JPS63111401A - バルブ位置センサ並びにバルブ位置検出方法 - Google Patents
バルブ位置センサ並びにバルブ位置検出方法Info
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- JPS63111401A JPS63111401A JP25719386A JP25719386A JPS63111401A JP S63111401 A JPS63111401 A JP S63111401A JP 25719386 A JP25719386 A JP 25719386A JP 25719386 A JP25719386 A JP 25719386A JP S63111401 A JPS63111401 A JP S63111401A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は油圧系プランジャバルブの間接位置センサー並
びに油圧系プランジャバルブの間接位置検出方法に係る
。
びに油圧系プランジャバルブの間接位置検出方法に係る
。
従来、油圧系プランジャ型のバルブを制御するために差
動トランス式の位置検出メータが使用されている。この
位置検出メータの構造は、プランジャ弁に連結した可動
鉄心の周囲に差動トランスを配し、可動鉄心の摺動に応
じて生じる電圧変化を測定する態様のものである。
動トランス式の位置検出メータが使用されている。この
位置検出メータの構造は、プランジャ弁に連結した可動
鉄心の周囲に差動トランスを配し、可動鉄心の摺動に応
じて生じる電圧変化を測定する態様のものである。
最近、工作機械、建設機械、クレーン等における油圧制
御では、バルブ開閉をセンサーで検出しながらコンピュ
ータで制御するため、微細なバルブの動きを確実に検出
する必要にせまられている。
御では、バルブ開閉をセンサーで検出しながらコンピュ
ータで制御するため、微細なバルブの動きを確実に検出
する必要にせまられている。
しかし、プランジャ型バルブにおいては、高圧の油の中
に検出器を内蔵することは電気的取出部の問題を含めて
不可能なのでシリンダの外部から間接的に検知すること
が考えられる。
に検出器を内蔵することは電気的取出部の問題を含めて
不可能なのでシリンダの外部から間接的に検知すること
が考えられる。
そのため、従来、差動トランス方式が多く使われている
が、充分な感度を得るためには巻線のスペースが多く、
回路的にも複雑になり高価になる難点があった。
が、充分な感度を得るためには巻線のスペースが多く、
回路的にも複雑になり高価になる難点があった。
本発明は前記問題点を解決し、ローコストでコンパクト
、かつ温度変化にも影響をうけにくく正確な微小位置変
化も測定することのできる油圧系バルブの間接位1セン
サー並びに油圧系バルブの間接位置検出方法を提供する
ことを目的とするもので、具体的な手段として、 (1) シリンダの外周部に磁気センサをシリンダ長
手方向への可摺動自在に固定し、該磁気センサは片面に
磁気抵抗素子を存する永久磁石を該素子がシリンダに対
向状に接する態様で配設し、シリンダには先端部のヨー
クを前記磁気センサの対向間に配する態様で検出シャフ
トを可摺動状に内嵌し、該検出シャフト基端部は油圧系
プランジャ型バルブに同軸状に連結可能状に構成したこ
とを特徴とするバルブ位置センサ。
、かつ温度変化にも影響をうけにくく正確な微小位置変
化も測定することのできる油圧系バルブの間接位1セン
サー並びに油圧系バルブの間接位置検出方法を提供する
ことを目的とするもので、具体的な手段として、 (1) シリンダの外周部に磁気センサをシリンダ長
手方向への可摺動自在に固定し、該磁気センサは片面に
磁気抵抗素子を存する永久磁石を該素子がシリンダに対
向状に接する態様で配設し、シリンダには先端部のヨー
クを前記磁気センサの対向間に配する態様で検出シャフ
トを可摺動状に内嵌し、該検出シャフト基端部は油圧系
プランジャ型バルブに同軸状に連結可能状に構成したこ
とを特徴とするバルブ位置センサ。
(2)並びに、片面に磁気抵抗素子を固着した永久磁石
をプランジャ弁と連動するヨークを内蔵するシリンダ外
周に磁気抵抗素子を対向状として配設し、ヨークの変位
による磁界位置の変位による磁気抵抗素子の抵抗変化を
利用しアナログ電圧の出力としてプランジャ弁の変位を
検出することを特徴とするバルブ位置検出方法を構成す
る。
をプランジャ弁と連動するヨークを内蔵するシリンダ外
周に磁気抵抗素子を対向状として配設し、ヨークの変位
による磁界位置の変位による磁気抵抗素子の抵抗変化を
利用しアナログ電圧の出力としてプランジャ弁の変位を
検出することを特徴とするバルブ位置検出方法を構成す
る。
まず機械的には、非磁性体の検出用シリンダの内腔内に
