JPS63148135A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS63148135A JPS63148135A JP29450886A JP29450886A JPS63148135A JP S63148135 A JPS63148135 A JP S63148135A JP 29450886 A JP29450886 A JP 29450886A JP 29450886 A JP29450886 A JP 29450886A JP S63148135 A JPS63148135 A JP S63148135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- pressure
- magnetic fluid
- liquid level
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、圧力センナに関し、圧力を受けて変位するベ
ローズと、ベローズの伸縮に追従して液面が変位する磁
性流体と、磁性流体の液面変位を検出する検出器とを有
することにより、比較的簡単な構造で、微小圧力から高
圧まで連続的に検出でき、しかもベローズの機械的な変
位量を電気信号等に容易に変換して出力できるようにし
たものである。
ローズと、ベローズの伸縮に追従して液面が変位する磁
性流体と、磁性流体の液面変位を検出する検出器とを有
することにより、比較的簡単な構造で、微小圧力から高
圧まで連続的に検出でき、しかもベローズの機械的な変
位量を電気信号等に容易に変換して出力できるようにし
たものである。
従来の技術
圧力センサとしては、従来より、ブルドン管式、ダイヤ
フラム式、ベローズ式或いは圧電式等のものが周知であ
る。
フラム式、ベローズ式或いは圧電式等のものが周知であ
る。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上述した従来の圧力センサは、機械的な
構造が複雑であること、機械的な変位量を電気信号等に
変換するために、複雑な変換機構を必要とすること等の
問題点がある。
構造が複雑であること、機械的な変位量を電気信号等に
変換するために、複雑な変換機構を必要とすること等の
問題点がある。
問題点を解決するための手段
上述する従来の問題点を解決するため、本発明に係る圧
力センサは、圧力を受けて伸縮するベローズと、このベ
ローズの伸縮に追従して液面が変位する磁性流体と、こ
の磁性流体の液面の変位を検出する検出器とを有するこ
とを特徴とする。
力センサは、圧力を受けて伸縮するベローズと、このベ
ローズの伸縮に追従して液面が変位する磁性流体と、こ
の磁性流体の液面の変位を検出する検出器とを有するこ
とを特徴とする。
作用
ベローズが圧力を受けて伸縮すると、それに追従して磁
性流体の液面が変位する。この磁性流体の液面変位を検
出器で検出することにより、ベローズに加わる圧力を検
出することができる。磁性流体の液面はベローズの伸縮
に追従して変位するので、ベローズのバネ定数を選択す
ることにより、微小圧力から高圧まで検出することがで
きる。しかも、ベローズは圧力に比例して伸縮し、磁性
流体の液面はベロニズの伸縮に追従して連続して変化す
るので、ベローズに加わる圧力を連続して検出できる。
性流体の液面が変位する。この磁性流体の液面変位を検
出器で検出することにより、ベローズに加わる圧力を検
出することができる。磁性流体の液面はベローズの伸縮
に追従して変位するので、ベローズのバネ定数を選択す
ることにより、微小圧力から高圧まで検出することがで
きる。しかも、ベローズは圧力に比例して伸縮し、磁性
流体の液面はベロニズの伸縮に追従して連続して変化す
るので、ベローズに加わる圧力を連続して検出できる。
また、ベローズに加わる圧力を、磁性流体の液面変位と
して検出するものであるため、磁性流体の透磁率を利用
し、圧力をインダクタンスの変化として電気信号に変換
して検出することが可能である。このため、ベローズの
機械的な変位量を、信号伝送及び信号処理の容易な電気
信号に簡単に変換できる。
して検出するものであるため、磁性流体の透磁率を利用
し、圧力をインダクタンスの変化として電気信号に変換
して検出することが可能である。このため、ベローズの
機械的な変位量を、信号伝送及び信号処理の容易な電気
信号に簡単に変換できる。
実施例
第１図は本発明に係る圧力センサの構成を示す図で、１
はベローズ、２は磁性流体、３は検出器となる検出コイ
ルである。
はベローズ、２は磁性流体、３は検出器となる検出コイ
ルである。
ベローズ１は受圧部となる伸縮部１０１を圧力導入室４
の内部４１に収納すると共に、伸縮部ｌＯ１に連続して
、伸縮部１０１の断面積より小さい断面積の検出筒部１
０２を設け、この検出筒部１０２を圧力導入室４の外部
に突出させである。圧力導入室４は圧力導入孔４２を有
する他は、前記ベローズ１の伸縮部１０１のまわりを気
密に封止している。
の内部４１に収納すると共に、伸縮部ｌＯ１に連続して
、伸縮部１０１の断面積より小さい断面積の検出筒部１
０２を設け、この検出筒部１０２を圧力導入室４の外部
に突出させである。圧力導入室４は圧力導入孔４２を有
