JPS63136002A - 凹レンズの作製方法 - Google Patents
凹レンズの作製方法Info
- Publication number
- JPS63136002A JPS63136002A JP28204186A JP28204186A JPS63136002A JP S63136002 A JPS63136002 A JP S63136002A JP 28204186 A JP28204186 A JP 28204186A JP 28204186 A JP28204186 A JP 28204186A JP S63136002 A JPS63136002 A JP S63136002A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concave lens
- area
- film
- lens
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
凹レンズの作製方法であって、少なくとも光反応性物質
を含む膜の凹レンズを形成すべき近傍のみに光照射する
ことにより、凹レンズを形成する領域以外からも光反応
性物質の供給が行なわれ、光照射領域の盛り上りが大と
なり、相対的に凹レンズが形成される領域の窪みも大き
くなり、曲率の小さな凹レンズの形成が可能となる。
を含む膜の凹レンズを形成すべき近傍のみに光照射する
ことにより、凹レンズを形成する領域以外からも光反応
性物質の供給が行なわれ、光照射領域の盛り上りが大と
なり、相対的に凹レンズが形成される領域の窪みも大き
くなり、曲率の小さな凹レンズの形成が可能となる。
本発明はレンズの製造方法に関するもので、さらに詳し
く言えばプラスチックのマイクロ凹レンズ及びマイクロ
凹レンズアレイの製造方法に関するものである。
く言えばプラスチックのマイクロ凹レンズ及びマイクロ
凹レンズアレイの製造方法に関するものである。
マイクロ凹レンズアレイの応用としては、光フアイバ通
信における光の分波、レーザ光の分散（コヒーレントな
球面波の発生）等がある。そしてこれらは量産性に冨み
安価に製造できることが要求されている。
信における光の分波、レーザ光の分散（コヒーレントな
球面波の発生）等がある。そしてこれらは量産性に冨み
安価に製造できることが要求されている。
従来のマイクロレンズアレイの製造方法としては次の如
き方法が知られている。
き方法が知られている。
■ 平板マイクロレンズは第４図に示すように１Ｈ７ｉ
Ｅ１に対し、その屈折率を減小させるドーパント２をマ
スク３の窓から拡散させると、注入されたドーパントの
濃度は基板表面のマスク中心で最も高く、深さ方向、半
径方向に向って次第に減小し、屈折率がドーパントの濃
度に逆比例するため凹レンズが形成される。
Ｅ１に対し、その屈折率を減小させるドーパント２をマ
スク３の窓から拡散させると、注入されたドーパントの
濃度は基板表面のマスク中心で最も高く、深さ方向、半
径方向に向って次第に減小し、屈折率がドーパントの濃
度に逆比例するため凹レンズが形成される。
■ キャスト法は型を用いて作成される。
上記従来のマイクロレンズの製造方法において、■の方
法ではイオン交換法でつ（るためレンズ径を小さくでき
ない、焦点距離を自由に変えられない、他の光学素子と
積層できない等の欠点があり、■の方法では微小化が困
難、他の光学素子との積層化が困難等の欠点があった。
法ではイオン交換法でつ（るためレンズ径を小さくでき
ない、焦点距離を自由に変えられない、他の光学素子と
積層できない等の欠点があり、■の方法では微小化が困
難、他の光学素子との積層化が困難等の欠点があった。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、微小
化及び他の光学素子への積層化ができ、且つ量産性に冨
み安価にできる凹レンズの作製方法を提供することを目
的としている。
化及び他の光学素子への積層化ができ、且つ量産性に冨
み安価にできる凹レンズの作製方法を提供することを目
的としている。
第１図は本発明の凹レンズの作製方法の原理を説明する
ための図である。
ための図である。
本発明は先ず第１図ａに示すように基板１０の上に少な
くとも光反応性物質からなる膜１１を形成する。次に第
１図すに示すように凹レンズを形成すべき領域１２の近
傍のみに光を照射する窓１３を有するマスク１４を用い
て膜１１に光照射する。
くとも光反応性物質からなる膜１１を形成する。次に第
１図すに示すように凹レンズを形成すべき領域１２の近
傍のみに光を照射する窓１３を有するマスク１４を用い
て膜１１に光照射する。
その後未反応光反応性物質の安定化を行なえば凹レンズ
１７を形成することが可能となる。
１７を形成することが可能となる。
少なくとも光反応性物質からなる膜１１に局部的に光照
射を行なうと、未反応の光反応性物質と光反応生成物の
蒸気圧、融点、膜中の拡散、流動性に差が生じ、光反応
性物質が凹レンズを形成すべき領域１２及びそれ以外の
領域１６から移動する。そのため光照射領域１５は膨張
し、それによって光照射領域１５に囲まれた凹レンズを
形成すべき領域１２がへこみ、かつ表面張力によって凹
レンズ１７が形成される。
射を行なうと、未反応の光反応性物質と光反応生成物の
蒸気圧、融点、膜中の拡散、流動性に差が生じ、光反応
性物質が凹レンズを形成すべき領域１２及びそれ以外の
領域１６から移動する。そのため光照射領域１５は膨張
し、それによって光照射領域１５に囲まれた凹レンズを
形成すべき領域１２がへこみ、かつ表面張力によって凹
レンズ１７が形成される。
第２図は本発明の詳細な説明するための図であり、ａは
使用するマスクの平面図、ｂは形成されたレンズアレイ
の断面図である。
使用するマスクの平面図、ｂは形成されたレンズアレイ
の断面図である。
本実施例は凹レンズを形成すべき領域の近傍のみに光を
照射するようにリング状の窓１３を有するマスク１４を
用いて、少なくとも光反応性物質からなる膜１１に光照
射を行なうのである。その結果膜１１の光照射された部
分はモノマからダイ７又はポリマに変化し、モノマとダ
イ７又はポリマの混合した状態となる。この混合物はモ
ノマより蒸気圧が小さくなるため光未照射頭域からモノ
マを吸い上げ膨張する。この場合、光照射領域はリング
状であるので、モノマの吸い上げはリング状の内側と外
側の両方から行なわれるため盛り上りは大きくなる。従
って中央部は相対的に窪みが大きくなり曲率の小さな凹
レンズ１７となる。
照射するようにリング状の窓１３を有するマスク１４を
用いて、少なくとも光反応性物質からなる膜１１に光照
射を行なうのである。その結果膜１１の光照射された部
分はモノマからダイ７又はポリマに変化し、モノマとダ
イ７又はポリマの混合した状態となる。この混合物はモ
