
| JPS58144521U (ja) | 搬送装置 | |
| JPS5950920U (ja) | 長尺部材の移送装置における長尺部材の姿勢調節装置 | |
| JPS60149925U (ja) | 刈取結束機における刈取部の横方向搬送装置 | |
| JPS6166942U (ja) | ||
| JPS6426907U (ja) | ||
| JPS62161115U (ja) | ||
| JPS58111993U (ja) | 円柱状電子部品の搬送装置 | |
| JPS60113329U (ja) | 釦取付機 | |
| JPS5966546U (ja) | 搬送用チエ−ン | |
| JPS58133533U (ja) | パレツト搬送機構 | |
| JPS5872182U (ja) | 紋紙連綴用粘着テ−プ剥離装置 | |
| JPS60183142U (ja) | 多層形フイ−ダ | |
| JPS59108728U (ja) | ベルトコンベヤにおける付着性物品の剥脱装置 | |
| JPS63171313U (ja) |