JPS6310816Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6310816Y2 JPS6310816Y2 JP19146384U JP19146384U JPS6310816Y2 JP S6310816 Y2 JPS6310816 Y2 JP S6310816Y2 JP 19146384 U JP19146384 U JP 19146384U JP 19146384 U JP19146384 U JP 19146384U JP S6310816 Y2 JPS6310816 Y2 JP S6310816Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- counter electrode
- electrodes
- axial direction
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は、プラズマ処理装置に関するものであ
る。
る。
従来の装置は、例えば第３図に示すように、反
応室１０内に設置されたサセプタ側の電極１２に
対向した対向電極２０が、反応室１０の反応室蓋
１１に取付けた軸受１３に案内されて、電極上下
用ねじ１４によつて反応室蓋１１に支持されたも
のがある。この装置は、プラズマ処理を行う対象
によつて使用ガスを変え、使用ガスごとに最適な
プラズマを得るために電極間の間隔を調整する必
要があり、固定された電極１２に対して対向電極
２０を電極上下用ねじ１４によつて動かし、電極
間の間隔を調整するようにしており、電極上下用
ねじ１４を手で調整する手動方式であつた。ま
た、電極１２に対しての対向電極２０の平行度に
ついては、対向電極２０を単に軸受１３によつて
ガイドしているだけで、対向電極２０の傾きを調
整するようにはなつておらず、電極間の平行度に
ついての調整にはあまり重要視していなかつた。
応室１０内に設置されたサセプタ側の電極１２に
対向した対向電極２０が、反応室１０の反応室蓋
１１に取付けた軸受１３に案内されて、電極上下
用ねじ１４によつて反応室蓋１１に支持されたも
のがある。この装置は、プラズマ処理を行う対象
によつて使用ガスを変え、使用ガスごとに最適な
プラズマを得るために電極間の間隔を調整する必
要があり、固定された電極１２に対して対向電極
２０を電極上下用ねじ１４によつて動かし、電極
間の間隔を調整するようにしており、電極上下用
ねじ１４を手で調整する手動方式であつた。ま
た、電極１２に対しての対向電極２０の平行度に
ついては、対向電極２０を単に軸受１３によつて
ガイドしているだけで、対向電極２０の傾きを調
整するようにはなつておらず、電極間の平行度に
ついての調整にはあまり重要視していなかつた。
しかし、プラズマ処理の能率上からは対向電極
２０の位置決め等を自動化し、作業時間の短縮化
が必要であり、また、プラズマ処理の精度上から
は電極間の間隔の調整に合せ電極間を平行に支持
し、電極間の電圧分布を一様にしてプラズマを安
定させる必要がある。
２０の位置決め等を自動化し、作業時間の短縮化
が必要であり、また、プラズマ処理の精度上から
は電極間の間隔の調整に合せ電極間を平行に支持
し、電極間の電圧分布を一様にしてプラズマを安
定させる必要がある。
なお、この種の装置として関連するものには例
えば、特開昭57−156034号公報がある。
えば、特開昭57−156034号公報がある。
本考案の目的は、使用ガスに合つた最適のプラ
ズマを容易に発生させることのできるプラズマ処
理装置を提供することにある。
ズマを容易に発生させることのできるプラズマ処
理装置を提供することにある。
本考案は、サセプタ側の電極に対向する対向電
極に、該対向電極を該電極に対して軸方向に移動
させる移動手段と、該対向電極を前記軸方向に案
内すると共に該対向電極を前記軸方向に対して直
角方向に調整可能に動かせる軸受手段とを設けた
ことを特徴とし、使用ガスに合つた最適のプラズ
マを容易に発生させることのできるものである。
極に、該対向電極を該電極に対して軸方向に移動
させる移動手段と、該対向電極を前記軸方向に案
内すると共に該対向電極を前記軸方向に対して直
角方向に調整可能に動かせる軸受手段とを設けた
ことを特徴とし、使用ガスに合つた最適のプラズ
マを容易に発生させることのできるものである。
以下、本考案の一実施例を第１図と第２図とに
より説明する。
より説明する。
対向電極２０は電極面と軸部と電極を絶縁する
絶縁材２１とから成る。対向電極２０は反応室１
０内に設けられたサセプタ側の電極１２に対向し
て、反応室１０の反応室蓋１１に支持される。対
向電極２０は反応室蓋１１を貫通して電極面が反
応室１０内に入り、対向電極２０の軸部が大気中
に出ている。反応室１０内部は一方を対向電極２
０に、また他方を反応室蓋１１に取付けたベロー
ズ２２によつて大気としや断されている。対向電
極１２は対向電極１２の軸部に設けたつば２３を
移動手段である電極上下装置３０のガイド３１に
よつて軸方向に支持され、対向電極１２の軸部外
周を軸受手段である軸受装置４０によつて軸方向
に対して直角方向に支持されている。
絶縁材２１とから成る。対向電極２０は反応室１
０内に設けられたサセプタ側の電極１２に対向し
て、反応室１０の反応室蓋１１に支持される。対
向電極２０は反応室蓋１１を貫通して電極面が反
