JPS63107739A - 発泡性被検液の計量方法 - Google Patents
発泡性被検液の計量方法Info
- Publication number
- JPS63107739A JPS63107739A JP25417386A JP25417386A JPS63107739A JP S63107739 A JPS63107739 A JP S63107739A JP 25417386 A JP25417386 A JP 25417386A JP 25417386 A JP25417386 A JP 25417386A JP S63107739 A JPS63107739 A JP S63107739A
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- Japan
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- foaming
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は発泡性被検液を精度よく計量する方法に関する
。
。
従来の技術
従来から発泡性被検液、例えばNHs−H,o。
混液を含有する半導体ウニノーウス処理液、NaOHI
−1* Oを混液を含有する繊維漂白処理液等を滴定等
のために計量する場合には、ピペット等を用いる手動サ
ンプリング法またはポンプおよび液面計等を利用する自
動サンプリング法が採用されているが、既存および/ま
たは計量中に発生する気泡のために計量精度の信頼性を
保証することができない。
−1* Oを混液を含有する繊維漂白処理液等を滴定等
のために計量する場合には、ピペット等を用いる手動サ
ンプリング法またはポンプおよび液面計等を利用する自
動サンプリング法が採用されているが、既存および/ま
たは計量中に発生する気泡のために計量精度の信頼性を
保証することができない。
発明が解決しようとする問題へ
本発明は、被検液中の既存の気泡を消失させると共に、
新たな発泡を効果的に抑制しながら発泡性被検液を精度
よく計量する方法を提供するためになされたものである
。
新たな発泡を効果的に抑制しながら発泡性被検液を精度
よく計量する方法を提供するためになされたものである
。
問題点を解決するための手段
即ち本発明は、第1液面計および第1液面計よりも上部
に設定された第2液面計を備えた受容器内へ、発泡抑制
液を第1液面計によって制御される第1準位まで供給し
、該発泡抑制液を攪拌しながら、発泡性被検液を第2液
面計によって制御される第2準位より上部から受容器側
壁部に沿って伝わらせながら第2準位まで供給し、攪拌
を続行後、均一な混合液を計量管へ送給することを特徴
とする発泡性被検液の計量方法に関する。
に設定された第2液面計を備えた受容器内へ、発泡抑制
液を第1液面計によって制御される第1準位まで供給し
、該発泡抑制液を攪拌しながら、発泡性被検液を第2液
面計によって制御される第2準位より上部から受容器側
壁部に沿って伝わらせながら第2準位まで供給し、攪拌
を続行後、均一な混合液を計量管へ送給することを特徴
とする発泡性被検液の計量方法に関する。
以下、本発明を添付図に基づいて説明する。
第1図は本発明を実施するのに好適なサンプリング装置
の一態様の要部を示す模式図である。
の一態様の要部を示す模式図である。
第2図は本発明方法によって計量した発泡性被検液のH
t Ot、N H3の両成分の濃度を同時に測定する装
置の模式図である。
t Ot、N H3の両成分の濃度を同時に測定する装
置の模式図である。
第1図において、発泡抑制液、例えば硫酸(1)はポン
プP1によってプラスチック製もしくはガラス製の受容
器(3)の肉厚底部向流路を経て受容器内へ供給される
。硫酸の供給量は例えば電極式の第1液面計(ELυに
よって所定の第1準位(h、)までに制御される。受容
器(3)内へ供給された所定量の硫酸をマグネチックス
クーラー(M)を用いて攪拌しながら発泡性被検液、例
えばNHs Hlo、水溶液をポンプP、によって受
容器(3)内へ供給する。この場合、N H3−I(t
Offi水溶液送給管(4)の出口を第2液面計(E
L z)によって制御される所定の第2準位(h、)
の上部において受容器側壁部に近接させることによって
、N H3−H、O。
プP1によってプラスチック製もしくはガラス製の受容
