JPS63111447A - 突起物検出装置 - Google Patents
突起物検出装置Info
- Publication number
- JPS63111447A JPS63111447A JP25730686A JP25730686A JPS63111447A JP S63111447 A JPS63111447 A JP S63111447A JP 25730686 A JP25730686 A JP 25730686A JP 25730686 A JP25730686 A JP 25730686A JP S63111447 A JPS63111447 A JP S63111447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protrusion
- sample
- side edge
- scattered light
- laser beam
- Prior art date
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上のオＩ」用分野〕
本発明は突起物検出装置に関し、特にレーザ元の散乱ｙ
ｔ全利用して例えば、ワイヤブラシ切シｆＩｎえ而から
の突起、タバコの巻き歓の継き目の折れ、轍曲の峨毛刷
、ネップなどの欠陥ｔ＠出する突起物検出装置に関する
。
ｔ全利用して例えば、ワイヤブラシ切シｆＩｎえ而から
の突起、タバコの巻き歓の継き目の折れ、轍曲の峨毛刷
、ネップなどの欠陥ｔ＠出する突起物検出装置に関する
。
使米、加工上めるいは素材の性質上、表向の小突起や起
臥が問題とされ嫌われるよＩ）な各種の凸厭装晶ｌ牛製
品類（以下凸厭展品類という）、例えは、ワイヤブラシ
切＃）偏え面刀）らの突起、タバコの切条のはみだしや
紙巻タバコの巻き俄の継ぎ目の折れ、織布の織毛羽●ネ
ヅブ、射出厄形品の継ぎ目の突起、糸巻きボビン上の糸
毛羽・ループなどの欠陥の有無の検査は、それそれに適
合した照明下にて目視で行なわれていた。
臥が問題とされ嫌われるよＩ）な各種の凸厭装晶ｌ牛製
品類（以下凸厭展品類という）、例えは、ワイヤブラシ
切＃）偏え面刀）らの突起、タバコの切条のはみだしや
紙巻タバコの巻き俄の継ぎ目の折れ、織布の織毛羽●ネ
ヅブ、射出厄形品の継ぎ目の突起、糸巻きボビン上の糸
毛羽・ループなどの欠陥の有無の検査は、それそれに適
合した照明下にて目視で行なわれていた。
上述した従来の６厭製品類の突起状欠陥の自動検出は、
実現された記／＃はな〈、目視による検査が主たるもの
である。″［りで、目視による微少な突起の検査に扛工
叙がかかシ、１た検査省の健康上の問題が論絨ちれるに
至っている。
実現された記／＃はな〈、目視による検査が主たるもの
である。″［りで、目視による微少な突起の検査に扛工
叙がかかシ、１た検査省の健康上の問題が論絨ちれるに
至っている。
本発明に、これら従来の目視で行われていた検査會目勤
的、高祐展且つ高速で実現し、上記問題点を解決した突
起物検出装置を提供すること全目的とする。
的、高祐展且つ高速で実現し、上記問題点を解決した突
起物検出装置を提供すること全目的とする。
本発明の突起物検出装置は、突起物上山する試料を軸中
’Ｌ？に回転させる試料回転駆動手段と、レーザ元奮発
するレーザ尤照射十段と、１■記試料の表面近傍にＭＩ
Ｊ記レーし尤を前記試料の回転軸と直交する方向に走食
させ且つｌｆｃＰＪｒＪ記回転軸と同記聞転軸ｉＪ記試
料の回転円周の層像（側面＊ ） ’５ｒ含むように走
査させるレーザ允走食手段と、前記レーザ尤の定食巌の
近傍に前記レーザ允を直接受けないように配置され前記
試料の側面端尺ひ突起先端からの散乱″に．を検出する
