JPS631381A - 超音波モ−タ - Google Patents
超音波モ−タInfo
- Publication number
- JPS631381A JPS631381A JP61141961A JP14196186A JPS631381A JP S631381 A JPS631381 A JP S631381A JP 61141961 A JP61141961 A JP 61141961A JP 14196186 A JP14196186 A JP 14196186A JP S631381 A JPS631381 A JP S631381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic motor
- vibration absorbing
- absorbing material
- ultrasonic
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
圧電体を用いて進行波をともなう超音波振動を発生させ
ることによシ駆動することのできるモータに関する。
ることによシ駆動することのできるモータに関する。
従来の技術
進行波方式による超音波モータは、固定部と移動部が相
互に接触加圧され、前記固定部に圧電体を装着した構造
を有する。圧電体の両端に時間差と位相差をつけつつ電
圧を印加することにより、進行波をともなう超音波振動
を発生させることができ、固定部を通して移動部へと伝
えられ移動部が駆動する。固定部は、振動を効率良く伝
達する弾性体として通常金属材料が用いられる。一方、
移動部は、外部へ発生した駆動力ｔ伝えるため、ある程
度の機械的強度が必要でありかっ、固定部と面接触によ
り相互に加圧接触されるだめ平面性を有するものが必要
で、通常は単に金属材料単独で構成されてきた。また、
別法としてスライダーというものを用いて移動部を構成
することも考えられる。
互に接触加圧され、前記固定部に圧電体を装着した構造
を有する。圧電体の両端に時間差と位相差をつけつつ電
圧を印加することにより、進行波をともなう超音波振動
を発生させることができ、固定部を通して移動部へと伝
えられ移動部が駆動する。固定部は、振動を効率良く伝
達する弾性体として通常金属材料が用いられる。一方、
移動部は、外部へ発生した駆動力ｔ伝えるため、ある程
度の機械的強度が必要でありかっ、固定部と面接触によ
り相互に加圧接触されるだめ平面性を有するものが必要
で、通常は単に金属材料単独で構成されてきた。また、
別法としてスライダーというものを用いて移動部を構成
することも考えられる。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、超音波モータの回転力を移動部から外部
へ取シ出す際、従来の金属材料単独からなる移動部の構
成では、移動部自体が超音波振動により振動し、外部へ
の動力伝達部を通じて被移動体も、微少の振動をすると
いう重大な欠点があった。″！た、移動部が、振動する
ので、ある条件によって騒音が発生するという問題もあ
った。
へ取シ出す際、従来の金属材料単独からなる移動部の構
成では、移動部自体が超音波振動により振動し、外部へ
の動力伝達部を通じて被移動体も、微少の振動をすると
いう重大な欠点があった。″！た、移動部が、振動する
ので、ある条件によって騒音が発生するという問題もあ
った。
問題点を解決するための手段
この問題を解決するため本発明、固定部と移動部を接触
加圧させる構成をとりかつ進行波をともなう超音波振動
により駆動する超音波モータにおいて、前記移動部が、
前記固定部との接触加圧面と外部への動力伝達部との間
に少くとも振動吸収材を介して構成するものである。
加圧させる構成をとりかつ進行波をともなう超音波振動
により駆動する超音波モータにおいて、前記移動部が、
前記固定部との接触加圧面と外部への動力伝達部との間
に少くとも振動吸収材を介して構成するものである。
作用
圧電体を装着した固定部は、圧電体の両端に電圧を印加
して超音波振動を発生させることにより、数ミクロンの
変位を有する微少な振動をする。その微少な振動が、固
定部に加圧接触されている移動部へ伝わシ駆動するから
、移動部も微少な振動をすることになる。この微少な振
動は、移動部の中にある振動吸収材によシ吸収され、超
音波モータの動力伝達部には全く伝わらない。それ故、
モータとして使用する際の被移動体にも微少の振動が伝
達されず、必要とする移動力だけ伝達されることになる
。
して超音波振動を発生させることにより、数ミクロンの
変位を有する微少な振動をする。その微少な振動が、固
定部に加圧接触されている移動部へ伝わシ駆動するから
、移動部も微少な振動をすることになる。この微少な振
動は、移動部の中にある振動吸収材によシ吸収され、超
音波モータの動力伝達部には全く伝わらない。それ故、
モータとして使用する際の被移動体にも微少の振動が伝
達されず、必要とする移動力だけ伝達されることになる
。
さらに、このような振動吸収材を移動部の中に挿入する
