JPS631329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS631329U JPS631329U JP9391086U JP9391086U JPS631329U JP S631329 U JPS631329 U JP S631329U JP 9391086 U JP9391086 U JP 9391086U JP 9391086 U JP9391086 U JP 9391086U JP S631329 U JPS631329 U JP S631329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water tank
- base
- mound
- liquid level
- registration request
- Prior art date
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- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案装置の一部分を断面にした正面
図、第２図はその平面図である。 １…筒状器壁、２…水槽、３…マウンド押しつ
ぶし装置、４…基台、５…水、６…回転テーブル
、７…ウエーハ、８…クラツシヤヘツド、９…支
持アーム、１０…マウンド、１０ａ…マウンドの
破砕片。
図、第２図はその平面図である。 １…筒状器壁、２…水槽、３…マウンド押しつ
ぶし装置、４…基台、５…水、６…回転テーブル
、７…ウエーハ、８…クラツシヤヘツド、９…支
持アーム、１０…マウンド、１０ａ…マウンドの
破砕片。
Claims (1)
- 上下動自在に支持された筒状器壁を具えた水槽
と、該水槽内で液面上に固設された基台と、該基
台上に配設された回転テーブル付きのマウンド押
しつぶし装置とを具備することを特徴とする微細
破砕片の回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9391086U JPS631329U (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9391086U JPS631329U (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631329U true JPS631329U (ja) | 1988-01-07 |
Family
ID=30956897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9391086U Pending JPS631329U (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631329U (ja) |
-
1986
- 1986-06-19 JP JP9391086U patent/JPS631329U/ja active Pending