少なくとも元゛或変換部を含む散乱元検出十段と、前記
レーザ光の走査周期ＶｃＩｉｆｆ１期した時系列で肋記
側面端及ひ前記突起先端の前記散乱光検出手段ヵ・ら得
られる光電変換信号の人き嘔と予め設定された側面端判
定用鵬埴及ひ突起先端判定用Ｉｉ＆ｌ値とを比較して前
記試料の側面端位置及び突起先端位置を決定する側面端
位置及ひ突起先端位置検出手段と、該側面端位置及び突
起先端位置検出手段によ請求められたｎη記１！１１面
端位直と前記突起先端位置との差と予め設定された突起
Ｗ弔無判ボ用閾埴とを比較して前記試料の突起物山無の
判定をする良否刊逆手段とを愉え１いる。
’Ｌ？に回転させる試料回転駆動手段と、レーザ元奮発
するレーザ尤照射十段と、１■記試料の表面近傍にＭＩ
Ｊ記レーし尤を前記試料の回転軸と直交する方向に走食
させ且つｌｆｃＰＪｒＪ記回転軸と同記聞転軸ｉＪ記試
料の回転円周の層像（側面＊ ） ’５ｒ含むように走
査させるレーザ允走食手段と、前記レーザ尤の定食巌の
近傍に前記レーザ允を直接受けないように配置され前記
試料の側面端尺ひ突起先端からの散乱″に．を検出する
少なくとも元゛或変換部を含む散乱元検出十段と、前記
レーザ光の走査周期ＶｃＩｉｆｆ１期した時系列で肋記
側面端及ひ前記突起先端の前記散乱光検出手段ヵ・ら得
られる光電変換信号の人き嘔と予め設定された側面端判
定用鵬埴及ひ突起先端判定用Ｉｉ＆ｌ値とを比較して前
記試料の側面端位置及び突起先端位置を決定する側面端
位置及ひ突起先端位置検出手段と、該側面端位置及び突
起先端位置検出手段によ請求められたｎη記１！１１面
端位直と前記突起先端位置との差と予め設定された突起
Ｗ弔無判ボ用閾埴とを比較して前記試料の突起物山無の
判定をする良否刊逆手段とを愉え１いる。
ｌた本発明の突起物恢出装ｔｉは、ｇ＋Ｊｉ；ピ散乱尤
慣出牛収は受光端が走査線近傍に前記レーザ元を１変換
部とから構成されている。
慣出牛収は受光端が走査線近傍に前記レーザ元を１変換
部とから構成されている。
δらに１た本発明の突起物検出装置は、前記散乱光検出
手段は受光端が走査巌近傍に前記レーザ光を直接受光し
ないよウ垂直方向に配ｔされたアモルファスシリコンま
たはホトダイオードのごとき′ｙｔ．″ＷＬ変換素子列
力変換素子底力れている。
手段は受光端が走査巌近傍に前記レーザ光を直接受光し
ないよウ垂直方向に配ｔされたアモルファスシリコンま
たはホトダイオードのごとき′ｙｔ．″ＷＬ変換素子列
力変換素子底力れている。
さらに１た本発明の突起物検出長ｔは、前記散乱光検出
手段の受九面と前記走査線との間に設けられた散乱光集
光手段を備えている。
手段の受九面と前記走査線との間に設けられた散乱光集
光手段を備えている。
６らに１た本発明の突起物検出装置は、前記試料が前記
試料回転部ｓＪ＋段による回転を必要としｌい慣出灼象
物であることを特徴とする。
試料回転部ｓＪ＋段による回転を必要としｌい慣出灼象
物であることを特徴とする。
矢に、本発明について図面を奈照し″′Ｃ胱関する。
第１１￥１は本発明の一実施例の構成図、第２凶（ａｌ
及ひ（ｂｌは本芙施例に使用する側ｔｈＩ堝・突起先端
位ｔＩＬ恢出部のブロック凶及びｖＪＪ作説明図、第３
図。
及ひ（ｂｌは本芙施例に使用する側ｔｈＩ堝・突起先端
位ｔＩＬ恢出部のブロック凶及びｖＪＪ作説明図、第３
図。
第４図、第５図はそｎそｎ本実施例に３ける良否判定部
のブロック図、ミラー走査状況の説明図。
のブロック図、ミラー走査状況の説明図。
レーザ反射尤減衰部の糾視図、第６図及びｍ７図は不発
明の赦乱元検出部の第２及び第３の実施例の斜視図でる
る。
明の赦乱元検出部の第２及び第３の実施例の斜視図でる
る。
本実施例において凸厭裂品類とは、例えはワイヤブラシ
