JPS6314557U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例に係わるロールシ
ール装置の主要部を示す縦断面図、第２図は同第
２実施例によるロールシール装置の要部縦断面図
、第３図は同第３実施例によるロールシール装置
の要部縦断面図、第４図は同第４実施例によるロ
ールシール装置の要部断面図である。 Ｐ……帯状体、１……チヤンバ、２……シール
ロール、３……チヤンバ室、４……帯状体導入通
路、５，６……対向壁板、７ａ……フイン、７ｂ
……凹部、７……ラビリンス、８……真空吸引室
、９……中間排気用の真空ポンプ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 帯状体を連続的に大気中から真空中に導く
   シールロールをチヤンバ内に設けた連続真空処理
   設備のシール装置において、前記チヤンバ内の帯
   状体走行方向に対する前後端位置またはシールロ
   ール間位置に、チヤンバ室と隔離した帯状体導入
   通路を形成する対向壁板を配設し、この対向壁板
   の内側にフインと凹部が帯状体走行方向に交互に
   連続するラビリンスを設けたことを特徴とするシ
   ール装置。 (2) 前記対向壁板がチヤンバ内のシールロール
   間位置に配設される場合、この対向壁板の少なく
   とも一方の壁板が、ラビリンス凹部と孔連通した
   真空吸引室を有する中間排気構造となつているこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に
   記載のシール装置。