JPS6314901B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6314901B2 JPS6314901B2 JP3635882A JP3635882A JPS6314901B2 JP S6314901 B2 JPS6314901 B2 JP S6314901B2 JP 3635882 A JP3635882 A JP 3635882A JP 3635882 A JP3635882 A JP 3635882A JP S6314901 B2 JPS6314901 B2 JP S6314901B2
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- JP
- Japan
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- laser
- light
- semi
- transparent mirror
- laser beam
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 claims description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザラマンマイクロプローブを用
いたラマン散乱光の測定時に、試料で反射された
レーザ光の妨害をなくすようにしたレーザラマン
マイクロプローブの迷光除去装置に関するもので
ある。
いたラマン散乱光の測定時に、試料で反射された
レーザ光の妨害をなくすようにしたレーザラマン
マイクロプローブの迷光除去装置に関するもので
ある。
光学顕微鏡を用いたレーザラマンマイクロプロ
ーブは、レーザ光源で発振したレーザ光の光路
を、半透明鏡で90度折曲げたのち、対物レンズに
よつて試料にレーザ光を集光照射し、試料で発生
するラマン散乱光のうち、前記対物レンズに入射
したラマン散乱光を、前記半透明鏡を通して、半
透明鏡の上方に設置されたモノクロメータの測定
手段で測定するように構成されている。
ーブは、レーザ光源で発振したレーザ光の光路
を、半透明鏡で90度折曲げたのち、対物レンズに
よつて試料にレーザ光を集光照射し、試料で発生
するラマン散乱光のうち、前記対物レンズに入射
したラマン散乱光を、前記半透明鏡を通して、半
透明鏡の上方に設置されたモノクロメータの測定
手段で測定するように構成されている。
このようなレーザラマンマイクロプローブにお
いては、試料で反射されたレーザ光が、ラマン散
乱光と共に対物レンズに入射するため、レーザ光
もモノクロメータに入る。そして、ラマン散乱光
は、レーザ光に比べ微弱である。このため、レー
ザ反射光に起因する迷光が、測定結果に大きな影
響を与えるので、測定に際しては、レーザ反射光
を何らかの手段で除去することが必要になる。
いては、試料で反射されたレーザ光が、ラマン散
乱光と共に対物レンズに入射するため、レーザ光
もモノクロメータに入る。そして、ラマン散乱光
は、レーザ光に比べ微弱である。このため、レー
ザ反射光に起因する迷光が、測定結果に大きな影
響を与えるので、測定に際しては、レーザ反射光
を何らかの手段で除去することが必要になる。
このため、ラマン散乱光の測定には、プリズ
ム、回折格子などの分散素子を用いたモノクロメ
ータを用いているが、単一のモノクロメータで
は、レーザ反射光による迷光の除去が十分できな
いため、モノクロメータを直列に２段あるいは３
段配置したダブルモノクロメータやトリプルモノ
クロメータを用いている。しかし、モノクロメー
タの数を増すと、測定しようとするラマン散乱光
の減衰も大きくなり、測定感度を低下させる欠点
がある。
ム、回折格子などの分散素子を用いたモノクロメ
ータを用いているが、単一のモノクロメータで
は、レーザ反射光による迷光の除去が十分できな
いため、モノクロメータを直列に２段あるいは３
段配置したダブルモノクロメータやトリプルモノ
クロメータを用いている。しかし、モノクロメー
タの数を増すと、測定しようとするラマン散乱光
の減衰も大きくなり、測定感度を低下させる欠点
がある。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、試料で反射されたレーザ反射光を効率よく
除去し得るようにしたレーザラマンマイクロプロ
ーブ用迷光除去装置を提供するにある。
くし、試料で反射されたレーザ反射光を効率よく
除去し得るようにしたレーザラマンマイクロプロ
ーブ用迷光除去装置を提供するにある。
上記目的を達成するため、本発明においては、
レーザ光源から発振された直線偏光のレーザ光を
円偏光のレーザ光に変える1/4波長板と、半透明
鏡を透過したレーザ光の光路上に、半透明鏡との
間隔が半透明鏡と試料の間の距離と同じ距離にな
