JPS6314510A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS6314510A JPS6314510A JP15927286A JP15927286A JPS6314510A JP S6314510 A JPS6314510 A JP S6314510A JP 15927286 A JP15927286 A JP 15927286A JP 15927286 A JP15927286 A JP 15927286A JP S6314510 A JPS6314510 A JP S6314510A
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- Japan
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- surface acoustic
- excitation
- acoustic wave
- shield
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、発振器、遅延線等に用いられる弾性表面波装
置に関する。
置に関する。
（従来の技術）
一般に発振器や遅延線等に用いられる弾性表面波装置は
、たとえば第４図に示す溝光（こされている。
、たとえば第４図に示す溝光（こされている。
同図において、符号１は圧電基板てあり、この圧電基板
１の一主面上に、へβからなる電（へパターンが形成さ
れている。プ゛なわら符号２は一対のくし両市、（へ２
ａ、２ａを交差してなりかつ各電極指の長さを変えるこ
とにより重みっけがなされたアポグイズ型の励振電（う
１である。またこの励４辰電極２から励振される弾ｉ生
表面波の伝播方向の一方の側に所定の間隔をもって一対
のくし歯電極３ａ、３ａを交差してなる受信電極３が形
成されている。
１の一主面上に、へβからなる電（へパターンが形成さ
れている。プ゛なわら符号２は一対のくし両市、（へ２
ａ、２ａを交差してなりかつ各電極指の長さを変えるこ
とにより重みっけがなされたアポグイズ型の励振電（う
１である。またこの励４辰電極２から励振される弾ｉ生
表面波の伝播方向の一方の側に所定の間隔をもって一対
のくし歯電極３ａ、３ａを交差してなる受信電極３が形
成されている。
そしてこれら励撮電、恒２と受信電極３との間にシール
ド電極４を形成し、ざらに所定の位置にダミー電極５を
形成してなる。
ド電極４を形成し、ざらに所定の位置にダミー電極５を
形成してなる。
そしてこのように構成された弾性表面波装置によれば、
励振霜囲２から励振された弾性表面波は圧電基板１を伝
播し、受信型１へ３により受信される。その際、上記し
たように励振型（か２と受信電極３との間に形成された
シールド電極４により、励振電極２から受信電極３への
電［６的、□静電的、直接誘導を防止している（特開昭
５２−１０３９３８号参照）。またダミー電（へ５によ
り位相速度に差異が生じることを防止している。
励振霜囲２から励振された弾性表面波は圧電基板１を伝
播し、受信型１へ３により受信される。その際、上記し
たように励振型（か２と受信電極３との間に形成された
シールド電極４により、励振電極２から受信電極３への
電［６的、□静電的、直接誘導を防止している（特開昭
５２−１０３９３８号参照）。またダミー電（へ５によ
り位相速度に差異が生じることを防止している。
（発明が解決しようとする問題点）
ところでこのような弾性表面波装置において、励振型（
へ２と受信型（へ３との間に生じる電気反射いわゆるト
リプルトランジットエコーにより発生する遅延リップル
は、 ΔＴ＝４Ｊα・Ｔａ／（１−α）・・・・・ペイ）ただ
しΔＴ：遅延リップル Ｔａ：遅延時間 αニトリプルトランシットエコーの主 信号に対する大きさ で表わされる。
へ２と受信型（へ３との間に生じる電気反射いわゆるト
リプルトランジットエコーにより発生する遅延リップル
は、 ΔＴ＝４Ｊα・Ｔａ／（１−α）・・・・・ペイ）ただ
しΔＴ：遅延リップル Ｔａ：遅延時間 αニトリプルトランシットエコーの主 信号に対する大きさ で表わされる。
一方、上記した弾性表面波装置のように、励振電極２と
受信電極３との間にシールド電極４を形成する場合、こ
のシールド電極４を形成するための所定のスペースが必
要とされる。そしてこのようなスペースにより、励振電
極２と受信型）水３との間隔が大きくなり、遅延時間Ｔ
ａが長くなる。
受信電極３との間にシールド電極４を形成する場合、こ
のシールド電極４を形成するための所定のスペースが必
要とされる。そしてこのようなスペースにより、励振電
極２と受信型）水３との間隔が大きくなり、遅延時間Ｔ
ａが長くなる。
このため上記した式（イ）から明らかなようにトリプル
トランジットエコーにより発生する遅延リップルΔ丁が
大きくなるという問題がおる。
トランジットエコーにより発生する遅延リップルΔ丁が
大きくなるという問題がおる。
