JPS63140118A - ころがり軸受用ボ−ル保持器およびその製造方法 - Google Patents
ころがり軸受用ボ−ル保持器およびその製造方法Info
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- JPS63140118A JPS63140118A JP61287447A JP28744786A JPS63140118A JP S63140118 A JPS63140118 A JP S63140118A JP 61287447 A JP61287447 A JP 61287447A JP 28744786 A JP28744786 A JP 28744786A JP S63140118 A JPS63140118 A JP S63140118A
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
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- F16C33/3837—Massive or moulded cages having cage pockets surrounding the balls, e.g. machined window cages
- F16C33/3843—Massive or moulded cages having cage pockets surrounding the balls, e.g. machined window cages formed as one-piece cages, i.e. monoblock cages
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/38—Ball cages
- F16C33/44—Selection of substances
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
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- F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2206/00—Materials with ceramics, cermets, hard carbon or similar non-metallic hard materials as main constituents
- F16C2206/02—Carbon based material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はころがり軸受に利用する。特に、真空中または
高温雰囲気中等で使用する無給油ころがり軸受のボール
保持器およびその製造方法に関する。
高温雰囲気中等で使用する無給油ころがり軸受のボール
保持器およびその製造方法に関する。
〔１既 要〕
本発明は、無給油ころがり軸受のボール保持器において
、 少なくともボールとの摺接部をガラス状カーボンを主成
分とする材料で構成することにより、耐熱性、耐久性、
潤滑性に優れ、しかも軽量で低トルクのころがり軸受用
ボール保持器を提供するものである。
、 少なくともボールとの摺接部をガラス状カーボンを主成
分とする材料で構成することにより、耐熱性、耐久性、
潤滑性に優れ、しかも軽量で低トルクのころがり軸受用
ボール保持器を提供するものである。
ころがり軸受等の摺接部の潤滑には、一般的に油やグリ
ースが用いられる。しかし、真空中や高温雰囲気等の油
の使用が望ましくない場所で使用する場合、給油の困難
な場所で使用する場合、および油を使用できない条件の
場合には、潤滑剤として黒鉛、二硫化モリブデン、二硫
化タングステン、六方晶窒化ホウ素、テフロン粉末、フ
ッ化黒鉛、金、根、鉛等の固体潤滑剤が用いられる。
ースが用いられる。しかし、真空中や高温雰囲気等の油
の使用が望ましくない場所で使用する場合、給油の困難
