JPS6310909A - 弾性表面波共振子の周波数調整方法 - Google Patents
弾性表面波共振子の周波数調整方法Info
- Publication number
- JPS6310909A JPS6310909A JP15543186A JP15543186A JPS6310909A JP S6310909 A JPS6310909 A JP S6310909A JP 15543186 A JP15543186 A JP 15543186A JP 15543186 A JP15543186 A JP 15543186A JP S6310909 A JPS6310909 A JP S6310909A
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- JP
- Japan
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- center frequency
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave resonator
- oxide film
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、圧電基板上にすだれ状電極が少なくとも設け
られている弾性表面波共振子の中心周波数を調整する方
法に関する。
られている弾性表面波共振子の中心周波数を調整する方
法に関する。
（従来の技術とその問題点）
最近では、ＩＣ製造技術により圧電基板上にすだれ状電
極、例えば、インターデジタルトランスジューサ（以下
、ＩＤＴと略記する）電極や反射器を設けた構造の弾性
表面波共振子が多用されている。
極、例えば、インターデジタルトランスジューサ（以下
、ＩＤＴと略記する）電極や反射器を設けた構造の弾性
表面波共振子が多用されている。
ところで、この種の弾性表面波共振子においては、圧電
基板での弾性波の伝搬速度（単結晶基板においてはカッ
ト面の軸方位精度）、ＩＤＴ電極や反射器の膜厚、更に
はＩＤＴ電極の幅のばらつき等により、中心周波数が変
動してしまうことがある。
基板での弾性波の伝搬速度（単結晶基板においてはカッ
ト面の軸方位精度）、ＩＤＴ電極や反射器の膜厚、更に
はＩＤＴ電極の幅のばらつき等により、中心周波数が変
動してしまうことがある。
そこで、従来はレーザー・バーニング調整法により中心
周波数を設定していた。即ち、このレーザー・バーニン
グ調整法はＩＤＴ電極や反射器のメタルストリップ反射
格子にレーザービームにてトリミング製飾して反射器間
の実効対向距離を変化させ、これにより中心周波数を調
整する方法である。しかし、かかる調整法では周波数特
性も僅かではあるが変化してしまう上に複雑で高価な装
置を必要とし、かつ一度に多数の弾性表面波共振子を調
整することが不可能なため作業性の点で問題を有してい
る。
周波数を設定していた。即ち、このレーザー・バーニン
グ調整法はＩＤＴ電極や反射器のメタルストリップ反射
格子にレーザービームにてトリミング製飾して反射器間
の実効対向距離を変化させ、これにより中心周波数を調
整する方法である。しかし、かかる調整法では周波数特
性も僅かではあるが変化してしまう上に複雑で高価な装
置を必要とし、かつ一度に多数の弾性表面波共振子を調
整することが不可能なため作業性の点で問題を有してい
る。
一方、グループ（溝）型反射器を有する弾性表面波共振
子においてはＩＤＴ電極の膜厚の外にグループの深さに
よっても中心周波数が変化する。
子においてはＩＤＴ電極の膜厚の外にグループの深さに
よっても中心周波数が変化する。
このため、この種の弾性表面波共振子ではドライエツチ
ング調整法により中心周波数を設定している。即ち、水
晶製の圧電基板にアルミニウム等の膜より成るＩＤＴ電
極や反射器を設けた場合には、ＩＤＴ電極や反射器をレ
ジストとして用いてガスプラズマにより圧電基板をエツ
チングし、又はＩＤＴ電極や反射器側をエツチングし、
これにより周波数の増減に対応させて弾性表面波（以下
、ＳＡＷと略記する）の伝搬速度を変化させ、中心周波
数を設定している。しかし、この調整法では同様に複雑
で高価な装置を必要とする上にＩＤＴ電極等の膜厚やグ
ループの深さが変化することから温度特性や周波数特性
が変化してしまう欠点がある。また、ＩＤＴ電極や反射
器をエッチソゲする場合にはＣ交（塩素）ガス等を、圧
電基板をエツチングする場合にはＣＦ、（テトラフロロ
