JPS6313387A - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6313387A JPS6313387A JP15725286A JP15725286A JPS6313387A JP S6313387 A JPS6313387 A JP S6313387A JP 15725286 A JP15725286 A JP 15725286A JP 15725286 A JP15725286 A JP 15725286A JP S6313387 A JPS6313387 A JP S6313387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main
- peaking capacitor
- main discharge
- arc gap
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 ′
本発明は容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いた
、ＴＥＡ Ｃ○２レーザ、エキシマレーザなどのパル
スガスレーザ装置に関するものである。
、ＴＥＡ Ｃ○２レーザ、エキシマレーザなどのパル
スガスレーザ装置に関するものである。
第３図は従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を
用いたパルスガスレーザ装置の本発明に係わる部分構成
図である。第３図のパルスガスレーザにおいては、スイ
ッチング素子８をオンにし主コンデンサ６に蓄積したエ
ネルギーを急速にピーキングコンデンサ１ｏに移すこと
により主放電電極２間に電圧Ｖｄを立上げ、まなこの際
起こるアークギャップ３でのアーク放電により発生する
紫外線により主放電空間１を予備電離し、レーザ励起の
ための放電を得ている。なお、従来の容量移行型・紫外
線予備電離方式を用いたパルスガスレーザ装置について
の詳しい説明は文献レーザ研究、第１２巻、第８号、２
４頁〜３１頁に述べられている。
用いたパルスガスレーザ装置の本発明に係わる部分構成
図である。第３図のパルスガスレーザにおいては、スイ
ッチング素子８をオンにし主コンデンサ６に蓄積したエ
ネルギーを急速にピーキングコンデンサ１ｏに移すこと
により主放電電極２間に電圧Ｖｄを立上げ、まなこの際
起こるアークギャップ３でのアーク放電により発生する
紫外線により主放電空間１を予備電離し、レーザ励起の
ための放電を得ている。なお、従来の容量移行型・紫外
線予備電離方式を用いたパルスガスレーザ装置について
の詳しい説明は文献レーザ研究、第１２巻、第８号、２
４頁〜３１頁に述べられている。
エキシマレーザなどのパルスガスレーザ装置において、
レーザ出力を高効率で得るためには、主放電空間１に立
ち上がりの早いレーザ励起のための主放電電流Ｉｄを注
入する必要がある。
レーザ出力を高効率で得るためには、主放電空間１に立
ち上がりの早いレーザ励起のための主放電電流Ｉｄを注
入する必要がある。
第３図の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いた
パルスガスレーザ装置においては、Ｃ１ｄ、ｅ、ｆの回
路（以下、主放電回路）に主放電電流Ｉｄが流れる。と
ころが、アークギャップ３でのアーク放電においては、
大きなインダクタンスが生じるため、放電電流Ｉｄの立
ち上がりはあまり早くならない。このため、従来のパル
スガスレーザ装置においては、効率の良いレーザ出力が
得られなかった。
パルスガスレーザ装置においては、Ｃ１ｄ、ｅ、ｆの回
路（以下、主放電回路）に主放電電流Ｉｄが流れる。と
ころが、アークギャップ３でのアーク放電においては、
大きなインダクタンスが生じるため、放電電流Ｉｄの立
ち上がりはあまり早くならない。このため、従来のパル
スガスレーザ装置においては、効率の良いレーザ出力が
得られなかった。
本発明の目的は高効率でレーザ出力が得られる７５ルス
ガスレーザ装置を提供することにある。
ガスレーザ装置を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明においては、予備電離用アークギャップと第１の
ピーキングコンデンサとの直列回路（以下、アークギャ
ップ回路）とレーザ励起のための主放電空間との間に、
アークギャップ回路と放電回路とに第２のピーキングコ
ンデンサを並列になるように接続し、レーザ励起のため
の主放電電流Ｉｄが流れる主放電回路を第２のピーキン
グコンデンサと主放電空間とで構成しているパルスガス
レーザ装置になっている。
ピーキングコンデンサとの直列回路（以下、アークギャ
ップ回路）とレーザ励起のための主放電空間との間に、
アークギャップ回路と放電回路とに第２のピーキングコ
ンデンサを並列になるように接続し、レーザ励起のため
の主放電電流Ｉｄが流れる主放電回路を第２のピーキン
グコンデンサと主放電空間とで構成しているパルスガス
レーザ装置になっている。
〔作用）
レーザ励起のための主放電電流Ｉｄが流れる主放電回路
のインダクタンスが小さければ、主放電電流１ｄの立ち