な場所で使用する場合、および油を使用できない条件の
場合には、潤滑剤として黒鉛、二硫化モリブデン、二硫
化タングステン、六方晶窒化ホウ素、テフロン粉末、フ
ッ化黒鉛、金、根、鉛等の固体潤滑剤が用いられる。
しかし、上述した固体潤滑剤のうち、黒鉛は真空中では
潤滑性が不十分であり、テフロン等のプラスチック類や
フッ化黒鉛は耐熱性が不十分である。
潤滑性が不十分であり、テフロン等のプラスチック類や
フッ化黒鉛は耐熱性が不十分である。
固体潤滑剤の使用方法としては、主に摺接部にこすり付
けて使用する方法が一般的である。しかし、薄膜被膜の
状態で使用すると、この被膜の摩耗寿命が短く過剰に摩
耗粉が発生ずる欠点があった。また、イオンブレーティ
ングやスパッタリング等により薄膜を形成す、る方法も
使用されているが、装置が高価であること等により製品
が高価となり、しかも十分な性能は得られていない。
けて使用する方法が一般的である。しかし、薄膜被膜の
状態で使用すると、この被膜の摩耗寿命が短く過剰に摩
耗粉が発生ずる欠点があった。また、イオンブレーティ
ングやスパッタリング等により薄膜を形成す、る方法も
使用されているが、装置が高価であること等により製品
が高価となり、しかも十分な性能は得られていない。
このような問題点を解決するため、自己潤滑性を有する
材料の使用が考えられている。
材料の使用が考えられている。
また、半導体製造装置として用いられる真空装置や、高
性能分析器に使用する真空測定装置等の真空中で作動す
る装置では、高耐熱性および高速性が要求される。
性能分析器に使用する真空測定装置等の真空中で作動す
る装置では、高耐熱性および高速性が要求される。
本発明は、ころがり軸受用ボール保持器の材料として耐
熱性および耐久性に優れた軽量の自己潤滑性材料を提供
し、これにより、低トルクのころがり軸受を提供するこ
とを目的とする。
熱性および耐久性に優れた軽量の自己潤滑性材料を提供
し、これにより、低トルクのころがり軸受を提供するこ
とを目的とする。
゛□本発明の第一の発明はころがり軸受用ボール保持器
であり、少なくともボールとの摺接部がガラス状カーボ
ンを主成分とする材料、例えばガラス状カーボン単体ま
たはガラス状カーボン複合材料を原材料として構成され
たことを特徴とする。
であり、少なくともボールとの摺接部がガラス状カーボ
ンを主成分とする材料、例えばガラス状カーボン単体ま
たはガラス状カーボン複合材料を原材料として構成され
たことを特徴とする。
本発明の第二の発明は上記ころがり軸受用ボール保持器
を製造する方法であり、ガラス状カーボンを主成分とす
る材料を切削加工する工程を含む。
を製造する方法であり、ガラス状カーボンを主成分とす
る材料を切削加工する工程を含む。
ガラス状カーボンとしては、熱硬化性樹脂を硬化および
焼成して得られるものを用い、ポリアクリロニトリル系
、レーヨン系、フェノール系またはフラン系の樹脂を用
いることができる。特に、初′Ｍ縮合吻の状態で２０％
以上の水を含みうる熱硬化性樹脂を原料として得られる
無孔性のガラス状カーボン、すなわち特開昭６０−１７
１２０８号公報、特開昭６０−１７１２０９号公報特開
昭６０−１７１２１０号公報および特開昭６０−１７１
２１１号公報に開示されたガラス状カーボンを用いるこ
とが望ましい。
焼成して得られるものを用い、ポリアクリロニトリル系
、レーヨン系、フェノール系またはフラン系の樹脂を用
いることができる。特に、初′Ｍ縮合吻の状態で２０％
以上の水を含みうる熱硬化性樹脂を原料として得られる
無孔性のガラス状カーボン、すなわち特開昭６０−１７
１２０８号公報、特開昭６０−１７１２０９号公報特開
昭６０−１７１２１０号公報および特開昭６０−１７１
２１１号公報に開示されたガラス状カーボンを用いるこ
とが望ましい。
まだ、ガラス状カーボン複合材料としては、ガラス状カ
ーボンを主成分とし、補強繊維成分として炭化ケイ素ウ
ィスカ、窒化ケイ素ウィスカ、黒鉛ウィスカ、アルミナ
ウィスカから選ばれる一種以上のウィスカを含むものを
用いることができる。
ーボンを主成分とし、補強繊維成分として炭化ケイ素ウ