応室１０内に入り、対向電極２０の軸部が大気中
に出ている。反応室１０内部は一方を対向電極２
０に、また他方を反応室蓋１１に取付けたベロー
ズ２２によつて大気としや断されている。対向電
極１２は対向電極１２の軸部に設けたつば２３を
移動手段である電極上下装置３０のガイド３１に
よつて軸方向に支持され、対向電極１２の軸部外
周を軸受手段である軸受装置４０によつて軸方向
に対して直角方向に支持されている。
電極上下装置３０は、モータによつてガイドね
じを回してガイド３１を上下させる方法や、空気
または油圧によつてシリンダを伸縮させてガイド
３１を上下させる方法等によるものである。
じを回してガイド３１を上下させる方法や、空気
または油圧によつてシリンダを伸縮させてガイド
３１を上下させる方法等によるものである。
軸受装置４０は第２図に示すように、ベース４
１と軸受４２と位置決めねじ４３とから成り、対
向電極２０に取付けた絶縁材２１の外周面に当つ
た軸受４２が、軸受４２につながれた位置決めね
じ４３を回すことによつて、ベース４７に案内さ
れて対向電極２０の軸方向に対して直角方向に出
入りする。軸受装置４０は、対向電極２０の軸部
の上下２か所を支持し、上側下側共少なくとも３
個以上の軸受装置４０によつて支持している。
１と軸受４２と位置決めねじ４３とから成り、対
向電極２０に取付けた絶縁材２１の外周面に当つ
た軸受４２が、軸受４２につながれた位置決めね
じ４３を回すことによつて、ベース４７に案内さ
れて対向電極２０の軸方向に対して直角方向に出
入りする。軸受装置４０は、対向電極２０の軸部
の上下２か所を支持し、上側下側共少なくとも３
個以上の軸受装置４０によつて支持している。
以上のように、対向電極２０は電極１２に対し
て、電極上下装置３０によつて電極間の間隔をセ
ツトされ、軸受装置４０によつて対向電極２０の
傾きを変え電極間の平行を調整される。
て、電極上下装置３０によつて電極間の間隔をセ
ツトされ、軸受装置４０によつて対向電極２０の
傾きを変え電極間の平行を調整される。
上記実施例によれば、対向電極２０を電極上下
装置３０によつて軸方向に移動させることができ
るので、電極間の間隔を使用するガスに合わせて
自動的にセツトでき、軸受装置４０によつて対向
電極２０を傾けることができるので、電極間を平
行に合わせることができ、使用ガスに合わせて最
適なプラズマを容易に発生させることができる。
装置３０によつて軸方向に移動させることができ
るので、電極間の間隔を使用するガスに合わせて
自動的にセツトでき、軸受装置４０によつて対向
電極２０を傾けることができるので、電極間を平
行に合わせることができ、使用ガスに合わせて最
適なプラズマを容易に発生させることができる。
本考案によれば、電極間の間隔を自動的にセツ
トでき、かつ電極間の平行を調整できるので、使
用ガスに合つた最適のプラズマを容易に発生させ
ることができるという効果がある。
トでき、かつ電極間の平行を調整できるので、使
用ガスに合つた最適のプラズマを容易に発生させ
ることができるという効果がある。
第１図は本考案の一実施例であるプラズマ処理
装置を示す断面図、第２図は第１図をAAから見
た平断面図、第３図は従来例であるプラズマ処理
装置を示す断面図である。 １２……電極、２０……対向電極、３０……電
極上下装置、４０……軸受装置。
装置を示す断面図、第２図は第１図をAAから見
た平断面図、第３図は従来例であるプラズマ処理
装置を示す断面図である。 １２……電極、２０……対向電極、３０……電
極上下装置、４０……軸受装置。
Claims (1)
- サセプタ側の電極に対向する対向電極に、該対
向電極を該電極に対して軸方向に移動させる移動
手段と、該対向電極を前記軸方向に案内すると共
に該対向電極を前記軸方向に対して直角方向に調
整可能に動かせる軸受手段とを設けたことを特徴
とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146384U JPS6310816Y2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146384U JPS6310816Y2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61106337U JPS61106337U (ja) | 1986-07-05 |
| JPS6310816Y2 true JPS6310816Y2 (ja) | 1988-03-31 |
Family
ID=30748902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19146384U Expired JPS6310816Y2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310816Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP19146384U patent/JPS6310816Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61106337U (ja) | 1986-07-05 |
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