メタン）ガス等を用いる必要があるため、エツチング対
象に応じてエツチングガスを変更しなければならず、作
業性の点で問題がある。
ング調整法により中心周波数を設定している。即ち、水
晶製の圧電基板にアルミニウム等の膜より成るＩＤＴ電
極や反射器を設けた場合には、ＩＤＴ電極や反射器をレ
ジストとして用いてガスプラズマにより圧電基板をエツ
チングし、又はＩＤＴ電極や反射器側をエツチングし、
これにより周波数の増減に対応させて弾性表面波（以下
、ＳＡＷと略記する）の伝搬速度を変化させ、中心周波
数を設定している。しかし、この調整法では同様に複雑
で高価な装置を必要とする上にＩＤＴ電極等の膜厚やグ
ループの深さが変化することから温度特性や周波数特性
が変化してしまう欠点がある。また、ＩＤＴ電極や反射
器をエッチソゲする場合にはＣ交（塩素）ガス等を、圧
電基板をエツチングする場合にはＣＦ、（テトラフロロ
メタン）ガス等を用いる必要があるため、エツチング対
象に応じてエツチングガスを変更しなければならず、作
業性の点で問題がある。
その他の周波数調整法として、弾性表面波共振子の上面
に誘電体膜を設け、ＳＡＷの伝搬速度を変化させて中心
周波数を設定する誘電体付着法が知られている。しかし
、この誘電体付着法では、スパッタ装置や蒸着装置等を
別個に必要とするため、装置規模が大きくなってしまう
上にりｉ性表面波共振子の単価が高価になってしまう。
に誘電体膜を設け、ＳＡＷの伝搬速度を変化させて中心
周波数を設定する誘電体付着法が知られている。しかし
、この誘電体付着法では、スパッタ装置や蒸着装置等を
別個に必要とするため、装置規模が大きくなってしまう
上にりｉ性表面波共振子の単価が高価になってしまう。
（問題点を解決するための手段）
本発明はこのような点を解決するためになされたもので
、圧電基板上に少なくとも設けたすだれ状電極の表面に
酸化膜を設け、ＳＡＷの伝搬速度を変化させて中心周波
数を設定する弾性表面波共振子の周波数調整方法を提供
することを目的とする。
、圧電基板上に少なくとも設けたすだれ状電極の表面に
酸化膜を設け、ＳＡＷの伝搬速度を変化させて中心周波
数を設定する弾性表面波共振子の周波数調整方法を提供
することを目的とする。
（発明の実施例）
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
。
第１図は弾性表面波共振子の一例を示す斜視図、第２図
は第１図のＡ−Ａ線断面図であり、１は圧電基板を示し
ている。この圧電基板は水晶より形成され、板面の中央
にアルミニウム膜から成るＩＤＴ電極２．３が設けられ
、板面の両側にアルミニウム膜から成る反射器４．５が
それぞれ設けられている。ＩＤＴ電極２．３には外部電
極（図示せず）と接続するためのポンディングワイヤ６
．６の一端がそれぞれポンディングされている。
は第１図のＡ−Ａ線断面図であり、１は圧電基板を示し
ている。この圧電基板は水晶より形成され、板面の中央
にアルミニウム膜から成るＩＤＴ電極２．３が設けられ
、板面の両側にアルミニウム膜から成る反射器４．５が
それぞれ設けられている。ＩＤＴ電極２．３には外部電
極（図示せず）と接続するためのポンディングワイヤ６
．６の一端がそれぞれポンディングされている。
かかる構成の弾性表面波共振子において、ポンディング
ワイヤ６．６を介してＩＤＴ電極２．３に高周波電気信
号を加えると、圧電基板１の中心周波数と高周波電気信
号の周波数が一致した時点で圧電基板１が共振して大き
な振動を起こす。
ワイヤ６．６を介してＩＤＴ電極２．３に高周波電気信
号を加えると、圧電基板１の中心周波数と高周波電気信
号の周波数が一致した時点で圧電基板１が共振して大き
な振動を起こす。
次に、本発明に係る周波数調整方法について説明する。
先ず、上記弾性表面波共振子をパッケージの所定位置に
グイポンディングし、続いてＩＤＴ電極２．３にポンデ
ィングワイヤ６．６をワイヤポンディングする。
グイポンディングし、続いてＩＤＴ電極２．３にポンデ
ィングワイヤ６．６をワイヤポンディングする。
次に、このパッケージソゲした弾性表面波共振子を酸素
プラズマ中に配置し、第３図に示すように、ＩＤＴ電極
２．３及び反射器４．５の表面に酸化膜（ＡＪＬｚ○３
）７を形成する。この酸化膜７の形成工程では、プラズ
マ放電時間に対する中心周波数の変化量を検知し、所望
中心周波数を得るようにプラズマ放電時間を制御し、酸
化膜７を所定の膜厚に形成する。即ち、例えば、第４図
に示すように、製造時の弾性表面波共振子の中心周波数
