JPS63149965U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63149965U JPS63149965U JP4020387U JP4020387U JPS63149965U JP S63149965 U JPS63149965 U JP S63149965U JP 4020387 U JP4020387 U JP 4020387U JP 4020387 U JP4020387 U JP 4020387U JP S63149965 U JPS63149965 U JP S63149965U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cvd apparatus
- cleaning
- entrance window
- photo
- cleaning member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 3
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案光ＣＶＤ装置の一実
施例を示し、第１図は縦断面図、第２図は第１図
における―′線横断面図である。 １……反応室、４……透光性筒体、８……光源
、９……円筒状支持体、１２……クリーニング部
材、１４ａ，１４ｂ……塗布器、１５ａ，１５ｂ
……クリーニングブレード。
施例を示し、第１図は縦断面図、第２図は第１図
における―′線横断面図である。 １……反応室、４……透光性筒体、８……光源
、９……円筒状支持体、１２……クリーニング部
材、１４ａ，１４ｂ……塗布器、１５ａ，１５ｂ
……クリーニングブレード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応室に反応ガスを導入し、この反応ガス
を光源から輻射される光エネルギにより分解し膜
を形成する光ＣＶＤ装置であつて、上記反応室の
内壁は実質的に断面円形をなすと共に、上記光エ
ネルギを反応室に入射せしめる入射窓を少なくと
もその一部分に配置し、更に膜形成時に上記内壁
に沿つて回転するクリーニング部材が反応室内に
設けられていることを特徴とした光ＣＶＤ装置。 (2) 上記クリーニング部材は、少なくとも入射
窓にクリーニング液を塗布する塗布器であること
を特徴とした実用新案登録請求の範囲第１項記載
の光ＣＶＤ装置。 (3) 上記クリーニング部材は、少なくとも入射
窓に付着した膜を剥離せしめるクリーニングブレ
ードであることを特徴とした実用新案登録請求の
範囲第１項記載の光ＣＶＤ装置。 (4) 上記クリーニング部材は、少なくとも入射
窓に付着した膜を剥離せしめるクリーニングブレ
ードと、クリーニング液を塗布する塗布器である
ことを特徴とした実用新案登録請求の範囲第１項
記載の光ＣＶＤ装置。 (5) 上記クリーニング液は膜の付着を防止する
低蒸気圧油脂であることを特徴とした実用新案登
録請求の範囲第１項、第２項若しくは第４項記載
の光ＣＶＤ装置。 (6) 上記低蒸気圧油脂はパーフロポリエールで
あることを特徴とした実用新案登録請求の範囲第
５項記載の光ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4020387U JPS63149965U (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4020387U JPS63149965U (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149965U true JPS63149965U (ja) | 1988-10-03 |
Family
ID=30854081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4020387U Pending JPS63149965U (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149965U (ja) |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP4020387U patent/JPS63149965U/ja active Pending
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