ィスカ、窒化ケイ素ウィスカ、黒鉛ウィスカ、アルミナ
ウィスカから選ばれる一種以上のウィスカを含むものを
用いることができる。
ここでいうウィスカとは、固体からの自然成長、蒸気の
凝縮、化学反応、共晶の一方向性凝固、電着等により成
長する針状結晶であり、ひげ結晶とも呼ばれるものであ
る。その太さは０．０５μｍ以下のものから１０μｍ程
度に及ぶものが知られている。ウィスカの最大の特徴は
、結晶内部の転移や欠陥が極めて少ないことであり、皆
無のものもある。このため、ウィスカの強度はその結晶
の理想値に近い。
凝縮、化学反応、共晶の一方向性凝固、電着等により成
長する針状結晶であり、ひげ結晶とも呼ばれるものであ
る。その太さは０．０５μｍ以下のものから１０μｍ程
度に及ぶものが知られている。ウィスカの最大の特徴は
、結晶内部の転移や欠陥が極めて少ないことであり、皆
無のものもある。このため、ウィスカの強度はその結晶
の理想値に近い。
ウィスカのアスペクト比（太さと長さとの比）には特に
規定はないが、一般にアスペクト比の大きいものほどそ
れを含む複合材料の強度が大きくなる。本発明のガラス
状カーボン複合材料では、アスペクト比が１０以上、さ
らには５０以上のウィスカを用いた場合に効果が得られ
た。
規定はないが、一般にアスペクト比の大きいものほどそ
れを含む複合材料の強度が大きくなる。本発明のガラス
状カーボン複合材料では、アスペクト比が１０以上、さ
らには５０以上のウィスカを用いた場合に効果が得られ
た。
ウィスカの含有率は、ガラス状カーボンに対して体積比
で０．００５〜０．２の範囲が望ましく、さらには０．
００５〜０．１の範囲が望ましい。この範囲の場合には
、精密加工性、耐摩耗性および摩擦係数の点で優れてい
る。ウィスカの含有率が少ない場合には混入による効果
が得られない。また、多すぎる場合には、精密加工性が
低下し、摩擦係数が太き（なってしまう。
で０．００５〜０．２の範囲が望ましく、さらには０．
００５〜０．１の範囲が望ましい。この範囲の場合には
、精密加工性、耐摩耗性および摩擦係数の点で優れてい
る。ウィスカの含有率が少ない場合には混入による効果
が得られない。また、多すぎる場合には、精密加工性が
低下し、摩擦係数が太き（なってしまう。
さらに、高真空中等で使用するボール保持器には、前述
のガラス状カーボンまたはその複合材料に、二硫化モリ
ブデン、二硫化タングステン、六方晶窒化ホウ素から選
ばれる一種以上のフィラーを混入して使用することが望
ましい。
のガラス状カーボンまたはその複合材料に、二硫化モリ
ブデン、二硫化タングステン、六方晶窒化ホウ素から選
ばれる一種以上のフィラーを混入して使用することが望
ましい。
これらのフィラーは固体潤滑剤として使用される材料で
あり、いずれも六方晶系の結晶構造をもつ。例えば二硫
化モリブデンは、摺動時に襞間を生じて優れた潤滑被膜
となり、金属表面に付着して極めて低い摩擦係数を示す
。このような固体潤滑剤を混入することにより、高い耐
摩耗性を有するガラス状カーボンまたはその複合材料の
適度の減摩性と整合し、適度の固体潤滑剤供給源となり
、しかも寿命の長い耐久性を示すことができる。
あり、いずれも六方晶系の結晶構造をもつ。例えば二硫
化モリブデンは、摺動時に襞間を生じて優れた潤滑被膜
となり、金属表面に付着して極めて低い摩擦係数を示す
。このような固体潤滑剤を混入することにより、高い耐
摩耗性を有するガラス状カーボンまたはその複合材料の
適度の減摩性と整合し、適度の固体潤滑剤供給源となり
、しかも寿命の長い耐久性を示すことができる。
ガラス状カーボンは、自己潤滑性があり、耐熱性および
耐久性に優れ、しかも軽量な材料である。
耐久性に優れ、しかも軽量な材料である。
この材料を用いることにより、低摩擦、低摩耗、軽量、
耐熱性に優れたころがり軸受用ボール保持器が得られる
。このボール保持器は、潤滑油を用いる必要がなく、真
空中等の潤滑油を用いることのできない雰囲気中でも低
トルクで動作する。
耐熱性に優れたころがり軸受用ボール保持器が得られる
。このボール保持器は、潤滑油を用いる必要がなく、真