器(3)の肉厚底部向流路を経て受容器内へ供給される
。硫酸の供給量は例えば電極式の第1液面計(ELυに
よって所定の第1準位(h、)までに制御される。受容
器(3)内へ供給された所定量の硫酸をマグネチックス
クーラー(M)を用いて攪拌しながら発泡性被検液、例
えばNHs Hlo、水溶液をポンプP、によって受
容器(3)内へ供給する。この場合、N H3−I(t
Offi水溶液送給管(4)の出口を第2液面計(E
L z)によって制御される所定の第2準位(h、)
の上部において受容器側壁部に近接させることによって
、N H3−H、O。
水溶液を該側壁部に沿って伝わらせながら供給し、これ
によってN l−13−1(10!水溶液中の既存の気
泡を消失させる。受容器側壁部を伝わって落下するN
Hs Ht O*水溶液は硫酸と混合されると酸性と
なるのでHlo、の分解は抑制され、新たに気泡は発生
しない(被検液が壁面に沿って落下する間に発生するO
2やNH3は微量で無視し得る)。
によってN l−13−1(10!水溶液中の既存の気
泡を消失させる。受容器側壁部を伝わって落下するN
Hs Ht O*水溶液は硫酸と混合されると酸性と
なるのでHlo、の分解は抑制され、新たに気泡は発生
しない(被検液が壁面に沿って落下する間に発生するO
2やNH3は微量で無視し得る)。
N1(s HtO*水溶液の供給量は電極式の第2液
面計(E L t)によって所定の第2牟位(h、)ま
でに制御される。受容器(3)内へ供給された所定1の
NH,−)(,0,水溶液と硫酸は攪拌を続行して均一
に混合した後、ポンプ(P3)によって計量管へ送給さ
れて計量される(マグネチックスクーラーの回転攪拌に
よって液面は凹面を形成するが、スターラーを回転させ
るシンクロナスモーターもしくはパルスモータ−の回転
数を一定にすれば同一の凹面が形成されて誤差とはなら
ない)。
面計(E L t)によって所定の第2牟位(h、)ま
でに制御される。受容器(3)内へ供給された所定1の
NH,−)(,0,水溶液と硫酸は攪拌を続行して均一
に混合した後、ポンプ(P3)によって計量管へ送給さ
れて計量される(マグネチックスクーラーの回転攪拌に
よって液面は凹面を形成するが、スターラーを回転させ
るシンクロナスモーターもしくはパルスモータ−の回転
数を一定にすれば同一の凹面が形成されて誤差とはなら
ない)。
上記操作において発泡抑制液として使用する硫酸の量は
被検液中のNHIの量によって左右され、特に限定的で
はないが、通常はNH3の中和量よりも過剰、例えばN
H3の約1.5〜2倍当量とする。
被検液中のNHIの量によって左右され、特に限定的で
はないが、通常はNH3の中和量よりも過剰、例えばN
H3の約1.5〜2倍当量とする。
一定濃度の硫酸を被検液と常に同じ割合で混合するので
被検液の希釈率は一定となりしたがってHt Ot、N
H3共に従来の方法で濃度を決定することができる。
被検液の希釈率は一定となりしたがってHt Ot、N
H3共に従来の方法で濃度を決定することができる。
ただし、NH3については硫酸の消費量より濃度が決定
されろ。この操作を第2図に基づいてさらに説明する。
されろ。この操作を第2図に基づいてさらに説明する。
第2図においては、第1図に示すサンプリング装置は回
転式切換装置を備えた計量装置を介してHt O2、N
H3それぞれの測定槽に接続される。
転式切換装置を備えた計量装置を介してHt O2、N
H3それぞれの測定槽に接続される。
まず、p■]試薬および緩衝液が、それぞれI)H試薬
送給管(17)、および緩衝液送給管(18)を経て、
電極式液面計を備えた貯槽(19)および(20)へ送
給された後、411定1(13)および(14)へ供給
される。
送給管(17)、および緩衝液送給管(18)を経て、
電極式液面計を備えた貯槽(19)および(20)へ送
給された後、411定1(13)および(14)へ供給
される。
測定槽(13)および(14)には給水管(15)を経
て適量の水を供給した後、測定槽(13)ではベースp
tl(pt口)、測定槽(14)ではベース電流(Xo
)がそれぞれ測定される。
て適量の水を供給した後、測定槽(13)ではベースp
tl(pt口)、測定槽(14)ではベース電流(Xo
)がそれぞれ測定される。
つづいて発泡抑制液送給管(5)および被検液送給管(
4)から前記のようにしてそれぞれ送給された発泡抑制
液および被検液は受容器(3)内で均一に混合された後
