JPS63142832U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63142832U JPS63142832U JP3625987U JP3625987U JPS63142832U JP S63142832 U JPS63142832 U JP S63142832U JP 3625987 U JP3625987 U JP 3625987U JP 3625987 U JP3625987 U JP 3625987U JP S63142832 U JPS63142832 U JP S63142832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- lid
- frame
- robot
- lid body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図〜第５図は本考案の実施例を示し、第１
図は、回転式乾燥装置の縦断側面図、第２図及び
第３図はそれぞれ当該乾燥装置の斜視図、第４図
は上蓋をカツプハウジングに取付けた状態を示す
要部縦断面図、第５及び第６図はそれぞれ第２の
実施例を示す斜視図、第７図〜第９図は従来例を
示し、第７図はウエツトステーシヨン式処理装置
の全体を示す斜視図、第８図は回転式乾燥装置の
縦断側面図、第９図は、別の基板処理装置の側面
図である。 １，２……ハウジング、５……上蓋、５ａ……
蓋本体、５ｂ……縁枠、１０……開閉駆動手段（
エアシリンダ）、Ａ……作業者操作側、Ｂ……ロ
ボツト操作側。
図は、回転式乾燥装置の縦断側面図、第２図及び
第３図はそれぞれ当該乾燥装置の斜視図、第４図
は上蓋をカツプハウジングに取付けた状態を示す
要部縦断面図、第５及び第６図はそれぞれ第２の
実施例を示す斜視図、第７図〜第９図は従来例を
示し、第７図はウエツトステーシヨン式処理装置
の全体を示す斜視図、第８図は回転式乾燥装置の
縦断側面図、第９図は、別の基板処理装置の側面
図である。 １，２……ハウジング、５……上蓋、５ａ……
蓋本体、５ｂ……縁枠、１０……開閉駆動手段（
エアシリンダ）、Ａ……作業者操作側、Ｂ……ロ
ボツト操作側。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板処理装置のハウジングの上部に開閉自在に
上蓋を設け、ハウジングの一側を基板搬送用ロボ
ツトのロボツト操作側とし、これと対向する一側
を作業者操作側とし、上蓋をロボツト操作と干渉
しない位置へ開くように構成した基板処理装置の
上蓋装置において、 前記上蓋は蓋本体と縁枠とから成り、蓋本体は
縁枠に蝶着され、縁枠は前記ハウジングに蝶着さ
れ、蓋本体と縁枠との蝶着または縁枠と前記ハウ
ジングとの蝶着のどちらか一方の蝶着位置のみが
作業者操作側となるようにしたことを特徴とする
基板処理装置の上蓋装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3625987U JPS63142832U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3625987U JPS63142832U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142832U true JPS63142832U (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=30846499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3625987U Pending JPS63142832U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63142832U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217124B2 (ja) * | 1979-08-06 | 1987-04-16 | Babcock Hitachi Kk |
-
1987
- 1987-03-11 JP JP3625987U patent/JPS63142832U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217124B2 (ja) * | 1979-08-06 | 1987-04-16 | Babcock Hitachi Kk |