JPS6314875B2 - - Google Patents
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- JPS6314875B2 JPS6314875B2 JP14568181A JP14568181A JPS6314875B2 JP S6314875 B2 JPS6314875 B2 JP S6314875B2 JP 14568181 A JP14568181 A JP 14568181A JP 14568181 A JP14568181 A JP 14568181A JP S6314875 B2 JPS6314875 B2 JP S6314875B2
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- Japan
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- discharge
- dielectric
- tube
- gas
- electrode
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はガスレーザ発振器に関し、特にその
誘電体電極の構成に関するものである。
誘電体電極の構成に関するものである。
この種のレーザとして代表的なものはレーザ光
軸、直流グロー放電路、気体流れ方向が互いにほ
ぼ垂直になつている３軸直交型CO2レーザである
ので、これについて従来例を説明する。第１図
は、３軸直交型レーザの縦断面図、第２図は第１
図―線よりみた横断面図で、１は陽極、２は
陰極、３は陰極基板、４は安定化抵抗、５は直流
高電圧電源、６は放電励起部、７は全反射鏡、８
は部分反射鏡である。
軸、直流グロー放電路、気体流れ方向が互いにほ
ぼ垂直になつている３軸直交型CO2レーザである
ので、これについて従来例を説明する。第１図
は、３軸直交型レーザの縦断面図、第２図は第１
図―線よりみた横断面図で、１は陽極、２は
陰極、３は陰極基板、４は安定化抵抗、５は直流
高電圧電源、６は放電励起部、７は全反射鏡、８
は部分反射鏡である。
次に動作について説明する。陽極１と陰極２の
間に、CO2，N2，Heの混合ガスから成るレーザ
ガスを毎秒数十ｍの流量で流し、直流高電圧を印
加すると電極間に放電が生じるが、安定化抵抗４
を介して電流が流れるため、放電はアークに移行
せずに、おだやかなグロー放電が維持される。グ
ロー放電により生じた放電励起部６ではレーザガ
ス中のCO2分子の特定の振動準位間に反転分布が
生じ、放電励起部６の間に全反射鏡７と適切な反
射率を有する部分反射鏡８とを対向して配置させ
ると、レーザ発振が生じ、部分反射鏡８からレー
ザ光線が出てくる。レーザ出力は放電電力を増す
と増大するが、例えば第１図で示すもので陰極２
の本数を一定とすると、放電電力の増大は、放電
密度の増大と等価となる。装置のコンパクト化、
低コスト化の観点からは、放電密度を増大させる
のが望ましいが、ある程度以上に放電電力を増大
させると、放電部の局所に高温部が発生し、安定
化抵抗４が存在しても、放電はアークに移行して
しまう。放電がアークに移行すると、もはやレー
ザ出力は得られず、レーザガスの劣化も著るしく
増大する。このため第１図に示す様な放電電極の
構成では、放電密度をある程度以上に増大させる
事が出来ない。
間に、CO2，N2，Heの混合ガスから成るレーザ
ガスを毎秒数十ｍの流量で流し、直流高電圧を印
加すると電極間に放電が生じるが、安定化抵抗４
を介して電流が流れるため、放電はアークに移行
せずに、おだやかなグロー放電が維持される。グ
ロー放電により生じた放電励起部６ではレーザガ
ス中のCO2分子の特定の振動準位間に反転分布が
生じ、放電励起部６の間に全反射鏡７と適切な反
射率を有する部分反射鏡８とを対向して配置させ
ると、レーザ発振が生じ、部分反射鏡８からレー
ザ光線が出てくる。レーザ出力は放電電力を増す
と増大するが、例えば第１図で示すもので陰極２