本発明は、上記した事情に鑑みて創案されたもので、電
磁的、静電的、直接誘導を防止しつつ、遅延リップルの
発生を抑えた弾性表面波装置を提供することを目的とし
ている。
磁的、静電的、直接誘導を防止しつつ、遅延リップルの
発生を抑えた弾性表面波装置を提供することを目的とし
ている。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
すなわち本発明の弾性表面波装置は、弾性表面波を伝播
する基板と、この基板の一主面上に形成された一対のく
し南電（勇を交差してなりかつ重みづけがなされた励振
電極と、この励振電極から励振される弾性表面波の伝播
方向に所定の間隔をもって形成された一対のくし歯電極
を交差しでなる受信電極と、前記励振電極と前記受信電
極との間に形成されたシールド電極とを尚えた弾性表面
波装置において、前記シールド電（へか、前記励振電極
の近接する位置に、分断部または］）ａ記励振電極に向
けて凹部を有し、これら分断部または凹部に前記励振型
（水を介在させている。
する基板と、この基板の一主面上に形成された一対のく
し南電（勇を交差してなりかつ重みづけがなされた励振
電極と、この励振電極から励振される弾性表面波の伝播
方向に所定の間隔をもって形成された一対のくし歯電極
を交差しでなる受信電極と、前記励振電極と前記受信電
極との間に形成されたシールド電極とを尚えた弾性表面
波装置において、前記シールド電（へか、前記励振電極
の近接する位置に、分断部または］）ａ記励振電極に向
けて凹部を有し、これら分断部または凹部に前記励振型
（水を介在させている。
（作用）
本発明の弾性表面波装置において、シールド電・１両が
、励振型１両の近接する位置に、分断部またはこの励振
型）勇に向けて四部を有し、これら分断部または四部に
励振電極を介在己ｕることにより、励振電極と受信型（
魚との距離を最小限にすることかできる。このため電磁
的、静電的、直接誘導を防止することかできるシールド
電極を具１ｌｉｉ （、、ながらも、遅延リップルの発
生を抑えることか可能となる。
、励振型１両の近接する位置に、分断部またはこの励振
型）勇に向けて四部を有し、これら分断部または四部に
励振電極を介在己ｕることにより、励振電極と受信型（
魚との距離を最小限にすることかできる。このため電磁
的、静電的、直接誘導を防止することかできるシールド
電極を具１ｌｉｉ （、、ながらも、遅延リップルの発
生を抑えることか可能となる。
（実施例）
以下、本発明の実施例の詳？ＩＩｌを図面に基づいて説
明する。
明する。
本発明の一実施例に係る弾性表面波装置の構ｊ告を第１
図に示す。
図に示す。
同図において、符号１１は弾性表面波を伝播するたとえ
ば１−ｉＴａｏ３からなる圧電基板１１てあり、この圧
電基板１１の一主面上にはたとえば八℃からなる電極パ
ターンが形成されている。すなわち符号１２は一対のく
し歯電極１２ａ、１２ａを交差してなりかつ各電、１カ
指の長さを変えることにより車みづけがなされ通過帯域
内特性か決定されたアポダイズ型の励振型（奄である。
ば１−ｉＴａｏ３からなる圧電基板１１てあり、この圧
電基板１１の一主面上にはたとえば八℃からなる電極パ
ターンが形成されている。すなわち符号１２は一対のく
し歯電極１２ａ、１２ａを交差してなりかつ各電、１カ
指の長さを変えることにより車みづけがなされ通過帯域
内特性か決定されたアポダイズ型の励振型（奄である。
この励振電極１２から励振される弾性表面波の１云播方
向の一方の側に一対のくし歯電極１３ａ、１３ａを交差
してなる受信型４へ１３が上記励振型１へ１２と所定の
間隔をもって形成されている。また励振型（Φ１２と受
信電極１３との間には、アース電位にされたシールド電
極１４が形成されている。このシールド電極１４は、励
振電極１２の接近する位置ずなわちこのシールド電極１
４のほぼ中央に、電極パターンか除去された分断部１４
ａが形成されている。そしてこの分断部１４ａ内に、励
振電極１２がシールド電極１４と近接するようにして介
在されている。ざらに励振電極１２のシールド電１両１
４に近接する側のクシ＠電極１２ａはシー、ルド電（画
１４と同電位のアース電位とされている。
向の一方の側に一対のくし歯電極１３ａ、１３ａを交差
してなる受信型４へ１３が上記励振型１へ１２と所定の
間隔をもって形成されている。また励振型（Φ１２と受
信電極１３との間には、アース電位にされたシールド電
極１４が形成されている。このシールド電極１４は、励
振電極１２の接近する位置ずなわちこのシールド電極１
４のほぼ中央に、電極パターンか除去された分断部１４
ａが形成されている。そしてこの分断部１４ａ内に、励
振電極１２がシールド電極１４と近接するようにして介
在されている。ざらに励振電極１２のシールド電１両１
４に近接する側のクシ＠電極１２ａはシー、ルド電（画
１４と同電位のアース電位とされている。
また所定の位置にはダミー電極１５か形成されている。
すなわちこのダミー電極１５により各弾性表面波伝播路