るように反射鏡を配置し、試料からのレーザ反射
光と、反射鏡からのレーザ反射光とを、半透明鏡
で干渉させ、試料からのレーザ反射光を除去する
ようにしたことを特徴とする。
レーザ光源から発振された直線偏光のレーザ光を
円偏光のレーザ光に変える1/4波長板と、半透明
鏡を透過したレーザ光の光路上に、半透明鏡との
間隔が半透明鏡と試料の間の距離と同じ距離にな
るように反射鏡を配置し、試料からのレーザ反射
光と、反射鏡からのレーザ反射光とを、半透明鏡
で干渉させ、試料からのレーザ反射光を除去する
ようにしたことを特徴とする。
以下、本発明の一実施例を図面にしたがつて説
明する。
明する。
図において、１はレーザ光源（図示せず）から
発振されたレーザ光、２は直線偏光のレーザ光１
を円偏光のレーザ光１ａに変える1/4波長板、３
はレーザ光１ａの光路を90度折曲げるための半透
明鏡、４は顕微鏡にして、半透明鏡３と対物レン
ズ５を保持している。６は半透明鏡３を透過した
レーザ光１ａの光路に垂直に配置された反射鏡、
７は対物レンズ５の下方に配置されている。な
お、半透明鏡３と反射鏡６の間隔は、半透明鏡３
の試料７の間隔と同じになるように反射鏡６の位
置決めを行なつてある。
発振されたレーザ光、２は直線偏光のレーザ光１
を円偏光のレーザ光１ａに変える1/4波長板、３
はレーザ光１ａの光路を90度折曲げるための半透
明鏡、４は顕微鏡にして、半透明鏡３と対物レン
ズ５を保持している。６は半透明鏡３を透過した
レーザ光１ａの光路に垂直に配置された反射鏡、
７は対物レンズ５の下方に配置されている。な
お、半透明鏡３と反射鏡６の間隔は、半透明鏡３
の試料７の間隔と同じになるように反射鏡６の位
置決めを行なつてある。
上記構成において、レーザ光源より発振された
レーザ光１は、1/4波長板２で円偏光のレーザ光
１ａに変換され、半透明鏡３に入射する。そし
て、レーザ光１ａは、半透明鏡３で反射され、光
路を90度折曲げられた照射用のレーザ光１ｂと、
半透明鏡３を透過した干渉用のレーザ光１ｃに２
分される。レーザ光１ｂは対物レンズ５で試料７
上に集光照射される。そして、試料７から、ラマ
ン散乱光８を発生させる。このとき、レーザ光１
ｂが試料７で反射される。したがつて、対物レン
ズ５には、ラマン散乱光８の一部と、試料７で反
射されたレーザ光１ｂの反射光が入射する。そし
て、対物レンズ５に入射したラマン散光８とレー
ザ光１ｂの反射光は、半透明鏡３に帰還する。一
方、半透明鏡３を透過したレーザ光１ｃは、反射
鏡６に反射されてその反射光が半透明鏡３に帰還
する。すると、半透明鏡３の上側面で、試料７か
らの反射光と反射鏡６からの反射光が干渉して、
相互に打消し合うため、ラマン散乱光のみが、顕
微鏡４の上部に配置された測定手段（図示せず）
に入射される。
レーザ光１は、1/4波長板２で円偏光のレーザ光
１ａに変換され、半透明鏡３に入射する。そし
て、レーザ光１ａは、半透明鏡３で反射され、光
路を90度折曲げられた照射用のレーザ光１ｂと、
半透明鏡３を透過した干渉用のレーザ光１ｃに２
分される。レーザ光１ｂは対物レンズ５で試料７
上に集光照射される。そして、試料７から、ラマ
ン散乱光８を発生させる。このとき、レーザ光１
ｂが試料７で反射される。したがつて、対物レン
ズ５には、ラマン散乱光８の一部と、試料７で反
射されたレーザ光１ｂの反射光が入射する。そし
て、対物レンズ５に入射したラマン散光８とレー
ザ光１ｂの反射光は、半透明鏡３に帰還する。一
方、半透明鏡３を透過したレーザ光１ｃは、反射
鏡６に反射されてその反射光が半透明鏡３に帰還
する。すると、半透明鏡３の上側面で、試料７か
らの反射光と反射鏡６からの反射光が干渉して、
相互に打消し合うため、ラマン散乱光のみが、顕
微鏡４の上部に配置された測定手段（図示せず）
に入射される。
なお、２つの反射光を干渉させる場合、両方の
反射光のエネルギーが同一でないと、完全にレー
ザ光を打消すことはできない。このため、半透明
鏡３の反射率と、反射鏡６の反射率を組合せ、で
きるだけ、両方の反射光のエネルギーを合せるよ
うにする。また、反射光を完全に除去しきれない
場合でも、ラマン散乱光に対するレーザ光の割合
は極めて小さくすることができるので、ラマン散
乱光を必要以上に減衰させることなく、測定を行
なうことができる。
反射光のエネルギーが同一でないと、完全にレー
ザ光を打消すことはできない。このため、半透明
鏡３の反射率と、反射鏡６の反射率を組合せ、で
きるだけ、両方の反射光のエネルギーを合せるよ
うにする。また、反射光を完全に除去しきれない
場合でも、ラマン散乱光に対するレーザ光の割合
は極めて小さくすることができるので、ラマン散
乱光を必要以上に減衰させることなく、測定を行
なうことができる。
このようにして、試料７で発生するラマン散乱
光と共に帰還するレーザ光の反射光を除去するこ