する他は、前記ベローズ１の伸縮部１０１のまわりを気
密に封止している。
磁性流体２はベローズ１の内部にその内容積より小さい
体積となるように収納してあり、検出筒部１０２の内部
に空間部１０３を発生させである。空間部１０３は減圧
空間とする。磁性流体２は１周知のように、マグネタイ
トや各種フェライト等の磁性微粒子の表面を、オレイン
酸やリノール酸等のような長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、
界面活性剤を使用して、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水
素、水等の溶媒中に分散させたコロイド溶液であって、
磁気的には水火磁気モーメントを持つ分子の集合体とな
っている。
体積となるように収納してあり、検出筒部１０２の内部
に空間部１０３を発生させである。空間部１０３は減圧
空間とする。磁性流体２は１周知のように、マグネタイ
トや各種フェライト等の磁性微粒子の表面を、オレイン
酸やリノール酸等のような長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、
界面活性剤を使用して、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水
素、水等の溶媒中に分散させたコロイド溶液であって、
磁気的には水火磁気モーメントを持つ分子の集合体とな
っている。
検出コイル３は、ベローズ１の検出筒部１０２の外側に
巻回されている。
巻回されている。
上記の構成において、圧力導入孔４２から圧力導入室４
の内部４１に圧力が導入されると、ベローズ１がその圧
力を受けて、例えばΔｄだけ伸縮する。ベローズｌの伸
縮に追従して、その内部に収納された磁性流体２の液面
（イ）が、検出筒部１０２内でΔｈだけ変位する。この
磁性流体２の液面変位により、検出コイル３による磁束
の磁路の透磁率が変化し、検出コイル３のインダクタン
スが変化するので、そのインダクタンスの変化から、ベ
ローズ１に加わる圧力を検出することができる。
の内部４１に圧力が導入されると、ベローズ１がその圧
力を受けて、例えばΔｄだけ伸縮する。ベローズｌの伸
縮に追従して、その内部に収納された磁性流体２の液面
（イ）が、検出筒部１０２内でΔｈだけ変位する。この
磁性流体２の液面変位により、検出コイル３による磁束
の磁路の透磁率が変化し、検出コイル３のインダクタン
スが変化するので、そのインダクタンスの変化から、ベ
ローズ１に加わる圧力を検出することができる。
磁性流体２の液面（イ）はベローズ１の伸縮に追従して
変位するので、ベローズ１のバネ定数を選択することに
より、微小圧力から高圧まで検出することができる。し
かも、ベローズ１は圧力に比例して伸縮し、磁性流体２
の液面（イ）はベローズ１の伸縮に追従して連続して変
化するので、ベローズエに加わる圧力を連続して検出で
きる。
変位するので、ベローズ１のバネ定数を選択することに
より、微小圧力から高圧まで検出することができる。し
かも、ベローズ１は圧力に比例して伸縮し、磁性流体２
の液面（イ）はベローズ１の伸縮に追従して連続して変
化するので、ベローズエに加わる圧力を連続して検出で
きる。
しかも、磁性流体２の液面（イ）を、ベローズｌの伸縮
部１０１より小断面積の検出筒部１０２内で変位させる
ようにしであるので、ベローズ１の伸縮部１０１におけ
る変位Δｄに対して、検出筒部１０２内における液面（
イ）の変位Δｈが増幅される。
部１０１より小断面積の検出筒部１０２内で変位させる
ようにしであるので、ベローズ１の伸縮部１０１におけ
る変位Δｄに対して、検出筒部１０２内における液面（
イ）の変位Δｈが増幅される。
第２図は本発明に係る圧力センサの別の実施例を示す図
である。この実施例では、ベローズ１の内部に圧力を導
入することにより、ベローズ１を内側から伸縮させるよ
うにすると共に、ベローズ１を容器５によって気密に包
囲し、ベローズｌと容器５との間形成される空間５１に
、その容積より小さい体積となるように、磁性流体２を
収納しである。容器５には、その断面積より小さい面積
の密閉された検出筒部５２を連続して形成し、この検出
筒部５２に検出コイル３を巻回することにより検出部を
形成しである。
である。この実施例では、ベローズ１の内部に圧力を導
入することにより、ベローズ１を内側から伸縮させるよ
うにすると共に、ベローズ１を容器５によって気密に包
囲し、ベローズｌと容器５との間形成される空間５１に
、その容積より小さい体積となるように、磁性流体２を
収納しである。容器５には、その断面積より小さい面積
の密閉された検出筒部５２を連続して形成し、この検出
筒部５２に検出コイル３を巻回することにより検出部を
形成しである。
ベローズ１の内部に圧力が導入されると、ベローズ１が
その圧力を受けて１例えばΔｄだけ伸縮する。ベローズ
ｌの伸縮に追従して、その外側の容器５内に納された磁
性流体２の液面（イ）が、検出筒部５２内でΔｈだけ変
位する。この磁性流体２の液面変位により、検出コイル
３による磁束の磁路の透磁率が変化し、検出コイル３の
インダクタンスが変化するので、そのインダクタンスの
変化からベローズ１に加わる圧力を検出することができ
る。