の本数を一定とすると、放電電力の増大は、放電
密度の増大と等価となる。装置のコンパクト化、
低コスト化の観点からは、放電密度を増大させる
のが望ましいが、ある程度以上に放電電力を増大
させると、放電部の局所に高温部が発生し、安定
化抵抗４が存在しても、放電はアークに移行して
しまう。放電がアークに移行すると、もはやレー
ザ出力は得られず、レーザガスの劣化も著るしく
増大する。このため第１図に示す様な放電電極の
構成では、放電密度をある程度以上に増大させる
事が出来ない。
このような難点の解消を図るため、予備電離を
グロー放電の近傍で行なわせ主放電のグローが均
一、安定になるのを助けて、グロー放電を維持し
たままで放電密度を増大させる試みがなされてい
る。予備電離の方法としては電子ビーム、または
パルス放電による紫外線照射、または無声放電に
よるもの等がある。
グロー放電の近傍で行なわせ主放電のグローが均
一、安定になるのを助けて、グロー放電を維持し
たままで放電密度を増大させる試みがなされてい
る。予備電離の方法としては電子ビーム、または
パルス放電による紫外線照射、または無声放電に
よるもの等がある。
この発明は、従来の無声放電による予備電離方
式によるものであるので、この方式の従来例につ
いて先ず説明する。
式によるものであるので、この方式の従来例につ
いて先ず説明する。
第３図は無声放電による予備電離方式の横方向
励起型ガスレーザ発振器の縦断面図、第４図は第
３図―線よりみた横断面図で、９は誘電体電
極、１０はこの電極を冷却するための冷却水入
口、１１は冷却水出口、１２は高電圧ターミナ
ル、１３は無声放電を生じさせるための交流高電
圧電源、１４はヒユーズであり、第５図は誘電体
電極９の断面図であり、９―１は鉄管で、９―２
は鉄管に密着する様に形成された誘電体層（例え
ばガラス）であり、云わゆる“ホウロウ引き”の
ガラスライニングの電極である。
励起型ガスレーザ発振器の縦断面図、第４図は第
３図―線よりみた横断面図で、９は誘電体電
極、１０はこの電極を冷却するための冷却水入
口、１１は冷却水出口、１２は高電圧ターミナ
ル、１３は無声放電を生じさせるための交流高電
圧電源、１４はヒユーズであり、第５図は誘電体
電極９の断面図であり、９―１は鉄管で、９―２
は鉄管に密着する様に形成された誘電体層（例え
ばガラス）であり、云わゆる“ホウロウ引き”の
ガラスライニングの電極である。
次に動作について説明する。誘電体電極９に交
流高電圧を印加すると、陰極２と陽極１の間に無
声放電が起る。この状態で直流高電圧を印加する
と主放電のグローが生じて放電励起部６が形成さ
れ、無声放電の予備電離を行なわない時に比べ
て、安定したグロー放電の状態で２〜３倍の電力
密度を投入することが出来る。
流高電圧を印加すると、陰極２と陽極１の間に無
声放電が起る。この状態で直流高電圧を印加する
と主放電のグローが生じて放電励起部６が形成さ
れ、無声放電の予備電離を行なわない時に比べ
て、安定したグロー放電の状態で２〜３倍の電力
密度を投入することが出来る。
実験によれば、無声放電の電力は主放電（グロ
ー）の電力の約1/20でよい事が判かつている。
ー）の電力の約1/20でよい事が判かつている。
この様な電極構成において、誘電体電極９の電
流供給用の電極は鉄管９―１であるために無声放
電は電極面のすべてで生じる。放電が生じると熱
が発生するが、誘電体９―２は温度が100℃以上
になると急激に耐電圧が降下するために、温度は
これ以下に保たなければならない。陽極１と陰極
２に対向している部分の誘電体電極９は、毎秒数
十ｍと云う高速ガス流中に置かれているために、
無声放電によつて生じる熱は有効にガス流に持ち
去られて、冷却され、誘電体９―２の温度は数十
度までした上昇しない。しかし、誘電体電極９の
端部（ターミナル部の附近）は、レーザガス流が
滞留するために、そこの部分の放電により発生す
る熱はレーザガスによつて持ち去られない。従つ
て、この様な状態で、誘電体電極９を強制的に冷
却しないとすれば、誘電体電極９の端部の誘電体