とにより、ラマン散乱光の損失を少なくし、精度
の高い測定を行なうことができる。
光と共に帰還するレーザ光の反射光を除去するこ
とにより、ラマン散乱光の損失を少なくし、精度
の高い測定を行なうことができる。
以上述べた如く、本発明によれば、レーザラマ
ンマイクロプローブにおいて、1/4波長板と、反
射鏡を設け、レーザ光を円偏光とし、試料からの
レーザ光の反射光と反射鏡からのレーザ光の反射
光とを干渉させて除去するようにしたので、ラマ
ン散乱光を効率よく測定することができる。ま
た、測定手段も、単一のモノクロメータで測定が
可能となるので、装置を小型化し、かつ安価にす
ることができるなどの効果がある。
ンマイクロプローブにおいて、1/4波長板と、反
射鏡を設け、レーザ光を円偏光とし、試料からの
レーザ光の反射光と反射鏡からのレーザ光の反射
光とを干渉させて除去するようにしたので、ラマ
ン散乱光を効率よく測定することができる。ま
た、測定手段も、単一のモノクロメータで測定が
可能となるので、装置を小型化し、かつ安価にす
ることができるなどの効果がある。
図は本発明によるレーザラマンマイクロプロー
ブの迷光除去装置の一例を示す構成図である。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ……レーザ光、２……1/
４波長板、３……半透明鏡、４……顕微鏡、５…
…対物レンズ、６……反射鏡、７……試料、８…
…ラマン散乱光。
ブの迷光除去装置の一例を示す構成図である。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ……レーザ光、２……1/
４波長板、３……半透明鏡、４……顕微鏡、５…
…対物レンズ、６……反射鏡、７……試料、８…
…ラマン散乱光。
Claims (1)
- １ レーザ光源から発振されたレーザ光を、半透
明鏡により光路を90度折曲げたのち、対物レンズ
を介して試料に集光照射し、試料で発生し前記対
物レンズに入射したラマン散乱光を、前記半透明
鏡を通して測定手段に入射させるようにしたレー
ザラマンマイクロプローブの迷光除去装置であつ
て、レーザ光源と半透明鏡の間に配置され、レー
ザ光源で発振されたレーザ光を円偏光とする1/4
波長板を設け、半透明鏡を透過したレーザ光の光
路上に反射鏡を設け、試料で反射され半透明鏡へ
帰還したレーザ光と反射鏡で反射され半透明鏡に
帰還したレーザ光を干渉させるようにしたことを
特徴とするレーザラマンマイクロプローブの迷光
除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3635882A JPS58154643A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブの迷光除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3635882A JPS58154643A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブの迷光除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58154643A JPS58154643A (ja) | 1983-09-14 |
| JPS6314901B2 true JPS6314901B2 (ja) | 1988-04-02 |
Family
ID=12467601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3635882A Granted JPS58154643A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブの迷光除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58154643A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01172602U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-07 |
-
1982
- 1982-03-10 JP JP3635882A patent/JPS58154643A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01172602U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58154643A (ja) | 1983-09-14 |
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