空中等の潤滑油を用いることのできない雰囲気中でも低
トルクで動作する。
ウィスカを混入したガラス状カーボン複合材料を用いた
場合には、ボール保持器の強度を増加させることができ
る。また、ガラス状カーボンまたはガラス状カーボンと
ウィスカとの複合材料にフィラーを混入した複合材料を
用いた場合には、ボール保持器の摩擦係数が極めて小さ
くなる。
場合には、ボール保持器の強度を増加させることができ
る。また、ガラス状カーボンまたはガラス状カーボンと
ウィスカとの複合材料にフィラーを混入した複合材料を
用いた場合には、ボール保持器の摩擦係数が極めて小さ
くなる。
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、
以下の例はあくまで一例であり、これにより本発明の技
術範囲を限定するものではない。
以下の例はあくまで一例であり、これにより本発明の技
術範囲を限定するものではない。
また、実施例中で「部」とあるのは、すべて「重量部」
を示す。
を示す。
（材料１）
フルフリルアルコール５００部と９２％パラホルムアル
デヒド４８０部とを８０℃で攪拌溶解させ、攪拌下でフ
ェノール５２０部、水酸化ナトリウム８．８部および水
４５部の混合液を滴下する。滴下終了後は８０℃で３時
間反応させる。さらに、フェノール８０部、水酸化ナト
リウム８．８部および水４５部の混合液を添加し、８０
℃で４．５時間反応させる。この混合液を３０℃まで冷
却し、７０％パラトルエンスルホン酸水溶液で中和する
。その後に、減圧下で脱水して１５０部の水を除去し、
５００部のフルフリルアルコールを添加する。
デヒド４８０部とを８０℃で攪拌溶解させ、攪拌下でフ
ェノール５２０部、水酸化ナトリウム８．８部および水
４５部の混合液を滴下する。滴下終了後は８０℃で３時
間反応させる。さらに、フェノール８０部、水酸化ナト
リウム８．８部および水４５部の混合液を添加し、８０
℃で４．５時間反応させる。この混合液を３０℃まで冷
却し、７０％パラトルエンスルホン酸水溶液で中和する
。その後に、減圧下で脱水して１５０部の水を除去し、
５００部のフルフリルアルコールを添加する。
これによって得られた樹脂組成物は、フェノール、フル
フリルアルコールおよびホルマリンの単量体に換算した
モル比で２２ ： ３２ ： ４６の組成物であり、２
５℃で６８０ｃｐｓの粘度を有し、含水率は３８％であ
った。
フリルアルコールおよびホルマリンの単量体に換算した
モル比で２２ ： ３２ ： ４６の組成物であり、２
５℃で６８０ｃｐｓの粘度を有し、含水率は３８％であ
った。
この樹脂）Ｊｌｌ動物パラトルエンスルホン酸７０部と
、水およびグリコール（重量比２：１）の溶液３．５部
を添加し、十分に攪拌した後に厚さ３ｍｍの板状の型に
注入し、減圧脱泡した。この後、５０〜６０℃で３時間
加熱し、さらに９０℃で′２日間加熱した。得られた板
状の硬化樹脂を管状炉に入れ、窒素気流中にて１０℃／
ｈｒの昇温速度で１２００℃まで昇温し、２時間保持し
た後に冷却してガラス状カーボンを得た。このガラス状
カーボンを材料１とする。
、水およびグリコール（重量比２：１）の溶液３．５部
を添加し、十分に攪拌した後に厚さ３ｍｍの板状の型に
注入し、減圧脱泡した。この後、５０〜６０℃で３時間
加熱し、さらに９０℃で′２日間加熱した。得られた板
状の硬化樹脂を管状炉に入れ、窒素気流中にて１０℃／
ｈｒの昇温速度で１２００℃まで昇温し、２時間保持し
た後に冷却してガラス状カーボンを得た。このガラス状
カーボンを材料１とする。
（材料２）
フルフリルアルコール（花王りエーカー製）１００部に
０．０１１Ｎ−Ｈ（ｌ水溶液を５部添加し、９６℃で６
時間反応させた後に減圧脱水して熱硬化性樹脂を得た。
０．０１１Ｎ−Ｈ（ｌ水溶液を５部添加し、９６℃で６
時間反応させた後に減圧脱水して熱硬化性樹脂を得た。
この熱硬化性樹脂に、直径０．０５〜１．５μｍ、長さ
２０〜２００μｍ、比重３．１８のβ型炭化ケイ素ウィ
スカ（タテホ化学工業■製炭化ケイ素ウィスカ５ＣＷ）
を２重量％加え、ボールミルで分散混合した。得られた