がｆ、の場合には、プラズマ放電時間に対する中心周波
数（ＳＡＷの伝搬速度）の増大を検知し、その中心周波
数が所望の値ｆｏになった時点でプラズマ放電を停止し
、酸化膜７を所定膜厚に形成する。
プラズマ中に配置し、第３図に示すように、ＩＤＴ電極
２．３及び反射器４．５の表面に酸化膜（ＡＪＬｚ○３
）７を形成する。この酸化膜７の形成工程では、プラズ
マ放電時間に対する中心周波数の変化量を検知し、所望
中心周波数を得るようにプラズマ放電時間を制御し、酸
化膜７を所定の膜厚に形成する。即ち、例えば、第４図
に示すように、製造時の弾性表面波共振子の中心周波数
がｆ、の場合には、プラズマ放電時間に対する中心周波
数（ＳＡＷの伝搬速度）の増大を検知し、その中心周波
数が所望の値ｆｏになった時点でプラズマ放電を停止し
、酸化膜７を所定膜厚に形成する。
このように、ＩＤＴ電極２．３及び反射器４．５に所定
の膜厚で酸化膜７を形成する場合には、上述したように
、ダイポンディング等を行なった後に多数の弾性表面波
共振子を酸素プラズマ中に単に配置して中心周波数の変
化を検知すればよいので、一度に多数の弾性表面波共振
子の中心周波数を調整することができる上にプラズマ放
電を停止して酸化膜７を所定の膜厚に形成するだけであ
ることから簡単な作業により中心周波数を高精度で設定
することができる。また、酸化膜７を形成するだけなの
で、装置構成が簡単であり、しかも弾性表面波共振子の
周波数特性や温度特性が変化することもない。
の膜厚で酸化膜７を形成する場合には、上述したように
、ダイポンディング等を行なった後に多数の弾性表面波
共振子を酸素プラズマ中に単に配置して中心周波数の変
化を検知すればよいので、一度に多数の弾性表面波共振
子の中心周波数を調整することができる上にプラズマ放
電を停止して酸化膜７を所定の膜厚に形成するだけであ
ることから簡単な作業により中心周波数を高精度で設定
することができる。また、酸化膜７を形成するだけなの
で、装置構成が簡単であり、しかも弾性表面波共振子の
周波数特性や温度特性が変化することもない。
上記実施例では、酸化膜７を酸素プラズマにより形成し
たが、弾性表面波共振子を酸化液に所定時間だけ浸漬す
る等により形成してもよい。
たが、弾性表面波共振子を酸化液に所定時間だけ浸漬す
る等により形成してもよい。
尚、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）やタンタル酸リ
チウム（ＬｉＴａ０３）等から成る圧電基板を有する弾
性表面波共振子であっても同様にＩＤＴ電極等に酸化膜
を形成して中心周波数を調整できるのは勿論である。
チウム（ＬｉＴａ０３）等から成る圧電基板を有する弾
性表面波共振子であっても同様にＩＤＴ電極等に酸化膜
を形成して中心周波数を調整できるのは勿論である。
また、本発明に係る調整方法は圧電基板上に、シングル
フェイズトランスジューサ電極を設けた弾性表面波共振
子にも適用できる。
フェイズトランスジューサ電極を設けた弾性表面波共振
子にも適用できる。
（発明の効果）
本発明によれば、圧電基板上に少なくとも設けたすだれ
状電極の表面に酸化膜を設け、ＳＡＷの伝搬速度を変化
させて中心周波数を設定するようにしたので、多数の弾
性表面波共振子を酸素プラズマ中に設置してプラズマ放
電時間を制御する等により作業性よく、しかも簡単な装
置構成で一度にこれらのりｉ性表面波共振子の中心周波
数を高精度で調整することができる。従って、品質的に
優れたりｉ性表面波共振子を安価に提供することができ
る。
状電極の表面に酸化膜を設け、ＳＡＷの伝搬速度を変化
させて中心周波数を設定するようにしたので、多数の弾
性表面波共振子を酸素プラズマ中に設置してプラズマ放
電時間を制御する等により作業性よく、しかも簡単な装
置構成で一度にこれらのりｉ性表面波共振子の中心周波
数を高精度で調整することができる。従って、品質的に
優れたりｉ性表面波共振子を安価に提供することができ
る。
第１図は本発明に係る周波数調整方法を適用する弾性表
面波共振子の斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図
、第３図は本発明に係る周波数調整方法により酸化膜の
形成された弾性表面波共振子の断面図、第４図はプラズ
マ放電時間に対する中心周波数変化を示す特性図である
。 １・・・圧電基板、 ２．３・・・ＩＤＴ電極、 ４．５・・・反射器、 ６・・・ポンディングワイヤ、 ７・・・酸化膜。 第１図 第２図 第３図