、試料送給管(7)を経て計量管(8)、(9)へ送給
され、次いで回転式切換装置(lO)によって一定量の
試料が給水管(15)と排液管(16)を備えたNH3
測定槽(13)、N20゜測定槽(14)へそれぞれポ
ンプ(P、)、およびポンプ(P、)を介して送給され
る。そして測定槽(■3)ではサンプルpH(PHt)
、測定槽(14)ではサンプル電流(Xoがそれぞれ測
定される。受容器(3)内の残余の試料は排液管(11
)を経て系外へ排出される。N l−l3の濃度はpF
r変化(lpl−1t−pI−1i)より所定の式によ
り決定されろ。
4)から前記のようにしてそれぞれ送給された発泡抑制
液および被検液は受容器(3)内で均一に混合された後
、試料送給管(7)を経て計量管(8)、(9)へ送給
され、次いで回転式切換装置(lO)によって一定量の
試料が給水管(15)と排液管(16)を備えたNH3
測定槽(13)、N20゜測定槽(14)へそれぞれポ
ンプ(P、)、およびポンプ(P、)を介して送給され
る。そして測定槽(■3)ではサンプルpH(PHt)
、測定槽(14)ではサンプル電流(Xoがそれぞれ測
定される。受容器(3)内の残余の試料は排液管(11
)を経て系外へ排出される。N l−l3の濃度はpF
r変化(lpl−1t−pI−1i)より所定の式によ
り決定されろ。
さらにN70.標準液(被検液の約半分の濃度)は標準
液送給管(12)を経て受容器(3)へ送給される過程
で計量管(9)へ送給され、次いで回転式切換装置によ
って一定量の標準液がHt Oを測定槽(14)ヘボン
ブ(P、)を介して送給され、標準電流x2が測定され
る。受容器(3)内の残余の標準液は排液管(11)を
経て系外へ排出される。
液送給管(12)を経て受容器(3)へ送給される過程
で計量管(9)へ送給され、次いで回転式切換装置によ
って一定量の標準液がHt Oを測定槽(14)ヘボン
ブ(P、)を介して送給され、標準電流x2が測定され
る。受容器(3)内の残余の標準液は排液管(11)を
経て系外へ排出される。
H2O,の濃度は次式
%式%)
で決定される。
なお、第2図の装置において、受容器(3)、測定槽(
13Xl 4)並びに貯槽(19)および(20)内へ
の送給およびそれらからの排液の手段としては、ポンプ
、あるいはエアーポンプ(21)のエアー圧にるも、の
などが利用できる。
13Xl 4)並びに貯槽(19)および(20)内へ
の送給およびそれらからの排液の手段としては、ポンプ
、あるいはエアーポンプ(21)のエアー圧にるも、の
などが利用できる。
上記の装置だけでなく、一般の測定装置(例えばオート
タイトレータ−等)に接続しても同様に発泡性被検液の
精度よい計量を提供することができる。
タイトレータ−等)に接続しても同様に発泡性被検液の
精度よい計量を提供することができる。
以上の操作を繰り返すことによって被検液を連続的に計
量して測定処理に付すことができる。
量して測定処理に付すことができる。
本発明の適用対象としては前記のN Hs −Ht O
tもしくはNaOHHtOt(発泡抑制液:硫酸)のほ
かに、NaCl20(発泡抑制液: NaOH)、N
H3(発泡抑制液:硫酸)、5O7(発泡抑制液: N
aOH)等が例示される。
tもしくはNaOHHtOt(発泡抑制液:硫酸)のほ
かに、NaCl20(発泡抑制液: NaOH)、N
H3(発泡抑制液:硫酸)、5O7(発泡抑制液: N
aOH)等が例示される。
発明の効果
本発明によれば、被検液中の既存の気泡を簡易な気液分
離処理によって効率よく消失させることができるだけで
なく、新たな発泡を発泡抑制液によって効果的に抑制さ
せることができるので、発泡性被検液を気泡に起因する
誤差を伴うことなく精度よく計量することができる。従
って、内径がIJIff程度の計量管内でも気泡は存在
せず、正確な計量が可能であると共に、発泡抑制液の混
合比を一定にすることができるので、その後のデータ処
理が容易である。
離処理によって効率よく消失させることができるだけで
なく、新たな発泡を発泡抑制液によって効果的に抑制さ
せることができるので、発泡性被検液を気泡に起因する
誤差を伴うことなく精度よく計量することができる。従
って、内径がIJIff程度の計量管内でも気泡は存在
せず、正確な計量が可能であると共に、発泡抑制液の混
合比を一定にすることができるので、その後のデータ処
理が容易である。