フルフリルアルコール初期縮合物とウィスカとの混合物
１００部に対して、７０％パラトルエンスルホン酸水溶
液１．５部を添加して十分に攪拌した。これを、厚さ３
ｍｍの短冊状の型に注入して減圧脱泡した。次に、５０
〜６０℃で３時間、さらに９０℃で５日間加熱した。こ
れにより得られた短冊状の複合硬化樹脂を管状炉に入れ
、窒素気流中にて１０℃／ｈｒの昇温速度で１２００℃
まで昇温し、この温度で２時間保持した後に冷却した。
２０〜２００μｍ、比重３．１８のβ型炭化ケイ素ウィ
スカ（タテホ化学工業■製炭化ケイ素ウィスカ５ＣＷ）
を２重量％加え、ボールミルで分散混合した。得られた
フルフリルアルコール初期縮合物とウィスカとの混合物
１００部に対して、７０％パラトルエンスルホン酸水溶
液１．５部を添加して十分に攪拌した。これを、厚さ３
ｍｍの短冊状の型に注入して減圧脱泡した。次に、５０
〜６０℃で３時間、さらに９０℃で５日間加熱した。こ
れにより得られた短冊状の複合硬化樹脂を管状炉に入れ
、窒素気流中にて１０℃／ｈｒの昇温速度で１２００℃
まで昇温し、この温度で２時間保持した後に冷却した。
これにより得られたガラス状カーボン複合材料を材料２
とする。
とする。
（材料３）
実施例１で得られた受信組成物１００部に３．３部の二
硫化モリブデン（日本黒鉛工業■製、モリパウダーＣ）
を添加し、サンドミルで混合した。二硫化モリブデンの
混合量は焼成後の体積％で２％に相当する。
硫化モリブデン（日本黒鉛工業■製、モリパウダーＣ）
を添加し、サンドミルで混合した。二硫化モリブデンの
混合量は焼成後の体積％で２％に相当する。
この混合物１００部に７０％パラトルエンスルホン酸水
溶液３．２部を添加して十分に攪拌した。これを厚さ３
開の短冊状の型に注入して減圧脱泡し、５０〜６０℃で
３時間、さらに９０℃で３日間加熱した。
溶液３．２部を添加して十分に攪拌した。これを厚さ３
開の短冊状の型に注入して減圧脱泡し、５０〜６０℃で
３時間、さらに９０℃で３日間加熱した。
これにより得られた板状の複合硬化樹脂を円板状に加工
した。これを管状炉に入れ、窒素気流中にて１０℃／ｈ
ｒの昇温速度で１１００℃まで昇温し、この温度で２時
間保持した。
した。これを管状炉に入れ、窒素気流中にて１０℃／ｈ
ｒの昇温速度で１１００℃まで昇温し、この温度で２時
間保持した。
これにより得られたガラス状カーボン複合材料を材料３
とする。
とする。
（材料４）
実施例工で得られた樹脂組成物１００部に対し、炭化ケ
イ素ウィスカおよび二硫化モリブデンをそれぞれ２部お
よび３．３部加え、サンドミルで混合し、実施例３と同
様に硬化させ、成形し、焼成した。
イ素ウィスカおよび二硫化モリブデンをそれぞれ２部お
よび３．３部加え、サンドミルで混合し、実施例３と同
様に硬化させ、成形し、焼成した。
これにより得られたガラス状カーボン複合材料を材料４
とする。
とする。
（試験例１）
材料１および材料２について、曽田（■型）振子式摩擦
試験機により摩耗特性を調べた。測定条件は、 試験片：材料１および２を試験用ローラピン形状（直径
２ｍｍ、長さ３０ｍｍ）に加工したもの、 表面 ：研磨テープ１１６０００を使用して研磨、試験
用鋼球： ５ＵＪ−２製、３／１６インチ径、荷重 ：
全荷重３００グラム （最大ヘルツ応力１１１ ｋｇ／ｍが）、温度 ：室温
および８０’Ｃ１ 潤滑液：使用せず とした。比較のため、５ＵＪ−２および５Ｏ３−３０４
を用いて同じ測定を行った。この結果を第１表に示す。
試験機により摩耗特性を調べた。測定条件は、 試験片：材料１および２を試験用ローラピン形状（直径
２ｍｍ、長さ３０ｍｍ）に加工したもの、 表面 ：研磨テープ１１６０００を使用して研磨、試験
用鋼球： ５ＵＪ−２製、３／１６インチ径、荷重 ：
全荷重３００グラム （最大ヘルツ応力１１１ ｋｇ／ｍが）、温度 ：室温
および８０’Ｃ１ 潤滑液：使用せず とした。比較のため、５ＵＪ−２および５Ｏ３−３０４
を用いて同じ測定を行った。この結果を第１表に示す。
第 １ 表
第１表かられかるように、ガラス状カーボンおよびガラ
