JPS63168080U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63168080U JPS63168080U JP6285387U JP6285387U JPS63168080U JP S63168080 U JPS63168080 U JP S63168080U JP 6285387 U JP6285387 U JP 6285387U JP 6285387 U JP6285387 U JP 6285387U JP S63168080 U JPS63168080 U JP S63168080U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hanging
- track
- moving means
- cover
- protective cover
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る洗浄装置を示
し、イは正面図（一部断面）、ロは側面図（一部
断面）である。 図中、１：洗浄槽、２：軌道、３：吊下移動手
段、４：防護カバー、５：吊部材、６：バケツト
。
し、イは正面図（一部断面）、ロは側面図（一部
断面）である。 図中、１：洗浄槽、２：軌道、３：吊下移動手
段、４：防護カバー、５：吊部材、６：バケツト
。
Claims (1)
- 洗浄槽１の上方に架設した軌道２と、該軌道２
に取付けられ下端に吊具３２を有し自身が軌道２
に沿つて走行しかつ吊具３２を昇降作動させる吊
下移動手段３と、該吊下移動手段３と洗浄槽１と
の間に同槽全体に対応するように設けられた防護
カバー４と、吊下移動手段３の吊具３２に連結さ
れ防護カバー４の側方を迂回してカバー下に臨む
吊部材５と、該吊部材５に懸吊され被処理物を収
容するバケツト６とを備えることを特徴とする洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285387U JPS63168080U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285387U JPS63168080U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63168080U true JPS63168080U (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=30897532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6285387U Pending JPS63168080U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63168080U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150130A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコン洗浄装置及び洗浄方法 |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP6285387U patent/JPS63168080U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150130A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコン洗浄装置及び洗浄方法 |
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