JPS63143798U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63143798U JPS63143798U JP3612487U JP3612487U JPS63143798U JP S63143798 U JPS63143798 U JP S63143798U JP 3612487 U JP3612487 U JP 3612487U JP 3612487 U JP3612487 U JP 3612487U JP S63143798 U JPS63143798 U JP S63143798U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- stator
- turbo
- molecular pump
- blades
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係るターボ分子ポンプの要部
を示す断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプ
の要部を示す断面図、第３図はその使用状態を説
明するための概略図である。 １……ケーシング、２……回転子、３……動翼
、１１……固定子、１２……静翼。
を示す断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプ
の要部を示す断面図、第３図はその使用状態を説
明するための概略図である。 １……ケーシング、２……回転子、３……動翼
、１１……固定子、１２……静翼。
Claims (1)
- 上下方向に多段に設けられ周方向に多数の動翼
を有する回転子と、この回転子と所定の間隔を隔
てて多段に設けられ前記動翼に対向する多数の静
翼を有する固定子とを備えたターボ分子ポンプに
おいて、前記静翼の上下高さ寸法を各々が互いに
異なる寸法に設定したことを特徴とするターボ分
子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3612487U JPS63143798U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3612487U JPS63143798U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63143798U true JPS63143798U (ja) | 1988-09-21 |
Family
ID=30846237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3612487U Pending JPS63143798U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63143798U (ja) |
-
1987
- 1987-03-11 JP JP3612487U patent/JPS63143798U/ja active Pending
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