ヨークを先端に向けて検出シャフトが内嵌されていて、
シリンダの基端部はバルブシリンダに、また検出シャフ
トの基端部は油圧系プランジャバルブに各々連結して使
用する。
ヨークを先端に向けて検出シャフトが内嵌されていて、
シリンダの基端部はバルブシリンダに、また検出シャフ
トの基端部は油圧系プランジャバルブに各々連結して使
用する。
しかして、油圧系プランジャバルブが変位したとき、検
出シャフト先端部のヨークが変位し、これによって、ヨ
ークと間接的に対向状に配しである磁気センサに対する
磁界が移動することになり、磁気抵抗素子の出力電圧が
変動する。、すなわち、バルブの変位に比例した出力電
圧が得られるので、この電圧変化を測定することによっ
てバルブの変位度を間接的に正確に検知することができ
る。
出シャフト先端部のヨークが変位し、これによって、ヨ
ークと間接的に対向状に配しである磁気センサに対する
磁界が移動することになり、磁気抵抗素子の出力電圧が
変動する。、すなわち、バルブの変位に比例した出力電
圧が得られるので、この電圧変化を測定することによっ
てバルブの変位度を間接的に正確に検知することができ
る。
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1図は油
圧系バルブ位置センサ要部断面図である。
圧系バルブ位置センサ要部断面図である。
シリンダ1は基端縁部にバルブシリンダ12に連結する
おねじから成る連結部4を形成してその先方部にフラン
ジ3を設けている。シリンダ1先端縁部は周面に平行な
平坦面を設はセンサ取付部LA、LAを形成し、その先
端部に關節具取付部5を突設しておねじを螺刻している
。該調節具取付部5にはローレットから成る関節具6を
螺着している。調節具6の基端縁部周面には、周面に沿
って環状に案内溝6Aを刻設している。
おねじから成る連結部4を形成してその先方部にフラン
ジ3を設けている。シリンダ1先端縁部は周面に平行な
平坦面を設はセンサ取付部LA、LAを形成し、その先
端部に關節具取付部5を突設しておねじを螺刻している
。該調節具取付部5にはローレットから成る関節具6を
螺着している。調節具6の基端縁部周面には、周面に沿
って環状に案内溝6Aを刻設している。
前記取付部IA、IAには磁気センサ7を嵌装している
。該磁気センサ7は第2図に断面を示すように、方形枠
状のヨーク板7A内側に永久磁石7B、7Cを2(’a
、各々S極とN極を対向させて配設し、両磁石7B、7
Cの対向内側面に磁気抵抗素子7D、7Eを固着してあ
り、該磁気抵抗素子?D、7Eを前記シリンダのセンサ
取付部IA。
。該磁気センサ7は第2図に断面を示すように、方形枠
状のヨーク板7A内側に永久磁石7B、7Cを2(’a
、各々S極とN極を対向させて配設し、両磁石7B、7
Cの対向内側面に磁気抵抗素子7D、7Eを固着してあ
り、該磁気抵抗素子?D、7Eを前記シリンダのセンサ
取付部IA。
I八に密接させる態様で嵌装させている。
前記ヨーク板7Aの一側面には調整板7Fを固定し、そ
の先端部を曲成して2又状とし、前記関節具6の案内溝
6Aに係合させである。
の先端部を曲成して2又状とし、前記関節具6の案内溝
6Aに係合させである。
上記構成において、関節具6をねしなりに回すとMgf
/jJ節具6は調節具取付部5の長手方向に進退するた
め、稠節板7Fを介して磁気センサ7もセンサ取付部I
A、IAの長平方向に進退移動し、すなわち磁気センサ
7の設定位置を移動調整させることができる。この場合
、調節具6が回転するとき、調整板7F先端部と案内溝
6Aは摺接している。
/jJ節具6は調節具取付部5の長手方向に進退するた
め、稠節板7Fを介して磁気センサ7もセンサ取付部I
A、IAの長平方向に進退移動し、すなわち磁気センサ
7の設定位置を移動調整させることができる。この場合
、調節具6が回転するとき、調整板7F先端部と案内溝
6Aは摺接している。
前記調整板7Aは、板体を折曲げて形成して、その突合
わせ部において両端部7c、1I−iを対向状に横倒へ
突出させ、ネジ7J止めとしである。
わせ部において両端部7c、1I−iを対向状に横倒へ
突出させ、ネジ7J止めとしである。
前記磁気抵抗素子7D、7Eは第3図に示すように、1
個の永久磁石7B、7Cの各々に対して2個の磁気抵抗
素子7D、7D’と72,7E’を各々直列状に結線7
に、7にで接続し、該結線7に、7Kから出力線7L、
7Lを延出している。
個の永久磁石7B、7Cの各々に対して2個の磁気抵抗
素子7D、7D’と72,7E’を各々直列状に結線7
に、7にで接続し、該結線7に、7Kから出力線7L、
7Lを延出している。
また、各磁気抵抗素子7D、7D’、7E、7E′の首
部素子?D、7Eには一方にプラスの一方にマイナスの