９―２の温度が上昇し、耐電圧の低下により誘電
体９―２は破壊されてしまう。このため従来は、
第３図で示している様に誘電体電極９内に冷却水
を流す構造にする必要があり、誘電体に応力がか
かつたり、サージ電圧が印加されてしまつたりし
て、誘電体が破壊される事故が生じる事が考えら
れるので、その時の水もれを防止するため、機械
的強さを考慮して、第５図で示す様な鉄管にガラ
スライニング行なつた構造の誘電体電極が使用さ
れていた。
流供給用の電極は鉄管９―１であるために無声放
電は電極面のすべてで生じる。放電が生じると熱
が発生するが、誘電体９―２は温度が100℃以上
になると急激に耐電圧が降下するために、温度は
これ以下に保たなければならない。陽極１と陰極
２に対向している部分の誘電体電極９は、毎秒数
十ｍと云う高速ガス流中に置かれているために、
無声放電によつて生じる熱は有効にガス流に持ち
去られて、冷却され、誘電体９―２の温度は数十
度までした上昇しない。しかし、誘電体電極９の
端部（ターミナル部の附近）は、レーザガス流が
滞留するために、そこの部分の放電により発生す
る熱はレーザガスによつて持ち去られない。従つ
て、この様な状態で、誘電体電極９を強制的に冷
却しないとすれば、誘電体電極９の端部の誘電体
９―２の温度が上昇し、耐電圧の低下により誘電
体９―２は破壊されてしまう。このため従来は、
第３図で示している様に誘電体電極９内に冷却水
を流す構造にする必要があり、誘電体に応力がか
かつたり、サージ電圧が印加されてしまつたりし
て、誘電体が破壊される事故が生じる事が考えら
れるので、その時の水もれを防止するため、機械
的強さを考慮して、第５図で示す様な鉄管にガラ
スライニング行なつた構造の誘電体電極が使用さ
れていた。
しかし鉄管のガラスライニングはガラス粉を鉄
管に焼き付ける方法により製作されるため、ガラ
スに残留応力が必ず存在し、焼きなまし時に、ガ
ラスと鉄の熱膨張率の差によつて、残留応力が発
生するため直径の小さな誘電体電極を作る事は困
難で、その最小直径は10〜15mmである。さらに製
作の工程が多いため高価である。
管に焼き付ける方法により製作されるため、ガラ
スに残留応力が必ず存在し、焼きなまし時に、ガ
ラスと鉄の熱膨張率の差によつて、残留応力が発
生するため直径の小さな誘電体電極を作る事は困
難で、その最小直径は10〜15mmである。さらに製
作の工程が多いため高価である。
ところで、レーザ発振器の主放電のギヤツプ
長、すなわち陽極１と陰極２との距離は20mm〜50
mm程度であり、第３図で示している様に、誘電体
電極９がギヤツプ内に配置されると、ギヤツプの
長さの1/2〜1/5程度を誘電体電極９が占める事に
なる。よく知られている様にグロー放電が安定す
るためには、レーザガスが高速で、しかも整流で
流れている事が好ましく、この観点からは、誘電
体電極９はレーザガスの流れの乱れを発生する障
害物となつている。しかしながら従来、無声放電
を予備電離としたグロー放電励起方式が採用され
ているのは、レーザガスの乱れによる放電の不安
性よりも、無声放電の予備電離の効果の方が大と
なるために、結果的に、大きな放電密度が得られ
るためである。
長、すなわち陽極１と陰極２との距離は20mm〜50
mm程度であり、第３図で示している様に、誘電体
電極９がギヤツプ内に配置されると、ギヤツプの
長さの1/2〜1/5程度を誘電体電極９が占める事に
なる。よく知られている様にグロー放電が安定す
るためには、レーザガスが高速で、しかも整流で
流れている事が好ましく、この観点からは、誘電
体電極９はレーザガスの流れの乱れを発生する障
害物となつている。しかしながら従来、無声放電
を予備電離としたグロー放電励起方式が採用され
ているのは、レーザガスの乱れによる放電の不安
性よりも、無声放電の予備電離の効果の方が大と
なるために、結果的に、大きな放電密度が得られ
るためである。
従つて、誘電体電極を流路抵抗の少い形状、例
えば径を細くすればレーザガス流の乱れが少なく
なり、放電密度を上昇させ、レーザ発振器をコン
