JPS63168028U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63168028U JPS63168028U JP5966387U JP5966387U JPS63168028U JP S63168028 U JPS63168028 U JP S63168028U JP 5966387 U JP5966387 U JP 5966387U JP 5966387 U JP5966387 U JP 5966387U JP S63168028 U JPS63168028 U JP S63168028U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- container
- inlet pipe
- pipe
- valve body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案に係る流体供給装置
の模式的側面図、第３図はその要部平面図、第４
図及び第５図は第３図の夫々―線及び―
線による断面図、第６図及び第７図は本案装置の
第２の実施例を示す模式的側面図、第８図は第３
の実施例を示す模式的側面図、第９図及び第１０
図はその要部側面図及び平面図、第１１図及び第
１２図は従来品の構成図である。 １１，２１，３１……容器、１４，２４，３４
……配管切換部、１４ａ，２４ａ，３４ａ……弁
体。
の模式的側面図、第３図はその要部平面図、第４
図及び第５図は第３図の夫々―線及び―
線による断面図、第６図及び第７図は本案装置の
第２の実施例を示す模式的側面図、第８図は第３
の実施例を示す模式的側面図、第９図及び第１０
図はその要部側面図及び平面図、第１１図及び第
１２図は従来品の構成図である。 １１，２１，３１……容器、１４，２４，３４
……配管切換部、１４ａ，２４ａ，３４ａ……弁
体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 容器内の第１流体中へ外部から第２流体を送入
させる送入管と、容器外へ第２流体を送出する送
出管とを備える流体供給装置において、 前記送入管及び送出管の容器内側に介装され、
送入管から送入される第２流体を第１流体中へ送
入し、又は送入させずに送出管へ送出させる２系
統の通路が形成された弁体と、 前記通路の１系統を択一的に設定すべく前記弁
体を切換える手段と を具備することを特徴とする流体供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5966387U JPS63168028U (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5966387U JPS63168028U (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63168028U true JPS63168028U (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=30891363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5966387U Pending JPS63168028U (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63168028U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6483661A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Toshiba Corp | Vapor growth device by method for thermally decomposing organic metal |
-
1987
- 1987-04-20 JP JP5966387U patent/JPS63168028U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6483661A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Toshiba Corp | Vapor growth device by method for thermally decomposing organic metal |