類、紙巻きタバコ、糸巻きボビンなどを指し、微小突起
物とは、例えはワイヤブラシ類の切シ揃え面からの突起
、タバコの巻き紙の継さ“目の折れや切υ葉の突出、糸
巻きホビン上の毛羽φルー１などｆｒ、殉す。
類、紙巻きタバコ、糸巻きボビンなどを指し、微小突起
物とは、例えはワイヤブラシ類の切シ揃え面からの突起
、タバコの巻き紙の継さ“目の折れや切υ葉の突出、糸
巻きホビン上の毛羽φルー１などｆｒ、殉す。
本実施例はレーザ発奈器１、水平走査ミラー２、垂直定
食ミラー３、水平定食ミラー駆動部４、垂直定食ミラー
駆動部５、回転機構６、回転機構駆動部７、元奄震換部
８、側面端・突起先端位置検出部９、良否判定ｓ１０、
結果表示部１１．同期部１２、検出部１３．６厭製品類
１４、微小突起ｖｌＪ１５、レーサ反射元減衰部１６、
比較部１７、側面端位を判定用薗埴設定部１８、突起先
端位置検出用−１は設定部１９、側面端２０、側面端位
置２１、突起元ｙ８笹直２２、減其部２３、突起物肩無
判建用閾憧設定部２４、レーザ走査線２５、レーザ帰ｆ
ＩＭ２６、回転軸２７、水平ミラー回転軸２８、垂直ミ
ラー回転４ｏ２９及びレーザビーム３０を肩してなる。
食ミラー３、水平定食ミラー駆動部４、垂直定食ミラー
駆動部５、回転機構６、回転機構駆動部７、元奄震換部
８、側面端・突起先端位置検出部９、良否判定ｓ１０、
結果表示部１１．同期部１２、検出部１３．６厭製品類
１４、微小突起ｖｌＪ１５、レーサ反射元減衰部１６、
比較部１７、側面端位を判定用薗埴設定部１８、突起先
端位置検出用−１は設定部１９、側面端２０、側面端位
置２１、突起元ｙ８笹直２２、減其部２３、突起物肩無
判建用閾憧設定部２４、レーザ走査線２５、レーザ帰ｆ
ＩＭ２６、回転軸２７、水平ミラー回転軸２８、垂直ミ
ラー回転４ｏ２９及びレーザビーム３０を肩してなる。
第１図に示すように、レーザ発撮器１から出射したレー
ザビーム３０を水平走査ミラー２及び垂直走査ミラー３
によシ、６厭製品類１４の側面端付近で以下の如く照射
する。すなわち、水平定食ミラー２によシ、６厭製品類
１４の側面近傍で、６厭製品類１４のｉｇ１転軸２７に
垂直の方向でかつ、６厭製品類１４の外側の方向に向か
って走査して得るレーザー走査＃１１２５により、側面
から得られる散乱元を、レーザ走査線２５の近傍でかつ
レーザ走査線２５を＠接受光しないように設置した検出
ｆｆＢ１３で受光して光電変換部８へ入力する。元逼変
侠ｓ８では、水平走査ミ２−２の足食角により決するレ
ーザビーム３０の水平位置Ｘに対応した光１ｈＬ変侠出
力侶号Ｓ （ｘＪを出力する。か刀・る時、垂直定食ミ
ラー３及び凸厭裂晶類１４を回転する回転懺悔６位任意
位置に一定の１１とする。しかる俊に、元電震換出力信
号５（ｘｉは世１１面端・突起先端位置検出ｓ９へ入力
する。
ザビーム３０を水平走査ミラー２及び垂直走査ミラー３
によシ、６厭製品類１４の側面端付近で以下の如く照射
する。すなわち、水平定食ミラー２によシ、６厭製品類
１４の側面近傍で、６厭製品類１４のｉｇ１転軸２７に
垂直の方向でかつ、６厭製品類１４の外側の方向に向か
って走査して得るレーザー走査＃１１２５により、側面
から得られる散乱元を、レーザ走査線２５の近傍でかつ
レーザ走査線２５を＠接受光しないように設置した検出
ｆｆＢ１３で受光して光電変換部８へ入力する。元逼変
侠ｓ８では、水平走査ミ２−２の足食角により決するレ
ーザビーム３０の水平位置Ｘに対応した光１ｈＬ変侠出
力侶号Ｓ （ｘＪを出力する。か刀・る時、垂直定食ミ
ラー３及び凸厭裂晶類１４を回転する回転懺悔６位任意
位置に一定の１１とする。しかる俊に、元電震換出力信
号５（ｘｉは世１１面端・突起先端位置検出ｓ９へ入力
する。