ス状カーボン複合材料は摩擦係数力＜＋ｉめで低く、こ
ろがり軸受用ボール保持器に適した材料である。
ス状カーボン複合材料は摩擦係数力＜＋ｉめで低く、こ
ろがり軸受用ボール保持器に適した材料である。
（試験例２）
材料ｌ、３および４について、真空チャンバ内でピン・
ディスク型の試験機により摩擦特性を測定した。測定条
件は、 試料 ：材料１．３および４を直径５０ｍｍ 、厚さ２
ｍｍのディスク形状に加工したもの、表面 ：研磨テー
プ＄６０００を使用して研磨、ピン ： ５ＵＪ−２製
、３／１６インチ径の鋼球、荷重 ：荷重１００グラム
、 温度 ：真空チャンバ内は室温、 潤滑液：使用せず 真空度： １０−’台、 回転数： １００ ｒｐｍ とした。比較のため、５ＵＪ−２を用いて同じ測定を行
った。
ディスク型の試験機により摩擦特性を測定した。測定条
件は、 試料 ：材料１．３および４を直径５０ｍｍ 、厚さ２
ｍｍのディスク形状に加工したもの、表面 ：研磨テー
プ＄６０００を使用して研磨、ピン ： ５ＵＪ−２製
、３／１６インチ径の鋼球、荷重 ：荷重１００グラム
、 温度 ：真空チャンバ内は室温、 潤滑液：使用せず 真空度： １０−’台、 回転数： １００ ｒｐｍ とした。比較のため、５ＵＪ−２を用いて同じ測定を行
った。
第 ２ 表
第２表かられかるように、ガラス状カーボンおよびガラ
ス状カーボン複合材料は、真空中でも極めて摩擦係数が
低い。したがって、真空中で使用するころがり軸受用ボ
ール保持器に適した材料である。
ス状カーボン複合材料は、真空中でも極めて摩擦係数が
低い。したがって、真空中で使用するころがり軸受用ボ
ール保持器に適した材料である。
（実施例）
以上の材料１〜４を切削加工し、ころがり軸受用ボール
保持器を作成した。その形状を第１図および第２図に示
す。第１図は斜視図を示し、第２図は断面図を示す。
保持器を作成した。その形状を第１図および第２図に示
す。第１図は斜視図を示し、第２図は断面図を示す。
以上説明したように、本発明のころがり軸受用ボール保
持器は、鋼球との摩擦が小さく、摩耗しに＜＜、軽量で
、耐熱性に優れ、潤滑剤の塗布を必要としない。本発明
は、真空中や高温雰囲気中で使用するころがり軸受に使
用するに適する。特に、半導体製造装置等の真空を利用
した微細加工装置の作動部や、真空を利用した高性能分
析器におけるマニピュレータに用いて大きな効果がある
。
持器は、鋼球との摩擦が小さく、摩耗しに＜＜、軽量で
、耐熱性に優れ、潤滑剤の塗布を必要としない。本発明
は、真空中や高温雰囲気中で使用するころがり軸受に使
用するに適する。特に、半導体製造装置等の真空を利用
した微細加工装置の作動部や、真空を利用した高性能分
析器におけるマニピュレータに用いて大きな効果がある
。
第１図は本発明実施例ころがり軸受用ボール保持器の斜
視図。 第２図は本発明実施例ころがり軸受用ボール保持器の断
面図。 ・−１，／′
視図。 第２図は本発明実施例ころがり軸受用ボール保持器の断
面図。 ・−１，／′
Claims (6)
- （１）ころがり軸受のボールに接してそのボールを保持
するころがり軸受用ボール保持器において、少なくとも
ボールとの摺接部がガラス状カーボンを主成分とする材
料で製造された ことを特徴とするころがり軸受用ボール保持器。 - （２）ガラス状カーボンを主成分とする材料を切削加工
する工程を含むころがり軸受用ボール保持器の製造方法
。 - （３）ガラス状カーボンを主成分とする材料は、硬化前
の初期縮合物の状態で２０重量％以上の水を含むことの
できる熱硬化性樹脂を硬化し、焼成して形成したガラス
状カーボンを含む特許請求の範囲第（２）項に記載のこ
ろがり軸受用ボール保持器の製造方法。 - （４）熱硬化性樹脂は、フラン樹脂、フェノール樹脂、
フェノール変性フラン樹脂から選ばれる一種以上の樹脂
を含む特許請求の範囲第（３）項に記載のころがり軸受
用ボール保持器の製造方法。 - （５）ガラス状カーボンを主成分とする材料は、炭化ケ
イ素ウィスカ、窒化ケイ素ウィスカ、黒鉛ウィスカおよ
びアルミナウィスカから選ばれる一種以上のウィスカを