入力回路7M、7M’を接続し、各尾部素子?D’、7
E’には対向する側の首部素子7D’、I已に接続され
ている入力回路7M。
部素子?D、7Eには一方にプラスの一方にマイナスの
入力回路7M、7M’を接続し、各尾部素子?D’、7
E’には対向する側の首部素子7D’、I已に接続され
ている入力回路7M。
7M’から迅回線7N、7Nを接続してクロス接続をし
ている0図中符号8,8′は出力端子である。
ている0図中符号8,8′は出力端子である。
前記検出シリンダ1の内腔2には第4図によく示す検出
シャフト9を摺動自在に嵌装している。
シャフト9を摺動自在に嵌装している。
該検出シャフト9はステンレススチール製の丸棒体であ
り、バルブと連結してバルブの変位を検出するためのも
ので先端部に軟鉄から成るヨークIOを固着している。
り、バルブと連結してバルブの変位を検出するためのも
ので先端部に軟鉄から成るヨークIOを固着している。
また検出シャフト9の基端部には、バルブ(プランジャ
)1kに連結する連結部9Bを、おねじの螺刻をもって
形成している。
)1kに連結する連結部9Bを、おねじの螺刻をもって
形成している。
また検出シャフト9基端縁部には、やや大径のストッパ
9Aを形成してあり、該ストッパ9Aにより検出シャフ
ト9のシリンダl内への過分の移動が停止される。
9Aを形成してあり、該ストッパ9Aにより検出シャフ
ト9のシリンダl内への過分の移動が停止される。
上記構成において、第1図に示すように、検出シャフト
9は連結部9Bをプランジャ11と連結し、シリンダl
の連結部4をバルブシリンダ12に連結する。この状態
で、プランジャ11が所定の位置にセットできるように
、前記調節具6を回動させて磁気センサ7をシリンダ1
のセンサ取付部LA、LAに沿って長手方向へ進退させ
る。
9は連結部9Bをプランジャ11と連結し、シリンダl
の連結部4をバルブシリンダ12に連結する。この状態
で、プランジャ11が所定の位置にセットできるように
、前記調節具6を回動させて磁気センサ7をシリンダ1
のセンサ取付部LA、LAに沿って長手方向へ進退させ
る。
次にプランジャ11が長手方向に移動した場合、これと
連動してヨーク10が進退移動すると、磁気抵抗素子7
D、7D’、7E、7E’に対する磁界位置が変化し、
その結果、出力端子8,8′間の電圧はプラス、マイナ
スと変化する。
連動してヨーク10が進退移動すると、磁気抵抗素子7
D、7D’、7E、7E’に対する磁界位置が変化し、
その結果、出力端子8,8′間の電圧はプラス、マイナ
スと変化する。
前記磁気抵抗素子は、磁界によって抵抗値を制御できる
抵抗素子であり、この磁気抵抗効果は、ホール効果に基
づいている。素子内を通るキャリア(担体)は、電流方
向に垂直な磁界の作用をうけると方向が傾いて、キャリ
アのバスが長くなって素子の抵抗値は上昇する。この原
理を利用した磁気抵抗素子をそれぞれ磁石に固着した上
で、第3図の如くブリッヂに組み合せ、シリンダ外壁に
対向して設置したもので第5図はシリンダ内のヨークを
移動した時の出力特性の一例を示す。
抵抗素子であり、この磁気抵抗効果は、ホール効果に基
づいている。素子内を通るキャリア(担体)は、電流方
向に垂直な磁界の作用をうけると方向が傾いて、キャリ
アのバスが長くなって素子の抵抗値は上昇する。この原
理を利用した磁気抵抗素子をそれぞれ磁石に固着した上
で、第3図の如くブリッヂに組み合せ、シリンダ外壁に
対向して設置したもので第5図はシリンダ内のヨークを
移動した時の出力特性の一例を示す。
例えば、シリンダの肉厚が0.1鶴であると±1鶴のス
トロークに対し±0.78 Vであり、同じ(肉厚が1
uでは±0.3■と小さくなるが、出力の直線部分は殆
ど同じなので充分の検出精度をもつことができる。
トロークに対し±0.78 Vであり、同じ(肉厚が1
uでは±0.3■と小さくなるが、出力の直線部分は殆
ど同じなので充分の検出精度をもつことができる。
本発明においては、バルブと連動して動くヨークをシリ
ンダ1の外部から間接的に磁気センサで位置を検出する
ものであり、前記差動トランス方式に比して、高周波は
使用しないから高価な部材を必要とせず安価に、かつコ
ンパクトに作ることができ、径小なスペースにつけるこ
とができる。
ンダ1の外部から間接的に磁気センサで位置を検出する
ものであり、前記差動トランス方式に比して、高周波は
使用しないから高価な部材を必要とせず安価に、かつコ
ンパクトに作ることができ、径小なスペースにつけるこ
とができる。
コイルを使うものではないため、環境の温度変化に影響
されないし、位置決め変位による没取り時間を多(要さ
ない等の特長を有している。
されないし、位置決め変位による没取り時間を多(要さ
ない等の特長を有している。