第1図は本発明を実施するのに好適なサンプリング装置
の一態様の要部を示す模式図である。 第2図は本発明方法によって計量した発泡性被検液のH
、Of、NH,の濃度を同時に測定する装置の模式図で
ある。 (1)は発泡抑制液、(2)は発泡性被検液、(3)は
受容器、(4)は被検液送給管、(5)は発泡性抑制液
送給管、(7)は試料送給管、(8)および(9)は計
量管、(lO)は回転式切換装置、(12)は標準液送
給管、(13)および(14)はオートタイトレータ−
1(15)は給水管、(17)はp)(試薬送給管、(
18)は緩衝液送給管、(19)および(20)は貯槽
、(21)はエアーポンプ、(22)pH電極、(23
)定電位電解電極、(ELυおよび(E L t)は電
極式液面計、(M)はマグネチックスクーラー、(Pl
)〜(P、)はポンプを示す。 第1図 L2
の一態様の要部を示す模式図である。 第2図は本発明方法によって計量した発泡性被検液のH
、Of、NH,の濃度を同時に測定する装置の模式図で
ある。 (1)は発泡抑制液、(2)は発泡性被検液、(3)は
受容器、(4)は被検液送給管、(5)は発泡性抑制液
送給管、(7)は試料送給管、(8)および(9)は計
量管、(lO)は回転式切換装置、(12)は標準液送
給管、(13)および(14)はオートタイトレータ−
1(15)は給水管、(17)はp)(試薬送給管、(
18)は緩衝液送給管、(19)および(20)は貯槽
、(21)はエアーポンプ、(22)pH電極、(23
)定電位電解電極、(ELυおよび(E L t)は電
極式液面計、(M)はマグネチックスクーラー、(Pl
)〜(P、)はポンプを示す。 第1図 L2
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、第1液面計および第1液面計よりも上部に設定され
た第2液面計を備えた受容器内へ、発泡抑制液を第1液
面計によって制御される第1準位まで供給し、該発泡抑
制液を攪拌しながら、発泡性被検液を第2液面計によっ
て制御される第2準位より上部から受容器側壁部に沿っ
て伝わらせながら第2準位まで供給し、攪拌を続行後、
均一な混合液を計量管へ送給することを特徴とする発泡
性被検液の計量方法。 2、発泡性被検液がNH_3−H_2O_2水溶液また
はNaOH−H_2O_2水溶液であり、発泡抑制液が
硫酸である第1項記載の方法。 3、液面計が電極式である第1項記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25417386A JPS63107739A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 発泡性被検液の計量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25417386A JPS63107739A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 発泡性被検液の計量方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107739A true JPS63107739A (ja) | 1988-05-12 |
| JPH0563217B2 JPH0563217B2 (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=17261245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25417386A Granted JPS63107739A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 発泡性被検液の計量方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63107739A (ja) |
-
1986
- 1986-10-24 JP JP25417386A patent/JPS63107739A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0563217B2 (ja) | 1993-09-10 |
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