上がりは早くなり、高効率でレーザ出力が得られる。
のインダクタンスが小さければ、主放電電流１ｄの立ち
上がりは早くなり、高効率でレーザ出力が得られる。
本発明のパルスガスレーザ装置においては、主放電回路
中にはアークギャップがない。従って、主放電回路中の
インダクタンスは小さく、主放電電流Ｉｄの立ち上がり
が早くなり、高効率でレーザ出力が得られる。
中にはアークギャップがない。従って、主放電回路中の
インダクタンスは小さく、主放電電流Ｉｄの立ち上がり
が早くなり、高効率でレーザ出力が得られる。
本発明を図面を用いて詳細に説明する。
第１図は本発明を用いた一実施例の構成図である。
第１図のパルスガスレーザ装置においては、主放電空間
を予備電離するための紫外線を得るためのアークギャッ
プ３と第１のピーキングコンデンサ４との直列回路であ
るアークギャップ回路Ａ。
を予備電離するための紫外線を得るためのアークギャッ
プ３と第１のピーキングコンデンサ４との直列回路であ
るアークギャップ回路Ａ。
Ｂと、主放電電極２が作るレーザ励起のための主放電が
得られる主放電空間１との間に、第２のピーキングコン
デンサ５が設置されている。
得られる主放電空間１との間に、第２のピーキングコン
デンサ５が設置されている。
このパルスガスレーザ装置においては、スイッチング素
子８をオンにし主コンデンサ６に蓄積したエネルギーを
第１のピーキングコンデンサ４に移す。この際起こるア
ークギャップ３でのアーク放電により発生する紫外線に
より主放電空間１は予備電離される。次に、第１のピー
キングコンデンサ４から第２のピーキングコンデンサ５
に第１のピーキングコンデンサ４にたまったエネルギ′
°−が移り、主放電電極間に電圧■ｄは立上がる。
子８をオンにし主コンデンサ６に蓄積したエネルギーを
第１のピーキングコンデンサ４に移す。この際起こるア
ークギャップ３でのアーク放電により発生する紫外線に
より主放電空間１は予備電離される。次に、第１のピー
キングコンデンサ４から第２のピーキングコンデンサ５
に第１のピーキングコンデンサ４にたまったエネルギ′
°−が移り、主放電電極間に電圧■ｄは立上がる。
既に、主放電空間１は予備電離されているから主放電空
間１にはレーザ励起のための放電電流Ｉｄが得られる。
間１にはレーザ励起のための放電電流Ｉｄが得られる。
この放電電流Ｉｄは主放電回路Ｃ，Ｄ、Ｆ、Ｅで流れる
。主放電回路Ｃ，Ｄ、Ｆ、Ｅはインダクタンスを少なく
することができるから、放電電流Ｉｄの立ち上がりは早
くなり、高効率なレーザ出力が得られる。
。主放電回路Ｃ，Ｄ、Ｆ、Ｅはインダクタンスを少なく
することができるから、放電電流Ｉｄの立ち上がりは早
くなり、高効率なレーザ出力が得られる。
第２図に本発明の他の実施例の構成図を示す。
第１図の実施例においては、主コンデンサ６に蓄積した
エネルギーを第１のピーキングコンデンサ４に移す際、
そのエネルギーのごく一部が第２のピーキングコンデン
サ５に移る。そのため、主放電に注入されるエネルギー
は主コンデンサ６に蓄積したエネルギーよりやや小さく
なり、レーザ出力が得られる効率がやや低くなる（しか
し、従来のパルスガスレーザ装置よりは高効率でレーザ
出力が得られる）。第２図の実施例の特徴は主コンデン
サ６に蓄積したエネルギーをすべて主放電に注入するべ
く可飽和インダクタ９を並列になっているアークギャッ
プ回路Ａ、Ｂと第２のピーキングコンデンサ５との間に
付加したことにある。
エネルギーを第１のピーキングコンデンサ４に移す際、
そのエネルギーのごく一部が第２のピーキングコンデン
サ５に移る。そのため、主放電に注入されるエネルギー
は主コンデンサ６に蓄積したエネルギーよりやや小さく
なり、レーザ出力が得られる効率がやや低くなる（しか
し、従来のパルスガスレーザ装置よりは高効率でレーザ
出力が得られる）。第２図の実施例の特徴は主コンデン
サ６に蓄積したエネルギーをすべて主放電に注入するべ
く可飽和インダクタ９を並列になっているアークギャッ
プ回路Ａ、Ｂと第２のピーキングコンデンサ５との間に
付加したことにある。
第２図の実施例において、主コンデンサ６から第１のピ
ーキングコンデンサ４ヘエネルギーの移行が終了した時
、可飽和インダクタ９が飽和するように、すなわち、高
インダクタンスの状態から低インダクタンスに変化する
ようにしておけば、主コンデンサ６に蓄積されたエネル
ギーの全てが第１のピーキングコンデンサ４へ移る。次
に第１のピーキングコンデンサ４からエネルギーが第２
のピーキングコンデンサ５に移る。主放電電流Ｉｄが流
れる主放電回路Ｃ，Ｄ、Ｆ、Ｅにはインダクタンスが少
なく主放電電流Ｉｄの立ち上がりは早いことは第１図の
実施例と同様である。このように第２図の実施例におい
ては第１図の実施例に比べ、より高効率でレーザ出力が
得られる。ただし、第２図の実施例のほうが可飽和イン
ダクタ９を使ったぶんコスト高になる。
ーキングコンデンサ４ヘエネルギーの移行が終了した時
、可飽和インダクタ９が飽和するように、すなわち、高
インダクタンスの状態から低インダクタンスに変化する
ようにしておけば、主コンデンサ６に蓄積されたエネル
ギーの全てが第１のピーキングコンデンサ４へ移る。次
に第１のピーキングコンデンサ４からエネルギーが第２