含むガラス状カーボン複合材料である特許請求の範囲（
２）項ないし第（４）項のいずれかに記載のころがり軸
受用ボール保持器の製造方法。 - （６）ガラス状カーボンを主成分とする材料は、二硫化
モリブデン、二硫化タングステンおよび六方晶窒化ホウ
素から選ばれる一種以上のフィラーを含むガラス状カー
ボン複合材料である特許請求の範囲第（２）項ないし第
（５）項のいずれかに記載のころがり軸受用ボール保持
器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287447A JPS63140118A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | ころがり軸受用ボ−ル保持器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287447A JPS63140118A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | ころがり軸受用ボ−ル保持器およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140118A true JPS63140118A (ja) | 1988-06-11 |
Family
ID=17717442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61287447A Pending JPS63140118A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | ころがり軸受用ボ−ル保持器およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63140118A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02146314A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Nippon Seiko Kk | 固体潤滑の玉軸受 |
| US5752773A (en) * | 1997-03-14 | 1998-05-19 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | High temperature rolling element bearing |
| US8137428B2 (en) | 2006-06-27 | 2012-03-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification apparatus for internal combustion engine |
-
1986
- 1986-12-02 JP JP61287447A patent/JPS63140118A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02146314A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Nippon Seiko Kk | 固体潤滑の玉軸受 |
| US5752773A (en) * | 1997-03-14 | 1998-05-19 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | High temperature rolling element bearing |
| US8137428B2 (en) | 2006-06-27 | 2012-03-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification apparatus for internal combustion engine |
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