その圧力を受けて１例えばΔｄだけ伸縮する。ベローズ
ｌの伸縮に追従して、その外側の容器５内に納された磁
性流体２の液面（イ）が、検出筒部５２内でΔｈだけ変
位する。この磁性流体２の液面変位により、検出コイル
３による磁束の磁路の透磁率が変化し、検出コイル３の
インダクタンスが変化するので、そのインダクタンスの
変化からベローズ１に加わる圧力を検出することができ
る。
発明の効果
以上述べたように、本発明に係る圧力センサは、圧力を
受けて伸縮するベローズと、このベローズの伸縮に追従
して液面が変位する磁性流体と、この磁性流体の液面の
変位を検出する検出器とを有することを特徴とするから
、次のような効果が得られる。
受けて伸縮するベローズと、このベローズの伸縮に追従
して液面が変位する磁性流体と、この磁性流体の液面の
変位を検出する検出器とを有することを特徴とするから
、次のような効果が得られる。
（ａ）ベローズのバネ定数を選択することにより、微小
圧力から高圧まで検出することができる。
圧力から高圧まで検出することができる。
（ｂ）ベローズは圧力に比例して伸縮し、磁性流体の液
面はベローズの伸縮に追従して連続して変化するので、
ベローズに加わる圧力を連続して検出できる。
面はベローズの伸縮に追従して連続して変化するので、
ベローズに加わる圧力を連続して検出できる。
（ｃ）ｍ性流体の透磁率を利用し、圧力をインダクタン
スの変化として電気信号に変換して検出することが可能
である。このため、ベローズの機械的な変位量を、信号
伝送及び信号処理の容易な電気信号に簡単に変換できる
。
スの変化として電気信号に変換して検出することが可能
である。このため、ベローズの機械的な変位量を、信号
伝送及び信号処理の容易な電気信号に簡単に変換できる
。
第１図は本発明に係る圧力センサの構成を示す図、第２
図は同じく別の実施例を示す図である。 １・・−ベローズ ２・・・磁性流体３１１＃会検出
コイル 第１図 、圧２刀
図は同じく別の実施例を示す図である。 １・・−ベローズ ２・・・磁性流体３１１＃会検出
コイル 第１図 、圧２刀
Claims (5)
- （１）圧力を受けて伸縮するベローズと、このベローズ
の伸縮に追従して液面が変位する磁性流体と、この磁性
流体の液面の変位を検出する検出器とを有することを特
徴とする圧力センサ。 - （２）前記ベローズは外側に加わる圧力によって伸縮さ
せ、前記磁性流体は前記ベローズの内部にその内容積よ
り小さい体積となるように収納したことを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の圧力センサ。 - （３）前記検出器は、前記ベローズの断面積より小さい
断面積を有して前記ベローズに連続させた検出筒部と、
この検出筒部の外周に巻回された検出コイルとで形成し
たことを特徴する特許請求の範囲第１項または第２項に
記載の圧力センサ。 - （４）前記ベローズは内部に加わる圧力によって伸縮さ
せ、前記磁性流体は前記ベローズを気密に包囲する容器
内に、その容積より小さい体積となるように収納したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の圧力セン
サ。 - （５）前記検出器は、前記容器の断面積より小さい断面
積を有して前記容器に連続させた検出筒部と、この検出
筒部の外周に巻回された検出コイルとで形成したことを
特徴する特許請求の範囲第４項に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29450886A JPS63148135A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29450886A JPS63148135A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148135A true JPS63148135A (ja) | 1988-06-21 |
Family
ID=17808685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29450886A Pending JPS63148135A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148135A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110806245A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-02-18 | 厦门通富微电子有限公司 | 液位感应装置 |
-
1986
- 1986-12-10 JP JP29450886A patent/JPS63148135A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110806245A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-02-18 | 厦门通富微电子有限公司 | 液位感应装置 |
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