面波共振子の斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図
、第３図は本発明に係る周波数調整方法により酸化膜の
形成された弾性表面波共振子の断面図、第４図はプラズ
マ放電時間に対する中心周波数変化を示す特性図である
。 １・・・圧電基板、 ２．３・・・ＩＤＴ電極、 ４．５・・・反射器、 ６・・・ポンディングワイヤ、 ７・・・酸化膜。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電基板上に弾性表面波を励振するためのすだれ状
電極が少なくとも設けられている弾性表面波共振子にお
いて、前記すだれ状電極の表面に酸化膜を設けて前記弾
性表面波の伝搬速度を変化させ、中心周波数を設定する
ことを特徴とする弾性表面波共振子の周波数調整方法。 ２、該圧電基板上に該すだれ状電極と共に反射器が設け
られている弾性表面波共振子において、該反射器の表面
に該すだれ状電極と共に酸化膜を設けることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の弾性表面波共振子の周
波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15543186A JPS6310909A (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | 弾性表面波共振子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15543186A JPS6310909A (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | 弾性表面波共振子の周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310909A true JPS6310909A (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=15605868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15543186A Pending JPS6310909A (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | 弾性表面波共振子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310909A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8933238B2 (en) | 2013-03-11 | 2015-01-13 | Saudi Basic Industries Corporation | Aryloxy-phthalocyanines of group III metals |
| US9040710B2 (en) | 2013-03-11 | 2015-05-26 | Saudi Basic Industries Corporation | Aryloxy-phthalocyanines of group IV metals |
-
1986
- 1986-07-02 JP JP15543186A patent/JPS6310909A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8933238B2 (en) | 2013-03-11 | 2015-01-13 | Saudi Basic Industries Corporation | Aryloxy-phthalocyanines of group III metals |
| US9040710B2 (en) | 2013-03-11 | 2015-05-26 | Saudi Basic Industries Corporation | Aryloxy-phthalocyanines of group IV metals |
| US9362509B2 (en) | 2013-03-11 | 2016-06-07 | Saudi Basic Industries Corporation | Aryloxy-phthalocyanines of group IV metals |
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