JPS63130196U - - Google Patents

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JPS63130196U
JPS63130196U JP2034287U JP2034287U JPS63130196U JP S63130196 U JPS63130196 U JP S63130196U JP 2034287 U JP2034287 U JP 2034287U JP 2034287 U JP2034287 U JP 2034287U JP S63130196 U JPS63130196 U JP S63130196U
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JP
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reverse osmosis
osmosis membrane
ion exchange
membrane device
water
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Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の超純水製造装置
のシステムブロツク図、第２図はその具体的実施
例の構成図である。第３図は従来の超純水製造装
置のシステムブロツク図である。 １１……前処理装置、１２……真空脱気装置、
１３……イオン交換装置、１４……第１の逆浸透
膜装置、１５……第２の逆浸透膜装置、１６……
リターン系路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 イオン交換装置と逆浸透膜装置とを用いた超純
    水製造装置において、 原水をイオン交換するイオン交換装置と、 このイオン交換装置の処理液が供給される第１
    の逆浸透膜装置と、 この第１の逆浸透膜装置の濃縮水が供給される
    第２の逆浸透膜装置と、 この第２の逆浸透膜装置の透過水を原水に再利
    用するリターン系路とを具備することを特徴とす
    る超純水製造装置。
JP2034287U 1987-02-13 1987-02-13 Pending JPS63130196U (ja)

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JP2034287U JPS63130196U (ja) 1987-02-13 1987-02-13

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JPS63130196U true JPS63130196U (ja) 1988-08-25

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020182899A (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社東芝 水処理装置

Cited By (2)

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JP2020182899A (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社東芝 水処理装置
WO2020226039A1 (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社 東芝 水処理装置

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