のピーキングコンデンサ５に移る。主放電電流Ｉｄが流
れる主放電回路Ｃ，Ｄ、Ｆ、Ｅにはインダクタンスが少
なく主放電電流Ｉｄの立ち上がりは早いことは第１図の
実施例と同様である。このように第２図の実施例におい
ては第１図の実施例に比べ、より高効率でレーザ出力が
得られる。ただし、第２図の実施例のほうが可飽和イン
ダクタ９を使ったぶんコスト高になる。
以上説明したように本発明の第１図、第２図の一実施例
においては、レーザ励起のための主放電電流Ｉｄが流れ
る主放電回路にはインダクタンスが少なく主放電電流Ｉ
ｄの立ち上がりが早いので、従来のパルスガスレーザ装
置に比べ高効率でレーザ出力がえられる。
においては、レーザ励起のための主放電電流Ｉｄが流れ
る主放電回路にはインダクタンスが少なく主放電電流Ｉ
ｄの立ち上がりが早いので、従来のパルスガスレーザ装
置に比べ高効率でレーザ出力がえられる。
本発明によれば、主放電回路のインダクタンスを少なく
しているので従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方
式を用いたパルスガスレーザ装置より高効率でレーザ出
力が得られる。
しているので従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方
式を用いたパルスガスレーザ装置より高効率でレーザ出
力が得られる。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の第１および第２の実
施例の構成図、第３図は従来の容量移行型・紫外線予備
自動電離方式を用いたパルスガスレーザ装置の本発明に
係わる部分の構成図である。 １・・・主放電空間、２・・・主放電電極、３・・・ア
ークギャップ、４・・・第１のピーキングコンデンサ、
５・・・第２のピーキングコンデンサ、６・・・主コン
デンサ、７・・・インダクタ、８・・・スイッチング素
子、９・・・可飽和インダクタ、１０・・・ピーキング
コンデンサ。 第１図 第２図
施例の構成図、第３図は従来の容量移行型・紫外線予備
自動電離方式を用いたパルスガスレーザ装置の本発明に
係わる部分の構成図である。 １・・・主放電空間、２・・・主放電電極、３・・・ア
ークギャップ、４・・・第１のピーキングコンデンサ、
５・・・第２のピーキングコンデンサ、６・・・主コン
デンサ、７・・・インダクタ、８・・・スイッチング素
子、９・・・可飽和インダクタ、１０・・・ピーキング
コンデンサ。 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）容量移行型・紫外線予備自動電離方式のパルスガ
スレーザ装置において、予備電離用アークギャップと第
１のピーキングコンデンサとを直列に接続したアークギ
ャップ回路とレーザ励起のための主放電空間との間に前
記アークギャップ回路と前記主放電空間とに第２のピー
キングコンデンサを並列になるように接続したことを特
徴とするパルスガスレーザ装置。 - （２）容量移行型・紫外線予備自動電離方式のパルスガ
スレーザ装置において、アークギャップ回路と、レーザ
励起のための主放電空間との間に前記アークギャップ回
路と前記主放電空間とに第２のピーキングコンデンサを
並列になるように接続し、並列になっているアークギャ
ップ回路と第２のピーキングンデンサとの間に可飽和イ
ンダクタを付加したことを特徴とするパルスガスレーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15725286A JPS6313387A (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | パルスガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15725286A JPS6313387A (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | パルスガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6313387A true JPS6313387A (ja) | 1988-01-20 |
Family
ID=15645581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15725286A Pending JPS6313387A (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | パルスガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6313387A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0266982A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-07 | Komatsu Ltd | パルス放電型ガスレーザの予備電離回路 |