パクトにする事ができるが、前述の様に、従来の
鋼管にガラスライニングを施す構成のものでは、
ある程度以上小径にすることができなかつた。
えば径を細くすればレーザガス流の乱れが少なく
なり、放電密度を上昇させ、レーザ発振器をコン
パクトにする事ができるが、前述の様に、従来の
鋼管にガラスライニングを施す構成のものでは、
ある程度以上小径にすることができなかつた。
この発明は、この様な従来の欠点を除去するた
めになされたもので、構造が簡単で、強制冷却の
必要も無い。誘電体電極を備えた横方向励起型気
体レーザ発振器を提供しようとするものである。
めになされたもので、構造が簡単で、強制冷却の
必要も無い。誘電体電極を備えた横方向励起型気
体レーザ発振器を提供しようとするものである。
第６図はこの発明の一実施例の縦断面図、第７
図はその誘電体電極の縦断面図で、９―３はガラ
ス等の誘電体管、９―４は誘電体管、９―３の内
面に密着して設けられた金属の蒸着膜などの導電
部、９―５は高電圧給電線である。次に動作につ
いて説明する。導電部９―４は、陽極１、陰極２
に対向している部分のみ形成されているので無声
放電はこの部分しか生じない。この部分では無声
放電により熱が発生するが、レーザガス流が毎秒
数十ｍで流れているため、その熱はすべてガス流
により持ち去られ誘電体管９―３の温度は上昇し
ない。一方レーザガスの流れていない高電圧ター
ミナル１２の附近や、他の一方の端部では、導電
部９―４は形成されていないため無声放電は生ぜ
ず、従つて熱も発生しないので誘電体管９―３の
温度は上昇しない。このため誘電体電極９を水冷
する必要は無くなり構造が簡単となる。
図はその誘電体電極の縦断面図で、９―３はガラ
ス等の誘電体管、９―４は誘電体管、９―３の内
面に密着して設けられた金属の蒸着膜などの導電
部、９―５は高電圧給電線である。次に動作につ
いて説明する。導電部９―４は、陽極１、陰極２
に対向している部分のみ形成されているので無声
放電はこの部分しか生じない。この部分では無声
放電により熱が発生するが、レーザガス流が毎秒
数十ｍで流れているため、その熱はすべてガス流
により持ち去られ誘電体管９―３の温度は上昇し
ない。一方レーザガスの流れていない高電圧ター
ミナル１２の附近や、他の一方の端部では、導電
部９―４は形成されていないため無声放電は生ぜ
ず、従つて熱も発生しないので誘電体管９―３の
温度は上昇しない。このため誘電体電極９を水冷
する必要は無くなり構造が簡単となる。
また誘電体管９―３として、例えばガラス管を
使い、その内面をメツキ等で導電部９―４を形成
させれば、非常に細い管でも自由に製作できるか
ら、直径５mm程度のものにすれば、レーザガスの
流れの乱れは極めて少なくなる。従つて、この誘
電体電極を適用すれば予備電離としての無声放電
の電力が、従来よりも、さらに少なくとも、グロ
ー放電（主放電）の放電密度を安定して高める事
ができる。無声放電の電力が少なくて済むと、誘
電体管９―３の温度上昇も少なくなり、この様な
相乗効果により、より信頼性が高まる事になる。
使い、その内面をメツキ等で導電部９―４を形成
させれば、非常に細い管でも自由に製作できるか
ら、直径５mm程度のものにすれば、レーザガスの
流れの乱れは極めて少なくなる。従つて、この誘
電体電極を適用すれば予備電離としての無声放電
の電力が、従来よりも、さらに少なくとも、グロ
ー放電（主放電）の放電密度を安定して高める事
ができる。無声放電の電力が少なくて済むと、誘
電体管９―３の温度上昇も少なくなり、この様な
相乗効果により、より信頼性が高まる事になる。
第８図はこの発明にかかる誘電体電極の他の実
施例の縦断面図で９―６は陽極１、陰極２に対向
する部分にのみ充填されたスチールウールなどの
繊維状の金属で、高圧給電線９―５に接続され無
声放電の電流を供給する導電部をする。
施例の縦断面図で９―６は陽極１、陰極２に対向
する部分にのみ充填されたスチールウールなどの
繊維状の金属で、高圧給電線９―５に接続され無