側面端・突起先端位置検出部９は、例えは第２図（ａｌ
の如さ栴成とする。第２図（ａｌにおいて、光電変換出
力信号５（ｘｌは比較部１７へ入力され、側面端位置判
定用閾値設定部１８及び突起先端位置判定用閾イＩ設定
部１９に各々設定された閾１１１Ｔ）１１及びＴ）１２
とＳ （ｘｌとを比較して、第２図（ｂｌに示すように
、Ｓ （ｘｉ ＝ Ｔ ＨＩを満たす位置Ｘを倶１面端
位置２１の信号ｘ１ ％ Ｓ （Ｘｌ ＝ ’Ｉ’ ）
１２ ｉ満たす位置ｘを突起先端位置２２の信号ｘ２と
してそれぞれ決定し、良否判定部１０へ出力する。
の如さ栴成とする。第２図（ａｌにおいて、光電変換出
力信号５（ｘｌは比較部１７へ入力され、側面端位置判
定用閾値設定部１８及び突起先端位置判定用閾イＩ設定
部１９に各々設定された閾１１１Ｔ）１１及びＴ）１２
とＳ （ｘｌとを比較して、第２図（ｂｌに示すように
、Ｓ （ｘｉ ＝ Ｔ ＨＩを満たす位置Ｘを倶１面端
位置２１の信号ｘ１ ％ Ｓ （Ｘｌ ＝ ’Ｉ’ ）
１２ ｉ満たす位置ｘを突起先端位置２２の信号ｘ２と
してそれぞれ決定し、良否判定部１０へ出力する。
良否判定部１０は、例えは第３図の様な栴成とする。第
３図において、側面端・突起先端位置検出ｓ９で）ら得
る側面端位置２１の信号ｘｌと突起先癩位ｔｊｔ２２の
信号ｘ２を計数器で悔成される鷹Ｘ ｍ ２３ ＶＣて
減真し、Ｘ２ ＸＩ を決めｂｏ比較廊１７では、
突起物有無判足用閾１直設定部２４にりらかじめ設定ち
れた突起物有無判定用閾値ＰとＸ２ Ｘｌとを比較し
て、Ｘ２ ＸＩ ＞ Ｐ （Ｄｉｔｔｏ突起物育’）
ｓｘｚ ｘｔ＜Ｐの時は突起物無しの判定鮎来ｆｔ田
力する。良否判定部１０で得た判定結果に、結果表示部
１１に出力され、結果表示部１１ではＪｕ１期部１２か
ら得る回転機構駆動部７の制御信号及び垂直走査ミラー
駆動部５の制＃信号より、突起物の発生位置（回転角位
置、垂直位置）を表示する。
３図において、側面端・突起先端位置検出ｓ９で）ら得
る側面端位置２１の信号ｘｌと突起先癩位ｔｊｔ２２の
信号ｘ２を計数器で悔成される鷹Ｘ ｍ ２３ ＶＣて
減真し、Ｘ２ ＸＩ を決めｂｏ比較廊１７では、
突起物有無判足用閾１直設定部２４にりらかじめ設定ち
れた突起物有無判定用閾値ＰとＸ２ Ｘｌとを比較し
て、Ｘ２ ＸＩ ＞ Ｐ （Ｄｉｔｔｏ突起物育’）
ｓｘｚ ｘｔ＜Ｐの時は突起物無しの判定鮎来ｆｔ田
力する。良否判定部１０で得た判定結果に、結果表示部
１１に出力され、結果表示部１１ではＪｕ１期部１２か
ら得る回転機構駆動部７の制御信号及び垂直走査ミラー
駆動部５の制＃信号より、突起物の発生位置（回転角位
置、垂直位置）を表示する。
同期部１２はレーザービーム３０が第４図に示すレーザ
走査線２５及びレーザ帰？ｔＭ２６として走査される様
に、水平走査ミラー駆動部４及び垂直走査ミラー駆動部
５間の同期をとシ、かつ垂直方向に走食完了時線、凸献
袈品類１４を単位回転角たけ回転する様に、回転機構駆
動部７を制御し、ｂ転慎栴６ｔ−介して６厭製品類１４
を同期駆動（回転）させる。垂直走査ミラー駆に１部５
及び水平定食ミラー駆動部４は、垂直定食ミラー３及び
水平走査ミラー２ケそれぞれ駆動する。１転機栴駆動部
７は１ｇ１転徴悄６を駆動し、凸枢袈品類１４を回期ｌ
！ｌ？Ｊ転さゼる。
走査線２５及びレーザ帰？ｔＭ２６として走査される様
に、水平走査ミラー駆動部４及び垂直走査ミラー駆動部
５間の同期をとシ、かつ垂直方向に走食完了時線、凸献
袈品類１４を単位回転角たけ回転する様に、回転機構駆
動部７を制御し、ｂ転慎栴６ｔ−介して６厭製品類１４
を同期駆動（回転）させる。垂直走査ミラー駆に１部５
及び水平定食ミラー駆動部４は、垂直定食ミラー３及び
水平走査ミラー２ケそれぞれ駆動する。１転機栴駆動部