ノマより蒸気圧が小さくなるため光未照射頭域からモノ
マを吸い上げ膨張する。この場合、光照射領域はリング
状であるので、モノマの吸い上げはリング状の内側と外
側の両方から行なわれるため盛り上りは大きくなる。従
って中央部は相対的に窪みが大きくなり曲率の小さな凹
レンズ１７となる。
第３図は本発明の他の実施例を説明するための図であり
、ａは使用するマスクの平面図、ｂは形成されたレンズ
アレイの断面図である。
、ａは使用するマスクの平面図、ｂは形成されたレンズ
アレイの断面図である。
本実施例は使用するマスク１４として、正方形の窓１３
を正方格子状に配置したものを用いて膜１１に光照射を
行なうもので、四つの正方形によって囲まれた領域に前
実施例と同様の作用によって凹レンズ１７が形成される
。
を正方格子状に配置したものを用いて膜１１に光照射を
行なうもので、四つの正方形によって囲まれた領域に前
実施例と同様の作用によって凹レンズ１７が形成される
。
以上述べてきたように、本発明によれば、凹レンズのマ
イクロ化、アレイ化が容易であり、がっ作製されたレン
ズアレイが膜状であるので他の光学素子への積層化が可
能であり、さらに作製工程が極めて簡単であるので量産
性に冨み、且つ安価にできる等の利点を有し、実用的に
は極めて有用である。
イクロ化、アレイ化が容易であり、がっ作製されたレン
ズアレイが膜状であるので他の光学素子への積層化が可
能であり、さらに作製工程が極めて簡単であるので量産
性に冨み、且つ安価にできる等の利点を有し、実用的に
は極めて有用である。
第１図は本発明の詳細な説明するための図、第２図は本
発明の詳細な説明するための図、第３図は本発明の他の
実施例を説明するための図、 第４図は従来の平板マイクロレンズの製造方法を説明す
るための図である。 第１図、第２図、第３図において、 １０は基板、 １１は少なくとも光反応性物質からなる膜、１２は凹レ
ンズを形成すべき領域、 １３は窓、 １４はマスク、 １５は光照射領域、 １６は凹レンズを形成すべき領域以外の領域、１７は凹
レンズである。
発明の詳細な説明するための図、第３図は本発明の他の
実施例を説明するための図、 第４図は従来の平板マイクロレンズの製造方法を説明す
るための図である。 第１図、第２図、第３図において、 １０は基板、 １１は少なくとも光反応性物質からなる膜、１２は凹レ
ンズを形成すべき領域、 １３は窓、 １４はマスク、 １５は光照射領域、 １６は凹レンズを形成すべき領域以外の領域、１７は凹
レンズである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも光反応性物質からなる膜（１１）に光照
射し、膜形状を変化させてレンズを製造する方法におい
て、 凹レンズを形成すべき領域（１２）の近傍のみ光照射し
、該光照射領域（１５）への光反応性物質の供給が凹レ
ンズを形成すべき領域（１２）以外の領域（１６）から
も行なわれるようにして光照射領域（１５）の盛り上り
を大きくすることによって相対的に凹レンズを形成すべ
き領域（１２）の窪みを大きくすることを特徴とした凹
レンズの作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28204186A JPS63136002A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 凹レンズの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28204186A JPS63136002A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 凹レンズの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63136002A true JPS63136002A (ja) | 1988-06-08 |
Family
ID=17647401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28204186A Pending JPS63136002A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 凹レンズの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63136002A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6849462B1 (en) | 1991-11-22 | 2005-02-01 | Affymetrix, Inc. | Combinatorial strategies for polymer synthesis |
| US6943034B1 (en) | 1991-11-22 | 2005-09-13 | Affymetrix, Inc. | Combinatorial strategies for polymer synthesis |
| JP2015138243A (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | 住友ベークライト株式会社 | 凹凸構造体、凹凸構造体の製造方法、光学部品および光学装置 |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP28204186A patent/JPS63136002A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6849462B1 (en) | 1991-11-22 | 2005-02-01 | Affymetrix, Inc. | Combinatorial strategies for polymer synthesis |
| US6864101B1 (en) | 1991-11-22 | 2005-03-08 | Affymetrix, Inc. | Combinatorial strategies for polymer synthesis |
| US6943034B1 (en) | 1991-11-22 | 2005-09-13 | Affymetrix, Inc. | Combinatorial strategies for polymer synthesis |
| JP2015138243A (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | 住友ベークライト株式会社 | 凹凸構造体、凹凸構造体の製造方法、光学部品および光学装置 |
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