なお、前記磁気センサは前記構成に限定されるものでは
なく、適宜設計変更することができる。
なく、適宜設計変更することができる。
例えば第6図以下に示すように、シリンダ1と磁気セン
サ7の取付態様を変化させることができる。すわなち、
第6図に示す実施例はシリンダ1の二面を対称に切削し
て平行な平坦面から成るセンサ取付部LB、LBを形成
してこのセンサ取付部IB、IBに磁気センサ7の磁気
抵抗素子7D。
サ7の取付態様を変化させることができる。すわなち、
第6図に示す実施例はシリンダ1の二面を対称に切削し
て平行な平坦面から成るセンサ取付部LB、LBを形成
してこのセンサ取付部IB、IBに磁気センサ7の磁気
抵抗素子7D。
7Dを接する態様に装着するもので、これは油圧が高く
てシリンダ1の肉厚を厚くしたものに用いる。第7図に
示す実施例はシリンダlの肉厚が薄いものを示し、この
場合はシリンダ1外周面には特に加工をしないでそのま
ま用いる。第8図に示す実施例はシリンダ1の肉厚の厚
いものに対して、シリンダ1外周に対称に長手方向へ長
い嵌装溝から成るセンサ取付部1c、ICを刻設して、
該センサ取付部LC,1Gに磁気センサ7の磁石7G。
てシリンダ1の肉厚を厚くしたものに用いる。第7図に
示す実施例はシリンダlの肉厚が薄いものを示し、この
場合はシリンダ1外周面には特に加工をしないでそのま
ま用いる。第8図に示す実施例はシリンダ1の肉厚の厚
いものに対して、シリンダ1外周に対称に長手方向へ長
い嵌装溝から成るセンサ取付部1c、ICを刻設して、
該センサ取付部LC,1Gに磁気センサ7の磁石7G。
7Cを係合させたものである。この第6図ないし第8図
に示す実施例においては何れもヨーク仮7Aは図示省略
したが、第2図に示したヨーク板7Aでもよいし、また
管状に形成したものであってもよい。
に示す実施例においては何れもヨーク仮7Aは図示省略
したが、第2図に示したヨーク板7Aでもよいし、また
管状に形成したものであってもよい。
前記各実施例において、プランジャのストロークの長短
により磁気センサ7及びヨークlOを必要な長さにすれ
ばよい、また、極めて小さなバルブの変位ストロークの
設定を必要とするとき等において測定の正確を期したい
場合等には、前記シャフト9の先端部と先端縁部に一定
の間隔(例えばlow)をあけて、2つのヨークを配設
し、この二つのヨークに対応するようシリンダにも磁気
センサ7を2個配設することができる。該2個の磁気セ
ンサは第1図における調整板7Fで連結させればよい。
により磁気センサ7及びヨークlOを必要な長さにすれ
ばよい、また、極めて小さなバルブの変位ストロークの
設定を必要とするとき等において測定の正確を期したい
場合等には、前記シャフト9の先端部と先端縁部に一定
の間隔(例えばlow)をあけて、2つのヨークを配設
し、この二つのヨークに対応するようシリンダにも磁気
センサ7を2個配設することができる。該2個の磁気セ
ンサは第1図における調整板7Fで連結させればよい。
本発明は次のようなすぐれた効果を有している。
(1) 高周波を使用しないから、高価な部材を必要
と七ず、コンパクトにかつ安価に製作することができ、
諸機械の油圧系バルブ開閉をコンピュータにより制御す
る応用範囲を拡大することができる。
と七ず、コンパクトにかつ安価に製作することができ、
諸機械の油圧系バルブ開閉をコンピュータにより制御す
る応用範囲を拡大することができる。
(2) 磁気センサは磁気抵抗素子を有する永久磁石
をヨークに対して間接的に対向状に配設したものである
ため、バルブの微細な変位も大きな出力で正確に検出す
ることができる。
をヨークに対して間接的に対向状に配設したものである
ため、バルブの微細な変位も大きな出力で正確に検出す
ることができる。
(3)またバルブの位置決め変更による段取り時間を多
(要さないため、作業性と保守管理性が向上する。
(要さないため、作業性と保守管理性が向上する。
図面は本発明の実施例に係り、第1図はバルブ位置セン
サの断面図、第2図は磁気センサの断面図、第3図は磁
気センサの回路図、第4図はバルブと連動するシャフト
の正面図、第5図は出力特性を示すグラス、第6図、第
7図、第8図は磁気センサとシリンダとの関係を示す他
の実施例の要部断面図である。 1・・・シリンダ LA、LB、LC・・・センサ取付部 2・・・内腔 3・・・)−ラング4・・・
連結部 5・・・調節具取付部6・・・調節具
6A・・・案内溝7・・・磁気センサ
7A・・・ヨーク板7B、7C・・・永久磁石 7D、7D’、7E、7E’・・・磁気抵抗素子7F・
・・調整板 7M、7M’・・・入力回路7N・
・・迂回線 7P・・・嵌装溝8.8′・・・出
力端子 9・・・検出シャフト9A・・・ストッパ
9B・・・連結部10・・・ヨーク 11・・