上に電極パターンの存在する長さがほぼ同一となるよう
にされ、電圧基板１１上を伝播する弾性表面波の位相速
ｌｘの差異をなくしている。
上に電極パターンの存在する長さがほぼ同一となるよう
にされ、電圧基板１１上を伝播する弾性表面波の位相速
ｌｘの差異をなくしている。
このように構成された本実施例の弾性表面波装置におい
て、励振電極１２から励振された弾性表面波は圧電基板
１１上を伝播し、受信電極１３により受信される。その
際、励振電極１２と受信電極１３との間に形成されたシ
ールド電極１４および励振型（へ１２のアース電位にさ
れたくし歯電極１２ａの受信型（伽１３側に近い電極指
１２ｂにより、励振電価１２から受信型、）へ１３への
電磁的、静電的、直接誘導を防止することかできるよう
になる。また励振型（へ１２は分断部１４ａ内に介在さ
れ、この励振電極１２と受信電極１３との距離が非常に
小さいちのとされている。このため遅延時間Ｔａを短く
することができ、トリプルトランジットエコーにより発
生する遅延リップルΔ丁を極力抑えることかできる（従
来例式（イ）参照）。
て、励振電極１２から励振された弾性表面波は圧電基板
１１上を伝播し、受信電極１３により受信される。その
際、励振電極１２と受信電極１３との間に形成されたシ
ールド電極１４および励振型（へ１２のアース電位にさ
れたくし歯電極１２ａの受信型（伽１３側に近い電極指
１２ｂにより、励振電価１２から受信型、）へ１３への
電磁的、静電的、直接誘導を防止することかできるよう
になる。また励振型（へ１２は分断部１４ａ内に介在さ
れ、この励振電極１２と受信電極１３との距離が非常に
小さいちのとされている。このため遅延時間Ｔａを短く
することができ、トリプルトランジットエコーにより発
生する遅延リップルΔ丁を極力抑えることかできる（従
来例式（イ）参照）。
ざらにこの場合、この弾性表面波装置全体の長さを短く
することができ、小型軽量化によるコストダウンを図る
ことができるようになる。
することができ、小型軽量化によるコストダウンを図る
ことができるようになる。
次にこの実施例装置を実際に製作し、さらに従来の弾性
表面波装置を製作しこれらの群遅延特性および周波数特
性を測定した結果を第２図に示す。
表面波装置を製作しこれらの群遅延特性および周波数特
性を測定した結果を第２図に示す。
同図において、（イ）はこの実施例装置の周波数特性を
示し、（ロ）はその一部を１０倍に拡大したものを示し
、（ハ）はその群遅延特性を示している。また（二）は
従来装置の周波数特性を示し、（ホ）はその一部を１０
倍に拡大したものを示し、（へ）はその群遅延特性を示
している。
示し、（ロ）はその一部を１０倍に拡大したものを示し
、（ハ）はその群遅延特性を示している。また（二）は
従来装置の周波数特性を示し、（ホ）はその一部を１０
倍に拡大したものを示し、（へ）はその群遅延特性を示
している。
これらから明らかなように本実施例装置の群遅延特性お
よび周波数特性は、従来例のものと比較し非常に良好で
市り、遅延リップルの発生が抑えられていることが確認
された。またこの装置の面積は従来のものと比べ約７％
縮小することができた。
よび周波数特性は、従来例のものと比較し非常に良好で
市り、遅延リップルの発生が抑えられていることが確認
された。またこの装置の面積は従来のものと比べ約７％
縮小することができた。
なあ、上述した実施例ににれはシールド電極１４に分断
部１４ａを設けるものでおったが、本発明はこれに限定
されることなく、シールド電極か励振電極に向けて凹部
を有し、この凹部に励振電価を介在されてもほぼ同様の
効果を得ることかできる。
部１４ａを設けるものでおったが、本発明はこれに限定
されることなく、シールド電極か励振電極に向けて凹部
を有し、この凹部に励振電価を介在されてもほぼ同様の
効果を得ることかできる。
またシールド電極１４と励振電極１２とは分離されるも
のでめったが、これに限定されることなく、第３図に示
すようにアース電位にされた励振電極１２ａの電極指１
２ｂとシールド電極１４とを接合させてつまり一体にさ
けても同様の効果を得ることができる。
のでめったが、これに限定されることなく、第３図に示
すようにアース電位にされた励振電極１２ａの電極指１
２ｂとシールド電極１４とを接合させてつまり一体にさ
けても同様の効果を得ることができる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明の弾性表面波装置によれば、
電磁的、静電的、直接誘導を防止し、かつ３延リツプル
の発生を充分に抑えることかでさる。
電磁的、静電的、直接誘導を防止し、かつ３延リツプル
の発生を充分に抑えることかでさる。
第１図は本発明の一実施例の弾性表面波装置を示す斜視
図、第２図はこの実施例装置の効果を確認するために行
った測定結果を示すグラフ、第３図は本発明の弾性表面
波装置の変形例を示す平面図、第４図は従来の弾性表面
波装置を示す斜？５−図である。 １２・・・・・・・・・励振型（Φ １３・・・・・・・・・受信型（へ １４・・・・・・・・・シール１−電（車１４ａ・・・