７は１ｇ１転徴悄６を駆動し、凸枢袈品類１４を回期ｌ
！ｌ？Ｊ転さゼる。
検出部１３には例えは元ファイバ列を用い、元を叢侠部
８には光電子倍増管を用いてもよく、また検出部１３に
アモルファスシリコンやホトダイオードをライン状に配
置し、検出部１３と′ｊｒＳ電変換部８と全一体化した
構成としてもよい。
８には光電子倍増管を用いてもよく、また検出部１３に
アモルファスシリコンやホトダイオードをライン状に配
置し、検出部１３と′ｊｒＳ電変換部８と全一体化した
構成としてもよい。
さらに検出部１３とレーザ走査線２５との間に散乱元集
元部を設けてもよい。
元部を設けてもよい。
レーザ反射光減衰部１６では走査されたレーザ走査線２
５の背面での反射光を多１反射・散乱させて減衰させる
。その構造は、例えは′ａ５図の如くしてもよく、この
とさ凹部にレーザｙｔ、を吸収めるいは拡散させる黒体
塗料を塗シ、かつ凹部人口の＠冑と央打さＤとの比Ｄ／
Ｗを大さくすることにより、反射光の汲置効果を高める
ことができる。
５の背面での反射光を多１反射・散乱させて減衰させる
。その構造は、例えは′ａ５図の如くしてもよく、この
とさ凹部にレーザｙｔ、を吸収めるいは拡散させる黒体
塗料を塗シ、かつ凹部人口の＠冑と央打さＤとの比Ｄ／
Ｗを大さくすることにより、反射光の汲置効果を高める
ことができる。
本実施例では、凸厭裂品類１４の側面円筒上に存在して
いる微小突起物ｔ−慣出するように、検出部１３及び垂
直走査ミラー３を配置しているが、第６図に示す散乱元
挾出部の第２の実施例のように、検出器３１，３２．３
３を配寛すｎは、凸厭裂品１１４の側面Ｍ斜部上の微小
突起物も検出でさることは勿論でめる。かかる時、検出
器相互間の影響が弔る場合には、稟７図に示す散乱光検
出部の第３の実施例のよりに、検出器４１．４２．４３
の配＃Ｌｔ−工夫してもよい。
いる微小突起物ｔ−慣出するように、検出部１３及び垂
直走査ミラー３を配置しているが、第６図に示す散乱元
挾出部の第２の実施例のように、検出器３１，３２．３
３を配寛すｎは、凸厭裂品１１４の側面Ｍ斜部上の微小
突起物も検出でさることは勿論でめる。かかる時、検出
器相互間の影響が弔る場合には、稟７図に示す散乱光検
出部の第３の実施例のよりに、検出器４１．４２．４３
の配＃Ｌｔ−工夫してもよい。
以上説明したように本発明は、ミラーによシ被測定物側
面に沿って走査するレーザ元の散乱光をライン状の検出
器で検出し、光電変換して得た時系列値号から試料の側
面端及び微小突起先端を識別することによシ、試料表面
の凹凸の影曾を受けることなく、微小な突起物の有無と
その発生位置を検出でき、更にワイヤブラシ切９揃え面
η為らの突起、タバコの巻１俄の継ぎ目の折れ、織布の
繊毛用・ネップ、射出成形品の粘き目の突起、糸巻きボ
ビン上の糸毛羽・ループの検査など、健康上の問題が悪
念さｎる作条を目動化でさる＠果がりる。
面に沿って走査するレーザ元の散乱光をライン状の検出
器で検出し、光電変換して得た時系列値号から試料の側
面端及び微小突起先端を識別することによシ、試料表面
の凹凸の影曾を受けることなく、微小な突起物の有無と
その発生位置を検出でき、更にワイヤブラシ切９揃え面
η為らの突起、タバコの巻１俄の継ぎ目の折れ、織布の
繊毛用・ネップ、射出成形品の粘き目の突起、糸巻きボ
ビン上の糸毛羽・ループの検査など、健康上の問題が悪
念さｎる作条を目動化でさる＠果がりる。
第１図は本発明の一実ｈヤリの悔成凶、第２図１８ｊ及
び（ｂｌは本実施例に文相する側面端・突起先端位１１
を検出部のブロック図及び動作説明図、第３図。 第４図、第５図はそれぞれ本実施例１ｃ？ける良否判定