・プランジャ12・・・バルブシリンダ
サの断面図、第2図は磁気センサの断面図、第3図は磁
気センサの回路図、第4図はバルブと連動するシャフト
の正面図、第5図は出力特性を示すグラス、第6図、第
7図、第8図は磁気センサとシリンダとの関係を示す他
の実施例の要部断面図である。 1・・・シリンダ LA、LB、LC・・・センサ取付部 2・・・内腔 3・・・)−ラング4・・・
連結部 5・・・調節具取付部6・・・調節具
6A・・・案内溝7・・・磁気センサ
7A・・・ヨーク板7B、7C・・・永久磁石 7D、7D’、7E、7E’・・・磁気抵抗素子7F・
・・調整板 7M、7M’・・・入力回路7N・
・・迂回線 7P・・・嵌装溝8.8′・・・出
力端子 9・・・検出シャフト9A・・・ストッパ
9B・・・連結部10・・・ヨーク 11・・
・プランジャ12・・・バルブシリンダ
Claims (3)
- (1)シリンダの外周部に磁気センサをシリンダ長手方
向への可摺動自在に固定し、該磁気センサは片面に磁気
抵抗素子を有する永久磁石を該素子がシリンダに対向状
に接する態様で配設し、シリンダには先端部のヨークを
前記磁気センサの対向間に配する態様で検出シャフトを
可摺動状に内嵌し、該検出シャフト基端部は油圧系プラ
ンジャ型バルブに同軸状に連結可能状に構成したことを
特徴とするバルブ位置センサ。 - (2)前記磁気センサは、永久磁石のN極とS極を対向
状としてシリンダ外周面に接していることを特徴とする
特許請求の範囲第1項に記載するバルブ位置センサ。 - (3)片面に磁気抵抗素子を固着した永久磁石をプラン
ジャ弁と連動するヨークを内蔵するシリンダ外周に磁気
抵抗素子を対向状として配設し、ヨークの変位による磁
界移動に比例した磁気抵抗素子からの出力電圧を連続的
に得てプランジャ弁の変位を検出することを特徴とする
バルブ位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25719386A JPS63111401A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | バルブ位置センサ並びにバルブ位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25719386A JPS63111401A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | バルブ位置センサ並びにバルブ位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111401A true JPS63111401A (ja) | 1988-05-16 |
Family
ID=17302970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25719386A Pending JPS63111401A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | バルブ位置センサ並びにバルブ位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63111401A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100430811B1 (ko) * | 2001-07-04 | 2004-05-10 | 주식회사 한일프로텍 | 밸브 위치 측정장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61134601A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Kokusan Denki Co Ltd | 磁気形変位センサ |
-
1986
- 1986-10-29 JP JP25719386A patent/JPS63111401A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61134601A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Kokusan Denki Co Ltd | 磁気形変位センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100430811B1 (ko) * | 2001-07-04 | 2004-05-10 | 주식회사 한일프로텍 | 밸브 위치 측정장치 |
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