・・・分断部 出願人 株式会社 東芝 出（預入 東芝電子デバイスエンジニアリン
グ株式会社 代理人 弁理士 須 山 １！Ｌ− ζ咽処苫垣＝ 巽（咲ｒｊｌｌＩ の
図、第２図はこの実施例装置の効果を確認するために行
った測定結果を示すグラフ、第３図は本発明の弾性表面
波装置の変形例を示す平面図、第４図は従来の弾性表面
波装置を示す斜？５−図である。 １２・・・・・・・・・励振型（Φ １３・・・・・・・・・受信型（へ １４・・・・・・・・・シール１−電（車１４ａ・・・
・・・分断部 出願人 株式会社 東芝 出（預入 東芝電子デバイスエンジニアリン
グ株式会社 代理人 弁理士 須 山 １！Ｌ− ζ咽処苫垣＝ 巽（咲ｒｊｌｌＩ の
Claims (3)
- （１）弾性表面波を伝播する基板と、この基板の一主面
上に形成された一対のくし歯電極を交差してなりかつ重
みづけがなされた励振電極と、この励振電極から励振さ
れる弾性表面波の伝播方向に所定の間隔をもつて形成さ
れた一対のくし歯電極を交差してなる受信電極と、前記
励振電極と前記受信電極との間に形成されたシールド電
極とを備えた弾性表面波装置において、前記シールド電
極が、前記励振電極の近接する位置に、分断部または前
記励振電極に向けて凹部を有し、これら分断部または凹
部に前記励振電極を介在させていることを特徴とする弾
性表面波装置。 - （２）前記励振電極の前記シールド電極に近接する側の
くし歯電極が、前記シールド電極と同電位にされている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面
波装置。 - （３）前記励振電極の前記シールド電極の近接する側の
くし歯電極が、前記シールド電極と一体にされているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15927286A JPS6314510A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15927286A JPS6314510A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6314510A true JPS6314510A (ja) | 1988-01-21 |
Family
ID=15690152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15927286A Pending JPS6314510A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6314510A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0275215A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Toko Inc | 表面弾性波共振器およびフィルタ |
| JPH04148577A (ja) * | 1990-10-12 | 1992-05-21 | Kunitada Tanaka | レーザ発振装置 |
| JPH04114225U (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-07 | ミツミ電機株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JP2015141183A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 角速度センサ及びセンサ素子 |
-
1986
- 1986-07-07 JP JP15927286A patent/JPS6314510A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0275215A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Toko Inc | 表面弾性波共振器およびフィルタ |
| JPH04148577A (ja) * | 1990-10-12 | 1992-05-21 | Kunitada Tanaka | レーザ発振装置 |
| JPH04114225U (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-07 | ミツミ電機株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JP2015141183A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 角速度センサ及びセンサ素子 |
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