| JPH04348574A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-03 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレーザ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61240690A (ja) * | 1985-04-18 | 1986-10-25 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPS62108588A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | Toshiba Corp | 充放電装置 |
-
1986
- 1986-07-03 JP JP15725286A patent/JPS6313387A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61240690A (ja) * | 1985-04-18 | 1986-10-25 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPS62108588A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | Toshiba Corp | 充放電装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0266982A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-07 | Komatsu Ltd | パルス放電型ガスレーザの予備電離回路 |
| JPH04348574A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-03 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレーザ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6782031B1 (en) | Long-pulse pulse power system for gas discharge laser | |
| EP0759215B1 (en) | Pulse power generating circuit with energy recovery | |
| US5914974A (en) | Method and apparatus for eliminating reflected energy due to stage mismatch in nonlinear magnetic compression modules | |
| CN1802790A (zh) | 高压磁压缩调制器 | |
| JP2005185092A (ja) | ガス放電ポンピング式の放射線源のために高い繰返し率及び高い電流強さのパルス形状の電流を生成するための装置 | |
| JPH0342710B2 (ja) | ||
| JP3880285B2 (ja) | ガス放電レーザに関する長パルスパルスパワーシステム | |
| JPS63304683A (ja) | エキシマレ−ザ−装置 | |
| US20020048303A1 (en) | Excimer laser and method of operating an excimer laser | |
| JPS61216373A (ja) | パルスレ−ザ装置 | |
| JPS63182A (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JP2747109B2 (ja) | パルスレーザ電源 | |
| JPH01130581A (ja) | パルスガスレーザ | |
| JPH069267B2 (ja) | パルスガスレ−ザ | |
| JPS61212080A (ja) | パルスガスレ−ザ励起回路 | |
| JPH03101283A (ja) | パルス電源回路 | |
| JPH07142788A (ja) | 窒素レーザ装置 | |
| JPH0357284A (ja) | パルスガスレーザの駆動装置 | |
| JP2003009549A (ja) | パルス電源 | |
| JPH04105378A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPH02105479A (ja) | パルスレーザ用電源 | |
| JPH04139781A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| Strowitzki | Bridge topology as primary switch for magnetic pulse compression circuit | |
| JPS63217685A (ja) | パルスレ−ザ装置 | |
| JPH05136503A (ja) | パルス電源装置 |