声放電の電流を供給する導電部をする。
このようにすれば、ウール状の金属９―６を誘
電体管９―３内につめ込むだけと云う極めて簡単
な構成で給電部分が形成できるのが特徴である。
なお、この実施例で示したスチール・ウールは給
電用の役割をするものであるので、他に金属粒、
金網、などの導電性のものであれば何でもよい事
は容易に理解できよう。
電体管９―３内につめ込むだけと云う極めて簡単
な構成で給電部分が形成できるのが特徴である。
なお、この実施例で示したスチール・ウールは給
電用の役割をするものであるので、他に金属粒、
金網、などの導電性のものであれば何でもよい事
は容易に理解できよう。
第９図は、誘電体電極の他の実施例の縦断面図
で、９―７は例えばガラスビーズ，グラスウール
などを充填した絶縁物である。このようにウール
状の金属９―６の両端を絶縁物９―７で埋める
と、スチールウール９―６の電極端の電界が弱め
られて、端部からの端放電が防止されるため無声
放電を生じさせるための印加電圧が高くでき、従
つてグロー放電の放電密度もさらに上昇させるこ
とができる。また、高電圧給電線９―５が絶縁物
９―３で覆われるため給電線９―５の絶縁を同時
に施すことができる利点もある。
で、９―７は例えばガラスビーズ，グラスウール
などを充填した絶縁物である。このようにウール
状の金属９―６の両端を絶縁物９―７で埋める
と、スチールウール９―６の電極端の電界が弱め
られて、端部からの端放電が防止されるため無声
放電を生じさせるための印加電圧が高くでき、従
つてグロー放電の放電密度もさらに上昇させるこ
とができる。また、高電圧給電線９―５が絶縁物
９―３で覆われるため給電線９―５の絶縁を同時
に施すことができる利点もある。
第１０図は更に他の実施例の縦断面図で、９―
８は高圧給電線９―５を中心孔にとおした筒で、
例えばガラス管やセラミツク管である。このよう
な絶縁管９―８を用いると、誘電体管９―３の中
心に高圧給電線９―５を配置させることができる
ので、給電線の絶縁がより確実に、かつ中心軸出
しの手間もかからない特徴がある。
８は高圧給電線９―５を中心孔にとおした筒で、
例えばガラス管やセラミツク管である。このよう
な絶縁管９―８を用いると、誘電体管９―３の中
心に高圧給電線９―５を配置させることができる
ので、給電線の絶縁がより確実に、かつ中心軸出
しの手間もかからない特徴がある。
この発明はレーザガスの気流を挾み相対向する
ように配設されている陽極および陰極との間で無
声放電を生成する誘電体電極を備えたガスレーザ
発振器において、上記誘電体電極を、誘電体で形
成された管体と、この管体内の上記レーザガス気
流にさらされて冷却される部分のみに形成されて
いる導電部と、この導電部に当該管体外から管内
をとおして給電する高圧給電線とで構成されたも
のであることを特徴とするもので、誘電体電極を
流路抵抗の少い小径にできるので、発振器の小形
化、高出力化が図れる効果がある。
ように配設されている陽極および陰極との間で無
声放電を生成する誘電体電極を備えたガスレーザ
発振器において、上記誘電体電極を、誘電体で形
成された管体と、この管体内の上記レーザガス気
流にさらされて冷却される部分のみに形成されて
いる導電部と、この導電部に当該管体外から管内
をとおして給電する高圧給電線とで構成されたも
のであることを特徴とするもので、誘電体電極を
流路抵抗の少い小径にできるので、発振器の小形
化、高出力化が図れる効果がある。
第１図は従来の横方向励起型ガスレーザ装置の
縦断面図、第２図は第１図―線よりみた横断
面図、第３図は従来の誘電体電極を備えたガスレ
ーザ装置の縦断面図、第４図は第３図―線よ
りみた横断面図、第５図は従来の誘電体電極の断
面図、第６図はこの発明の一実施例の縦断面図、
第７図はこの発明に係る誘電体電極の縦断面図、
第８図，第９図，第１０図はそれぞれこの発明に
係る誘電体電極の他の実施例の縦断面図である。 図において、１は陽極、２は陰極、５は高圧直
流電源、６は放電励起部、９は誘電体電極、９―
１は鉄管、９―２は誘電体管、９―３は誘電体