ことにより、余分な振動が吸収されるので騒音も抑制さ
れる。
ことにより、余分な振動が吸収されるので騒音も抑制さ
れる。
実施例
本発明の超音波モータの基本構成要素を第１図に示す。
圧電体１を装着した固定部２に移動部を加圧接触させる
。第１図では、接触部分は便宜上多少離れて図示されて
いるが実際は、均−に加圧接触されている。移動部は、
外部へ駆動力を伝えるための動力伝達部３と、不必要な
振動を吸収するだめの振動吸収材４と、シート状成型物
５を装着した加圧接触部６とで構成した。動力伝達部は
、外部へ駆動力を伝える役目をするため、ある程度の機
械的強度が必要であり通常の金属材料からなる。加圧接
触部は、固定部からの進行波をともなう超音波振動を効
率よく伝達し駆動力を得る役目をするもので、平面性を
有する硬質材料に複合材料からなるシート状成型物をエ
ボキシ系接着剤にて貼り付けたものを用いた。振動吸収
材としては、発泡プラスチックのように多孔質構造を有
するものや天然ゴム，スチレンープタジエンゴムなどの
ゴム材を用いた。
。第１図では、接触部分は便宜上多少離れて図示されて
いるが実際は、均−に加圧接触されている。移動部は、
外部へ駆動力を伝えるための動力伝達部３と、不必要な
振動を吸収するだめの振動吸収材４と、シート状成型物
５を装着した加圧接触部６とで構成した。動力伝達部は
、外部へ駆動力を伝える役目をするため、ある程度の機
械的強度が必要であり通常の金属材料からなる。加圧接
触部は、固定部からの進行波をともなう超音波振動を効
率よく伝達し駆動力を得る役目をするもので、平面性を
有する硬質材料に複合材料からなるシート状成型物をエ
ボキシ系接着剤にて貼り付けたものを用いた。振動吸収
材としては、発泡プラスチックのように多孔質構造を有
するものや天然ゴム，スチレンープタジエンゴムなどの
ゴム材を用いた。
第２図には、本発明を実際に構成した１例として、円板
型の超音波モータの構成を示した。振動吸収材としては
、厚さ１篇の発泡ポリウレタンのシートを用いエボキシ
系接着剤にて動力伝達部と加圧接触部に貼りつけること
により移動部を構成した。動力伝達部は、ステンレスで
構成し加圧接触部はシート状成型物を表面研摩したステ
ンレス材に接着することにより構成した。また、移動部
と固定部との間の接触加圧力は、軸７の底面よりネジで
締めつけることにより与えた。このようにして構成され
た円板型の超音波モータの圧電体の両端に電圧を加える
ことによシ超音波振動を発生させ、移動部を回転させた
。従来、多少の上下運動などの軸プレの現象が見られた
軸は全く軸ヲレを起さず安定に回転し、動力伝達部も全
くプレが見られなかった。
型の超音波モータの構成を示した。振動吸収材としては
、厚さ１篇の発泡ポリウレタンのシートを用いエボキシ
系接着剤にて動力伝達部と加圧接触部に貼りつけること
により移動部を構成した。動力伝達部は、ステンレスで
構成し加圧接触部はシート状成型物を表面研摩したステ
ンレス材に接着することにより構成した。また、移動部
と固定部との間の接触加圧力は、軸７の底面よりネジで
締めつけることにより与えた。このようにして構成され
た円板型の超音波モータの圧電体の両端に電圧を加える
ことによシ超音波振動を発生させ、移動部を回転させた
。従来、多少の上下運動などの軸プレの現象が見られた
軸は全く軸ヲレを起さず安定に回転し、動力伝達部も全
くプレが見られなかった。
さらに、従来キーキーという高い騒音が発生する場合が
あったが、本発明の構成においては全くそのような騒音
は全く見られなかった。また、軸や動力伝達部にある程
度の余分な外力が加わっても安定に動作した。これは、
振動吸収材の部分が、本発明の構成において、外力に対
する緩衝材の役目も兼ね備えているからである。
あったが、本発明の構成においては全くそのような騒音
は全く見られなかった。また、軸や動力伝達部にある程
度の余分な外力が加わっても安定に動作した。これは、
振動吸収材の部分が、本発明の構成において、外力に対
する緩衝材の役目も兼ね備えているからである。
振動吸収材として、発泡フェノール樹脂、発泡エリア樹
脂、発泡スチロール樹脂、発泡塩化ビニル樹脂、発泡エ
ポキシ樹脂、発泡ポリエチレンおよび発泡メタクリル樹
脂のシートを用いた場合も同様の結果が得られ、特に吸
音効果が著しく、騒音は全くおこらなかった。まだ別途
、振動吸収材として、天然ゴム，イソプレンゴム，ポリ
ブタジエンゴム，スチレンープタジエンゴムおよびシリ
コンゴムからなるゴム材さらにポリウレタンからなる熱
可塑性可とう性樹脂からなる１朋厚のシートをそれぞれ
用いても同様に良好な結果が得られた。すなわち、振動
を吸収することのできる程度の機械的Ｑの低い材質であ
れば、振動吸収材として用いることが可能であると思わ
れる。さらに、振動吸収材の有無により、超音波モータ
としてのトルク，回転数，モータ効率，寿命などの諸特
性は変化しなかった。
脂、発泡スチロール樹脂、発泡塩化ビニル樹脂、発泡エ
ポキシ樹脂、発泡ポリエチレンおよび発泡メタクリル樹
脂のシートを用いた場合も同様の結果が得られ、特に吸