部のブロック図、ミラ一定食状況の説明図。 レーザ反射光減衰部の斜視図、第６図及び第７図は不発
明の散乱光検出部の第２及び第３の実施例の斜視図であ
る。 １・・・・・・レーザ発振器、２・・・・・・水平走査
ミラー、３・・・・・・垂ｒｍ：足査ミラー、４・・・
・・・水平走査ミラー駆動部、５・・・・・・垂直走査
ミラー駆動部、６・・・・・・回転愼傅、７・・・・・
・回転戦傷駆動部、８・・・・・・光電変換部、９・・
・・・・側面端・突起先端位置検出部、１０・・・・・
・良否判定部、１１・・・・・・結果表示部、１２・・
・・・・同期部、１３・・・・・・検出部、１４・・・
・・・６厭製品類、１５・・・・・・微小突起物、１６
・・・・・・レーザ反射５を減衰部、１７・・・・・・
比較部、１８・・・・・・側面端位置判建用閾１＠設建
部、１９・・・・・・突起元畑位置判定用閾姐設′１Ｅ
ｔａ、２０・・・・・・側面端、２１・・・・・・側面
端位置、２２・・・・・・突起先端位置、２３・・・・
・・減：ｊＬ部、２４・・・・・・突起物弔無刊定用閾
１財設定部、２５・・・・・・レーザ走査線、２６・・
・・・・レーサ帰橢、２７・・・・・・回転軸、２８・
・・・・・水平ミラー回転軸、２９・・・・・・垂直ミ
ラー回転軸、３０・・・・・・レーザービーム、３１，
３２，３３，４１．４２゜４３・・・・・・検出器。 代理人 弁理士 内 涼 誓 ＼、− 、感 １ 図 辛２ 回 （ａ） （６→ 茅 ３ 回 判嵐粘爪 井４園 憂５ 凹 半 ｂ 凹 茅 ７ 回 １５バ１１ゝに走冒η
び（ｂｌは本実施例に文相する側面端・突起先端位１１
を検出部のブロック図及び動作説明図、第３図。 第４図、第５図はそれぞれ本実施例１ｃ？ける良否判定
部のブロック図、ミラ一定食状況の説明図。 レーザ反射光減衰部の斜視図、第６図及び第７図は不発
明の散乱光検出部の第２及び第３の実施例の斜視図であ
る。 １・・・・・・レーザ発振器、２・・・・・・水平走査
ミラー、３・・・・・・垂ｒｍ：足査ミラー、４・・・
・・・水平走査ミラー駆動部、５・・・・・・垂直走査
ミラー駆動部、６・・・・・・回転愼傅、７・・・・・
・回転戦傷駆動部、８・・・・・・光電変換部、９・・
・・・・側面端・突起先端位置検出部、１０・・・・・
・良否判定部、１１・・・・・・結果表示部、１２・・
・・・・同期部、１３・・・・・・検出部、１４・・・
・・・６厭製品類、１５・・・・・・微小突起物、１６
・・・・・・レーザ反射５を減衰部、１７・・・・・・
比較部、１８・・・・・・側面端位置判建用閾１＠設建
部、１９・・・・・・突起元畑位置判定用閾姐設′１Ｅ
ｔａ、２０・・・・・・側面端、２１・・・・・・側面
端位置、２２・・・・・・突起先端位置、２３・・・・
・・減：ｊＬ部、２４・・・・・・突起物弔無刊定用閾
１財設定部、２５・・・・・・レーザ走査線、２６・・
・・・・レーサ帰橢、２７・・・・・・回転軸、２８・
・・・・・水平ミラー回転軸、２９・・・・・・垂直ミ
ラー回転軸、３０・・・・・・レーザービーム、３１，
３２，３３，４１．４２゜４３・・・・・・検出器。 代理人 弁理士 内 涼 誓 ＼、− 、感 １ 図 辛２ 回 （ａ） （６→ 茅 ３ 回 判嵐粘爪 井４園 憂５ 凹 半 ｂ 凹 茅 ７ 回 １５バ１１ゝに走冒η
Claims (5)
- （１）突起物を有する試料を軸中心に回転させる試料回
転駆動手段と、レーザ光を発するレーザ光照射手段と、
前記試料の表面近傍に前記レーザ光を前記試料の回転軸
と直交する方向に走査させ且つまた前記回転軸と同方向
に前記試料の回転円周の周像（側面端）を含むように走
査させるレーザ光走査手段と、前記レーザ光の走査線の
近傍に前記レーザ光を直接受けないように配置され前記
試料の側面端及び突起先端からの散乱光を検出する少な