管、９―４は導電部、９―５は高圧給電線、９―
６はグラスウール、９―７は絶縁物、９―８は絶
縁筒、１３は交流高圧電源である。なお、図中同
一符号はそれぞれ同一または相当部分を示す。
縦断面図、第２図は第１図―線よりみた横断
面図、第３図は従来の誘電体電極を備えたガスレ
ーザ装置の縦断面図、第４図は第３図―線よ
りみた横断面図、第５図は従来の誘電体電極の断
面図、第６図はこの発明の一実施例の縦断面図、
第７図はこの発明に係る誘電体電極の縦断面図、
第８図，第９図，第１０図はそれぞれこの発明に
係る誘電体電極の他の実施例の縦断面図である。 図において、１は陽極、２は陰極、５は高圧直
流電源、６は放電励起部、９は誘電体電極、９―
１は鉄管、９―２は誘電体管、９―３は誘電体
管、９―４は導電部、９―５は高圧給電線、９―
６はグラスウール、９―７は絶縁物、９―８は絶
縁筒、１３は交流高圧電源である。なお、図中同
一符号はそれぞれ同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザガスの気流を挾み相対向するように配
設されている陽極および陰極との間で無声放電を
生成する誘電体電極を備えたガスレーザ発振器に
おいて、上記誘電体電極を、誘電体で形成された
管体と、この管体内の上記レーザガス気流にさら
されて冷却される部分のみに形成されている導電
部と、この導電部に当該管体外から管内をとおし
て給電する高圧給電線とで構成されたものである
ことを特徴とするガスレーザ発振器。 ２ 管体内に形成された導電部の両端を充填する
粒状またはウール状の絶縁物を備えた特許請求の
範囲第１項記載のガスレーザ発振器。 ３ 高圧給電線を通す絶縁管を備えた特許請求の
範囲第１項または第２項記載のガスレーザ発振
器。 ４ 導電部が金属の蒸着膜、粒状またはウール状
の金属、もしくは金網である特許請求の範囲第１
項ないし第３項のいずれかに記載のガスレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14568181A JPS5848486A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14568181A JPS5848486A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848486A JPS5848486A (ja) | 1983-03-22 |
| JPS6314875B2 true JPS6314875B2 (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=15390622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14568181A Granted JPS5848486A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848486A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3428653C2 (de) * | 1984-08-03 | 1994-06-01 | Trumpf Gmbh & Co | Quergeströmter CO¶2¶-Laser |
| JPS61168276A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS62124782A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP14568181A patent/JPS5848486A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5848486A (ja) | 1983-03-22 |
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