音効果が著しく、騒音は全くおこらなかった。まだ別途
、振動吸収材として、天然ゴム，イソプレンゴム，ポリ
ブタジエンゴム，スチレンープタジエンゴムおよびシリ
コンゴムからなるゴム材さらにポリウレタンからなる熱
可塑性可とう性樹脂からなる１朋厚のシートをそれぞれ
用いても同様に良好な結果が得られた。すなわち、振動
を吸収することのできる程度の機械的Ｑの低い材質であ
れば、振動吸収材として用いることが可能であると思わ
れる。さらに、振動吸収材の有無により、超音波モータ
としてのトルク，回転数，モータ効率，寿命などの諸特
性は変化しなかった。
一方、別の構造の超音波モータとして円環状のものに関
して、同様に移動部を振動吸収材を挿入した構成にして
駆動させると、円環からなる動力伝達部のブレもなく騒
音も全くしなかった。この円環状の場合には、接触加圧
力として磁力を用いているので、動力伝達部はフエライ
ト磁石、加圧接触部は複合材料からなるシート状成型物
を装着したフエライト磁石を用いた。
して、同様に移動部を振動吸収材を挿入した構成にして
駆動させると、円環からなる動力伝達部のブレもなく騒
音も全くしなかった。この円環状の場合には、接触加圧
力として磁力を用いているので、動力伝達部はフエライ
ト磁石、加圧接触部は複合材料からなるシート状成型物
を装着したフエライト磁石を用いた。
また、本発明の構成は、直線状その他の任意の形状の超
音波モータについても実現できる。
音波モータについても実現できる。
発明の効果
超音波モータの移動部が、固定部との加圧接触部と外部
への動力伝達部Ａの間に少くとも振動吸収剤を介した構
成にすることにより、圧電体から発生する超音波振動を
振動吸収剤により吸収し、被移動体へ振動は全く伝達さ
れずかつ騒音も全く生じない実用に供しうる超音波モー
タを与えるものである。
への動力伝達部Ａの間に少くとも振動吸収剤を介した構
成にすることにより、圧電体から発生する超音波振動を
振動吸収剤により吸収し、被移動体へ振動は全く伝達さ
れずかつ騒音も全く生じない実用に供しうる超音波モー
タを与えるものである。
第１図は、本発明の超音波モータの基本構成を示す部分
断面図 、第２図は、本発明の円板型超音波モータの構
成を示す斜視図 、第３図は、本発明の円環型超音波モ
ータの構成を示す斜視図である。 １・・・・・・圧電体、２・・・・・・固定部、３・・
・・・・動力伝達部、４・・・・・・振動吸収材、６・
・・・・・シート状成型物、６・・・・・・加圧接触部
、７・・・・・・軸。
断面図 、第２図は、本発明の円板型超音波モータの構
成を示す斜視図 、第３図は、本発明の円環型超音波モ
ータの構成を示す斜視図である。 １・・・・・・圧電体、２・・・・・・固定部、３・・
・・・・動力伝達部、４・・・・・・振動吸収材、６・
・・・・・シート状成型物、６・・・・・・加圧接触部
、７・・・・・・軸。
Claims (6)
- （１）固定部と移動部を接触加圧させる構成をとりかつ
進行波をともなう超音波振動により駆動する超音波モー
タにおいて移動部が、固定部との加圧接触部と外部への
動力伝達部との間に少くとも振動吸収材を介して構成さ
れることを特徴とする超音波モータ。 - （２）振動吸収材が、多孔質な構造を有する特許請求の
範囲第一項記載の超音波モータ。 - （３）振動吸収材が、少くともゴム材からなる特許請求
の範囲第一項記載の超音波モータ。 - （４）振動吸収材が、少くとも熱可塑性エラストマーか
らなる特許請求の範囲第一項記載の超音波モータ。 - （５）固定部との加圧接触部に複合材料からなるシート
状成型物を装着してなる特許請求の範囲第一項記載の超
音波モータ。 - （６）超音波モータの形状が、円板，円環のいずれかの
形状である特許請求の範囲第一項記載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61141961A JPS631381A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 超音波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61141961A JPS631381A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 超音波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631381A true JPS631381A (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=15304149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61141961A Pending JPS631381A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631381A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206880A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ |
| JPH05271791A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Nkk Corp | 金属帯のロール冷却方法 |
| JP2006081371A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59188381A (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-25 | Shinsei Kogyo:Kk | 超音波モータ |
| JPS60174074A (ja) * | 1984-01-30 | 1985-09-07 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
-
1986
- 1986-06-18 JP JP61141961A patent/JPS631381A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59188381A (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-25 | Shinsei Kogyo:Kk | 超音波モータ |
| JPS60174074A (ja) * | 1984-01-30 | 1985-09-07 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206880A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ |
| JPH05271791A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Nkk Corp | 金属帯のロール冷却方法 |
| JP2006081371A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61224881A (ja) | 振動波モ−タ | |
| DE60021726D1 (de) | Ultraschallmotoren | |
| JPH0532991B2 (ja) | ||
| JPS6253182A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP4236957B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 | |
| JPH0477554B2 (ja) | ||
| JPS6055866A (ja) | 弾性波モ−タ | |
| JP2950537B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPS61277383A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2629176B2 (ja) | 振動モータ | |
| JPH01144371A (ja) | 超音波モータ装置 | |
| JPS60174074A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPS62201076A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPS61173683A (ja) | 超音波駆動モ−タ | |
| JP2537217B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JP2754625B2 (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JPS62201075A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH0619341Y2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JP2667163B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH055838Y2 (ja) | ||
| JPS63140679A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPS62107687A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH07322657A (ja) | 超音波モータ | |
| JPS62196087A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH074073B2 (ja) | 超音波モータ |