くとも光電変換部を含む散乱光検出手段と、前記レーザ
光の走査周期に同期した時系列で前記側面端及び前記突
起先端の前記散乱光検出手段から得られる光電変換信号
の大きさと予め設定された側面端判定用閾値及び突起先
端判定用閾値とを比較して前記試料の側面端位置及び突
起先端位置を決定する側面端位置及び突起先端位置検出
手段と、該側面端位置及び突起先端位置検出手段により
求められた前記側面端位置と前記突起先端位置との差と
予め設定された突起物有無判定用閾値とを比較して前記
試料の突起物有無の判定をする良否判定手段とを備える
ことを特徴とする突起物検出装置。 - （２）前記散乱光検出手段は受光端が走査線近傍に前記
レーザ光を直接受光しないよう垂直方向に配置された光
ファイバ列と該光ファイバ列の出射端に取付けられた光
電変換部とから構成されることを特徴とする特許請求の
範囲第（１）項記載の突起物検出装置。 - （３）前記散乱光検出手段は受光端が走査線近傍に前記
レーザ光を直接受光しないよう垂直方向に配置されたア
モルファスシリコンまたはホトダイオードのごとき光電
変換素子列から構成されることを特徴とする特許請求の
範囲第（１）項記載の突起物検出装置。 - （４）前記散乱光検出手段の受光面と前記走査線との間
に設けられた散乱光集光手段を備えることを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項ないし第（３）項のいずれか
に記載の突起物検出装置。 - （５）前記試料が前記試料回転駆動手段による回転を必
要としない検出対象物であることを特徴とする特許請求
の範囲第（１）項ないし第（４）項のいずれかに記載の
突起物検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25730686A JPS63111447A (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 突起物検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25730686A JPS63111447A (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 突起物検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111447A true JPS63111447A (ja) | 1988-05-16 |
| JPH0535985B2 JPH0535985B2 (ja) | 1993-05-27 |
Family
ID=17304525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25730686A Granted JPS63111447A (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 突起物検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63111447A (ja) |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP25730686A patent/JPS63111447A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0535985B2 (ja) | 1993-05-27 |
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