JPS6312155U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6312155U JPS6312155U JP10708386U JP10708386U JPS6312155U JP S6312155 U JPS6312155 U JP S6312155U JP 10708386 U JP10708386 U JP 10708386U JP 10708386 U JP10708386 U JP 10708386U JP S6312155 U JPS6312155 U JP S6312155U
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- JP
- Japan
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- item
- main body
- function
- switch
- items
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feedback Control In General (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン注入装置
の機能ブロツク図、第２図は同じく構成を示すブ
ロツク図、第３図はイオン注入装置の運転手順の
一例を示す流れ図、第４図ないし第９図は画像表
示装置に表示される画面の例を示す図、第１０図
はキー入力装置のキー配列の一例を示す平面図、
第１１図は従来例を示すブロツク図、第１２図は
イオン注入装置本体の構成の一例を示す構成図、
第１３図は手動制御盤の構成の一例を示す正面図
、第１４図は自動運転のアルゴリズムの一例を示
すフローチヤートである。 １……イオン注入装置本体、′……運転コン
トローラ、……キー入力装置、……画像表示
装置、１０１……モード選択画面表示機能、１０
２……モード選択機能、１０３……項目表示機能
、１０４……スイツチ状態表示機能、１０５……
設定状態表示機能、１０６……現在値表示機能、
１０７……第１の手動制御機能、１０８……第２
の手動制御機能、１０９……第３の手動制御機能
、１１０……自動制御機能。
の機能ブロツク図、第２図は同じく構成を示すブ
ロツク図、第３図はイオン注入装置の運転手順の
一例を示す流れ図、第４図ないし第９図は画像表
示装置に表示される画面の例を示す図、第１０図
はキー入力装置のキー配列の一例を示す平面図、
第１１図は従来例を示すブロツク図、第１２図は
イオン注入装置本体の構成の一例を示す構成図、
第１３図は手動制御盤の構成の一例を示す正面図
、第１４図は自動運転のアルゴリズムの一例を示
すフローチヤートである。 １……イオン注入装置本体、′……運転コン
トローラ、……キー入力装置、……画像表示
装置、１０１……モード選択画面表示機能、１０
２……モード選択機能、１０３……項目表示機能
、１０４……スイツチ状態表示機能、１０５……
設定状態表示機能、１０６……現在値表示機能、
１０７……第１の手動制御機能、１０８……第２
の手動制御機能、１０９……第３の手動制御機能
、１１０……自動制御機能。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 イオン注入装置本体と、このイオン注入装置本
体を制御する運転コントローラと、この運転コン
トローラに接続したキー入力装置および画像表示
装置とを備え、 前記運転コントローラは、前記画像表示装置に
手動運転モードおよび自動運転モードを選択する
ためのモード選択画面を表示させるモード選択画
面表示機能と、前記キー入力装置による前記モー
ド選択画面上でのモード選択に応答して前記イオ
ン注入装置本体の運転モードを選択するモード選
択機能と、前記イオン注入装置本体の運転に必要
なスイツチ操作項目、設定操作項目および増減操
作項目を示す文字、記号、図形等の項目画面を前
記画像表示装置に表示させる項目表示機能と、前
記キー入力装置による前記項目画面上でのスイツ
チ操作に応答して前記スイツチ操作項目のスイツ
チ状態を前記スイツチ操作項目を示す文字、記号
、図形等に関連して前記項目画面上に同時に表示
するスイツチ状態表示機能と、前記キー入力装置
による前記項目画面上での設定操作に応答して前
記設定操作項目の設定状態を前記設定操作項目を
示す文字、記号、図形等に関連して前記項目画面
上に同時に表示する設定状態表示機能と、前記キ
ー入力装置による増減操作に応答して前記増減操
作項目の現在値を前記増減操作項目を示す文字、
記号、図形等に関連して前記項目画面上に同時に
表示する現在値表示機能と、前記モード選択機能
による手動運転モード選択時に前記スイツチ状態
表示機能による前記スイツチ操作項目のスイツチ
状態の表示に基づいて前記イオン注入装置本体の
スイツチ操作項目を制御する第１の手動制御機能
と、前記モード選択機能による手動運転モード選
択時に前記設定状態表示機能による前記設定操作
項目の設定状態の表示に基づいて前記イオン注入
装置本体の設定操作項目を制御する第２の手動制
御機能と、前記モード選択機能による手動運転モ
ード選択時に前記キー入力装置による増減操作に
応答して前記イオン注入装置本体の増減操作項目
を制御する第３の手動制御機能と、前記モード選
択機能による自動運転モード選択時に前記イオン
注入装置本体のスイツチ操作項目、設定操作項目
および増減操作項目を予め定めたアルゴリズムに
従つて制御する自動制御機能とを有しているイオ
ン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10708386U JPS6312155U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10708386U JPS6312155U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6312155U true JPS6312155U (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=30983033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10708386U Pending JPS6312155U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6312155U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02125421A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-14 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP10708386U patent/JPS6312155U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02125421A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-14 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
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